Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 31 стр.

UptoLike

Составители: 

31
Ðèñ. 7. Îñíîâíûå èñòî÷íèêè
ìèêðî÷àñòèö ïûëè: Ï  îáñëóæèâà-
þùèé ïåðñîíàë; ÒÏ òåõíîëîãè-
÷åñêèé ïðîöåññ; Î îáîðóäîâàíèå,
îñòíàñòêà, ñðåäñòâà àâòîìàòèçàöèè;
à  ãàçû è õèìèêàòû;   âîçäóø-
íàÿ ñðåäà
Òàêàÿ ðàññòàíîâêà ïîçâîëÿåò ïðîâî-
äèòü ïðîôèëàêòè÷åñêóþ î÷èñòêó îáî-
ðóäîâàíèÿ èçâíå ÷èñòîé êîìíàòû.
 âîçäóõå ÷èñòûõ êîìíàò èìåþò-
ñÿ ÷àñòèöû ðàçìåðàìè îò ñîòûõ äî íå-
ñêîëüêèõ äåñÿòûõ äîëåé ìèêðîìåòðà,
êîòîðûå íå óëàâëèâàþòñÿ ôèëüòðàìè
óñòàíîâîê î÷èñòêè è íå êîíòðîëèðóþò-
ñÿ ïðè àíàëèçå çàïûëåííîñòè. Ýòè ÷à-
ñòèöû ìîãóò îñåäàòü è íàêàïëèâàòü-
ñÿ â ïîìåùåíèè. Äëÿ èõ óäàëåíèÿ íå-
îáõîäèìà ïåðèîäè÷åñêàÿ âëàæíàÿ
óáîðêà, èíîãäà ñ äîáàâëåíèåì 5% ãëè-
öåðèíà, ÷òîáû ïûëü íå ñðûâàëàñü ñ
ïîâåðõíîñòåé.
Âîäà äëÿ âëàæíîé óáîðêè ïîëîâ,
ñòåí, ïîòîëêîâ äîëæíà áûòü ÷èñòîé,
ëó÷øå äåèîíèçèðîâàííîé ñ óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì íå ìåíåå 0,5
ÌÎìñì.
Êàê âèäíî èç ðèñ. 7, îñíîâíûì èñòî÷íèêîì ìèêðî÷àñòèö ïûëè ÿâëÿ-
åòñÿ ðàáîòàþùèé ïåðñîíàë. Ïîëíîå óïðàâëåíèå ñîñòîÿíèåì âîçäóøíîé
ñðåäû â ïðîèçâîäñòâåííûõ ïîìåùåíèÿõ, íåîáõîäèìîå äëÿ ïðåöèçèîí-
íîé òåõíîëîãèè ïðîèçâîäñòâà ìèêðîñõåì, âîçìîæíî ëèøü ïðè óñëîâèè
ñîçäàíèÿ ïîëíîñòüþ àâòîìàòèçèðîâàííûõ ëèíèé ñ çàìåíîé ÷åëîâåêà
ðîáîòîì. Îäíàêî ïî ìíåíèþ ñïåöèàëèñòîâ, ñåé÷àñ òîëüêî îêîëî 40%
ïðîèçâîäñòâåííûõ ïðîöåññîâ ìîãóò áûòü ðîáîòèçèðîâàíû, è â áëèæàé-
øèå ãîäû íå óäàñòñÿ ïîëíîñòüþ èñêëþ÷èòü ÷åëîâåêà èç ïðîèçâîäñòâà.
Èìåííî ïîýòîìó îáñëóæèâàþùèé ïåðñîíàë äîëæåí ñîáëþäàòü ïðàâèëà
ëè÷íîé ýëåêòðîííîé ãèãèåíû.
Èñòî÷íèêàìè çàãðÿçíåíèé îò ðàáîòàþùåãî ïåðñîíàëà ÿâëÿþòñÿ, ãëàâ-
íûì îáðàçîì, êîæà ÷åëîâåêà è îäåæäà. ×åðåç êîæó ÷åëîâåêà âûäåëÿ-
þòñÿ ïàðû âîäû, ñîëåé, æèðà è äðóãèõ âåùåñòâ. Â ðåçóëüòàòå ïîñòîÿí-
íîãî îáíîâëåíèÿ âåðõíåãî ïîêðîâà êîæè ïðîèñõîäèò îòñëàèâàíèå îòæèâ-
øèõ ÷àñòèö.  çàâèñèìîñòè îò âèäà äåÿòåëüíîñòè ÷èñëî ÷àñòèö ïûëè,
îòäåëÿåìîé îò îäåæäû ÷åëîâåêà, ìîæåò ìåíÿòüñÿ â øèðîêèõ ïðåäåëàõ.
Ïî ýòèì ïðè÷èíàì ðàáîòû â ÷èñòûõ êîìíàòàõ âåäóòñÿ â ñïåöèàëü-
íîé ðàáî÷åé îäåæäå, èçãîòîâëåííîé èç ìàòåðèàëà ñ ìèíèìàëüíûì ïû-
Ï
35%
ÒÏ
25%
Î
25%
Ã
8%
Â7%