Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 30 стр.

UptoLike

Составители: 

30
ïðèìåíÿåòñÿ â áîëüøèõ êîëè÷åñòâàõ äëÿ ñîñòàâëåíèÿ ðàçëè÷íûõ ðà-
ñòâîðîâ, ïðîìûâîê, à òàêæå â êà÷åñòâå ðåàãåíòà è çàùèòíîé ñðåäû.
Ïðèðîäíàÿ âîäà ñîäåðæèò áîëüøîå êîëè÷åñòâî ìåõàíè÷åñêèõ ÷àñòèö
(ãèäðîçîëåé), ðàñòâîðåííûõ ìèíåðàëüíûõ ñîëåé, ïðèìåñåé ìåäè, ñåðåá-
ðà, çîëîòà, áàêòåðèé è ò. ï.  ïðîèçâîäñòâå ÈÌ ïðèìåíÿþò âîäó, î÷è-
ùåííóþ îò çàãðÿçíåíèé. Ïîêàçàòåëåì ñòåïåíè ÷èñòîòû âîäû ÿâëÿåòñÿ
åå óäåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå. Ñîïðîòèâëåíèå âîäû ñèëüíî çàâèñèò îò òåì-
ïåðàòóðû, ïîýòîìó ïðèíÿòî óêàçûâàòü çíà÷åíèå óäåëüíîãî ñîïðîòèâëå-
íèÿ ïðè 20
î
Ñ. Ñîáñòâåííîå óäåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå èäåàëüíî ÷èñòîé
âîäû ðàâíî 25 ÌÎìñì.
 ïðîèçâîäñòâå ìèêðîñõåì ðàçëè÷àþò ïåðâóþ, âòîðóþ è òðåòüþ ñòå-
ïåíü ÷èñòîòû âîäû, êîòîðûì ñîîòâåòñòâóþò çíà÷åíèÿ óäåëüíîãî ñîïðî-
òèâëåíèÿ 18, 10 è 1 ÌÎìñì (âîäà ìàðîê À, Á è Â ñîîòâåòñòâåííî).
Êðîìå óäåëüíîãî ñîïðîòèâëåíèÿ, îïðåäåëÿþò ñîäåðæàíèå â âîäå
êðåìíèåâîé êèñëîòû, ìèêðî÷àñòèö, ìèêðîîðãàíèçìîâ, ìåäè, æåëåçà è ò.
ï. Äëÿ ïðîèçâîäñòâà ìèêðîñõåì âîäó ïîäâåðãàþò ïðåäâàðèòåëüíîé, îêîí-
÷àòåëüíîé è ôèíèøíîé î÷èñòêå.
Ïðåäâàðèòåëüíóþ î÷èñòêó âîäû îò âçâåøåííûõ è êîëëîèäíî-ðà-
ñòâîðåííûõ ÷àñòèö âûïîëíÿþò ìåòîäàìè äèñòèëëÿöèè, ñîðáöèè ñ ïî-
ìîùüþ ñïåöèàëüíûõ ôèëüòðîâ, ðåàãåíòíîé êîàãóëÿöèè, ýëåêòðîêîàãóëÿ-
öèè è äð. Ïðåäâàðèòåëüíî î÷èùåííàÿ âîäà èìååò ðàñòâîðèìûå ñîëè è
äðóãèå ïðèìåñè.
Äëÿ îêîí÷àòåëüíîé î÷èñòêè âîäû îò ðàñòâîðèìûõ âåùåñòâ â íà-
ñòîÿùåå âðåìÿ ïðèìåíÿþò î÷èñòêó èîííî-îáìåííûìè ñìîëàìè (äåèî-
íèçàöèþ) è ìåòîä îáðàòíîãî îñìîñà. Ôèíèøíóþ î÷èñòêó âûïîëíÿþò
íåïîñðåäñòâåííî íà ðàáî÷åì ìåñòå ïåðåä èñïîëüçîâàíèåì âîäû.
×èñòîòà îáîðóäîâàíèÿ, ïîìåùåíèÿ è ëè÷íàÿ ãèãèåíà ðàáîòàþ-
ùèõ âàæíåéøàÿ ñîñòàâíàÿ ÷àñòü ýëåêòðîííîé ãèãèåíû. Íåîáõîäèìîñòü
óìåíüøåíèÿ çàãðÿçíåíèé îò îáîðóäîâàíèÿ ó÷èòûâàåòñÿ, íà÷èíàÿ ñ åãî
ïðîåêòèðîâàíèÿ (âûáîð ìàòåðèàëîâ, êîíñòðóêöèé, ðåëüåôà ïîâåðõíîñ-
òåé è äð.) è êîí÷àÿ ðåãëàìåíòàöèåé î÷èñòêè âíåøíèõ è âíóòðåííèõ ÷àñ-
òåé îáîðóäîâàíèÿ.  ÷èñòûõ êîìíàòàõ äëÿ ñîõðàíåíèÿ ëàìèíàðíîñòè è,
ñëåäîâàòåëüíî, ÷èñòîòû ïîòîêà âîçäóõà îáîðóäîâàíèå ðàçìåùàåòñÿ òàê,
÷òîáû ðàññòîÿíèÿ ìåæäó ðàáî÷èìè ìåñòàìè áûëè íå ìåíåå 11,2 ì, à
ðàññòîÿíèÿ îò ñòåí äî îáîðóäîâàíèÿ íå ìåíåå 0,50,8 ì. Äëÿ óìåíü-
øåíèÿ âëèÿíèÿ òåïëà, âûäåëÿåìîãî îáîðóäîâàíèåì, íà êîíâåêòèâíûé
ïåðåíîñ ÷àñòèö ïûëè îáîðóäîâàíèå âñòðàèâàåòñÿ â ñòåííûå ïàíåëè.