Составители:
Рубрика:
34
íèòðèäîâ, ñóëüôèäîâ è äðóãèõ õèìè÷åñêèõ ñîåäèíåíèé. Óäàëåíèå èîíîâ
ìåòàëëîâ ñîïðîâîæäàåòñÿ èõ âûòåñíåíèåì èîíàìè âîäîðîäà. Äëÿ óäà-
ëåíèÿ àòîìîâ ìåòàëëîâ ïðèìåíÿþò êèñëîòû, ðàñòâîðÿþùèå ýòè ìåòàëëû.
Òðàâëåíèå îáû÷íî ïðîâîäèòñÿ ïîñëå îáåçæèðèâàíèÿ, òàê êàê òîëüêî
â ýòîì ñëó÷àå òðàâèòåëü õîðîøî ñìà÷èâàåò âñþ ïîâåðõíîñòü ïëàñòèí, è
âåðõíèé ñëîé óäàëÿåòñÿ ðàâíîìåðíî.
Ïðîöåññ òðàâëåíèÿ ìîæíî ðàçáèòü íà ïÿòü ñòàäèé: äèôôóçèÿ ðåàãåí-
òîâ ê îáðàáàòûâàåìîé ïîâåðõíîñòè, èõ àäñîðáöèÿ ïîâåðõíîñòüþ, õèìè-
÷åñêîå âçàèìîäåéñòâèå èõ ñ îáðàáàòûâàåìûì ìàòåðèàëîì, äåñîðáöèÿ
ïðîäóêòîâ õèìè÷åñêèõ ðåàêöèé, äèôôóçèÿ èõ îò ïîâåðõíîñòè.
3.5. Ñóõàÿ î÷èñòêà è òðàâëåíèå
Ìåòîäû ñóõîé î÷èñòêè, çà èñêëþ÷åíèåì îòæèãà, íà÷àëè ïðèìåíÿòü-
ñÿ ñðàâíèòåëüíî íåäàâíî. Èõ ïîÿâëåíèå ñòèìóëèðîâàëîñü íå òîëüêî ïðî-
áëåìàìè èñêëþ÷åíèÿ çàãðÿçíåíèé, íî è ãëàâíûì îáðàçîì íåîáõîäèìîñ-
òüþ ïðåöèçèîííîãî ëîêàëüíîãî òðàâëåíèÿ ÷åðåç êîíòàêòíûå ìàñêè ïðè
ôîðìèðîâàíèè òîïîëîãèè ìèêðîñõåì.
Òåðìîîáðàáîòêà (îòæèã). Òåðìîîáðàáîòêà ïðèìåíÿåòñÿ äëÿ óäà-
ëåíèÿ àäñîðáèðîâàííûõ ïîâåðõíîñòüþ ïðèìåñåé, ðàçëîæåíèÿ ïîâåðõíî-
ñòíûõ çàãðÿçíåíèé è èñïàðåíèÿ ëåòó÷èõ ñîåäèíåíèé. Êàê ïðàâèëî, îò-
æèã ïðîâîäèòñÿ â âàêóóìíûõ è òåðìè÷åñêèõ óñòàíîâêàõ íåïîñðåäñòâåííî
ïåðåä ïðîöåññàìè îêñèäèðîâàíèÿ, ýïèòàêñèè è äð. Íàïðèìåð, ïðè âûðà-
ùèâàíèè íà êðåìíèè ìàñêèðóþùèõ ïëåíîê ãàçû è âëàãà óäàëÿþòñÿ ñ
ïîâåðõíîñòè ïî ìåðå íàãðåâàíèÿ ïëàñòèí äî òåìïåðàòóðû îêñèäèðîâà-
íèÿ. Ïðè îòæèãå ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèí â âàêóóìå ñ èõ îêñèäèðî-
âàííîé ïîâåðõíîñòè óæå ïðè òåìïåðàòóðå 400
î
Ñ ëåãêî äåñîðáèðóþòñÿ
âëàãà, óãëåêèñëûé ãàç, ëåãêèå óãëåâîäîðîäû. Îêñèäíûå ïëåíêè ñ ïîâåð-
õíîñòè êðåìíèÿ â âàêóóìå óäàëÿþòñÿ ïðè òåìïåðàòóðàõ âûøå 900
î
Ñ.
Èîííîå òðàâëåíèå. Èîííîå òðàâëåíèå ïðîöåññ óäàëåíèÿ ðàñïûëå-
íèåì ñëîÿ âåùåñòâà ñ íàõîäÿùèìèñÿ íà åãî ïîâåðõíîñòè çàãðÿçíåíèÿìè
è àäñîðáèðîâàííûìè ãàçàìè. Òðàâëåíèå âûïîëíÿþò â âàêóóìíûõ óñòà-
íîâêàõ ïóòåì áîìáàðäèðîâêè ïëàñòèí èëè ïîäëîæåê (÷àñòî â äàííîì
ñëó÷àå íàçûâàåìûõ ìèøåíÿìè) óñêîðåííûìè ïîëîæèòåëüíûìè èîíàìè
èíåðòíûõ ãàçîâ.
Êîíòðîëü êà÷åñòâà î÷èñòêè. Ñóùåñòâóåò ìíîãî ìåòîäîâ êîëè÷å-
ñòâåííîãî è êà÷åñòâåííîãî êîíòðîëÿ çàãðÿçíåíèé ïîâåðõíîñòè. Áîëüøèí-
ñòâî èç íèõ ïðèìåíÿåòñÿ â ëàáîðàòîðíûõ óñëîâèÿõ ïðè îòðàáîòêå òåõ-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 32
- 33
- 34
- 35
- 36
- …
- следующая ›
- последняя »
