Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 28 стр.

UptoLike

Составители: 

28
íûõ ïðèáîðîâ, ïàðàìåòðû ñòðóêòóð è ãîòîâûõ ÈÌ. Èìåííî ïîýòîìó äëÿ
êàæäîé ÷óâñòâèòåëüíîé ê êîëåáàíèÿì òåìïåðàòóðû òåõíîëîãè÷åñêîé
îïåðàöèè óñòàíàâëèâàþòñÿ íîðìû äîïóñêîâ íà îòêëîíåíèÿ îò îïòèìàëü-
íîé òåìïåðàòóðû âîçäóøíîé ñðåäû. Íàïðèìåð, äëÿ ïîëó÷åíèÿ òîïîëî-
ãè÷åñêîãî ðèñóíêà ñ øèðèíîé ëèíèè 1 ìêì è ìåíåå íåîáõîäèìî ïîääåð-
æèâàòü òåìïåðàòóðó ñ òî÷íîñòüþ
+ 0,1
î
Ñ.
Âëàæíàÿ ñðåäà íåæåëàòåëüíà ïðè ïðîâåäåíèè ïðàêòè÷åñêè âñåõ òåõ-
íîëîãè÷åñêèõ îïåðàöèé. Àäñîðáèðóÿñü íà ðàçëè÷íûõ ïîâåðõíîñòÿõ, âëàãà
è ðàñòâîðåííûå â íåé âåùåñòâà ïðèâîäÿò ê îáðàçîâàíèþ íåæåëàòåëü-
íûõ îêèñëîâ è òðóäíîðàñòâîðèìûõ ñîåäèíåíèé. Ïðè òåðìè÷åñêèõ îáðà-
áîòêàõ íà òàêèõ ïîâåðõíîñòÿõ ìîãóò îáðàçîâàòüñÿ íåðîâíîñòè (ýðîçèÿ),
ïðèâîäÿùèå ê óõóäøåíèþ ïàðàìåòðîâ. Âëàæíîñòü âîçäóõà ïðîèçâîä-
ñòâåííûõ ïîìåùåíèé ïîääåðæèâàþò ìèíèìàëüíîé, íî íå íèæå ñàíèòàð-
íîé íîðìû äëÿ ðàáîòàþùèõ.
 ñîîòâåòñòâèè ñ òðåáîâàíèÿìè ê óñëîâèÿì ïðîèçâîäñòâà ÈÌ ïîìå-
ùåíèÿ ðàçäåëÿþò íà òðè êàòåãîðèè, íîðìû òåìïåðàòóðû è îòíîñèòåëü-
íîé âëàæíîñòè äëÿ êîòîðûõ ïðèâåäåíû â òàáë. 3.
Òàáëèöà 3
Ðàçäåëåíèå ïðîèçâîäñòâåííûõ ïîìåùåíèé ïî òåìïåðàòóðíî-
âëàæíîñòíûì ïàðàìåòðàì âîçäóøíîé ñðåäû
×èñòûå ïîìåùåíèÿ, êîìíàòû è ëîêàëüíûå îáúåìû ïîçâîëÿþò
ïðîâîäèòü ïðåöèçèîííûå òåõïðîöåññû. Äëÿ óñïåøíîãî ïðîâåäåíèÿ âñå-
ãî òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà â îäíîì ïðîèçâîäñòâåííîì ïîìåùåíèè
ïàðàìåòðû âîçäóøíîé ñðåäû äîëæíû ïîääåðæèâàòüñÿ íà óðîâíå, òðå-
áóåìîì äëÿ âûïîëíåíèÿ ñàìîé ÷óâñòâèòåëüíîé ê ýòèì ïàðàìåòðàì îïå-
ðàöèè. Îáåñïå÷åíèå âûñîêîãî êà÷åñòâà ñðåäû âñåãî ïðîèçâîäñòâåííî-
ãî ïîìåùåíèÿ ñâÿçàíî ñ áîëüøèìè ýêîíîìè÷åñêèìè çàòðàòàìè. Òåõíî-
ëîãè÷åñêèé ïðîöåññ ïîýòîìó äåëÿò íà ãðóïïû îïåðàöèé, òðåáóþùèõ áëèç-
êèõ çíà÷åíèé ïàðàìåòðîâ âîçäóøíîé ñðåäû.  ñîîòâåòñòâèè ñ ýòèì
ÿèðîãåòàÊ
àòàìèëêîðêèì
,àðóòàðåïìåÒ
î
Ñ
ÿàíüëåòèñîíòÎ
%,üòñîíæàëâ
ìîòåëéîìèç
I5,0±225,0±225±54
II1±021±325±05
III2±022±3201±05