Составители:
Рубрика:
36
4. ÌÅÒÎÄÛ ÔÎÐÌÈÐÎÂÀÍÈß
ÒÎÏÎËÎÃÈÈ ÌÈÊÐÎÑÕÅÌ
4.1. Îáùèå ñâåäåíèÿ
Ïðèìåíåíèå ëèòîãðàôèè. Âíåäðåíèå ëèòîãðàôèè â ïîëóïðîâîäíè-
êîâîå ïðîèçâîäñòâî â 1957 ã. îïðåäåëèëî äàëüíåéøåå ðàçâèòèå ýëåìåíò-
íîé áàçû ýëåêòðîíèêè è ïîçâîëèëî ïåðåéòè îò äèñêðåòíûõ ýëåìåíòîâ ê
èíòåãðàëüíûì.
 íàñòîÿùåå âðåìÿ îáëàñòè ïðèìåíåíèÿ ëèòîãðàôèè ñóùåñòâåííî
ðàñøèðèëèñü. Â ïðîèçâîäñòâå ñîâðåìåííûõ ìèêðîñõåì ëèòîãðàôèÿ ñà-
ìûé óíèâåðñàëüíûé òåõíîëîãè÷åñêèõ ïðîöåññ. Îíà ïîçâîëÿåò âîñïðî-
èçâîäèìî è ñ áîëüøîé òî÷íîñòüþ âûïîëíÿòü ñëîæíûå ðèñóíêè ñ ðàçìå-
ðàìè ýëåìåíòîâ äî îäíîãî è ìåíåå ìèêðîìåòðà â ðàçíîîáðàçíûõ ìàòå-
ðèàëàõ. Ëèòîãðàôèÿ ïðèìåíÿåòñÿ ïðè èçãîòîâëåíèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ
è ïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð, äëÿ ïîëó÷åíèÿ âñåâîçìîæíûõ êàíàâîê è óãëóá-
ëåíèé â ïîëóïðîâîäíèêîâûõ è äðóãèõ ìàòåðèàëàõ. Ñ åå ïîìîùüþ èçãî-
òàâëèâàþò øàáëîíû èíñòðóìåíòû äëÿ ïðîâåäåíèÿ ñàìîãî ïðîöåññà
ëèòîãðàôèè, ïîëó÷àþò ñêâîçíûå îòâåðñòèÿ â ôîëüãå ïðè èçãîòîâëåíèè
ïðåöèçèîííûõ ñâîáîäíûõ ìàñîê, âûâîäíûõ ðàìîê èëè ëåíò, ïðèìåíÿå-
ìûõ äëÿ àâòîìàòèçèðîâàííîé ñáîðêè è ãåðìåòèçàöèè ÈÌ. Ñ ïîìîùüþ
ëèòîãðàôèè ìîæíî ðàçäåëÿòü ïëàñòèíû èëè ïîäëîæêè ñ ãîòîâûìè ñòðóê-
òóðàìè íà îòäåëüíûå êðèñòàëëû èëè ïëàòû, èçãîòàâëèâàòü ïðåöèçèîí-
íûå äåòàëè, ñîçäàâàòü òî÷íûå øêàëû è ò. ä.
Îñíîâíîå íàçíà÷åíèå ëèòîãðàôèè ïðè èçãîòîâëåíèè ñòðóêòóð ìèêðî-
ñõåì ïîëó÷åíèå íà ïîâåðõíîñòè ïëàñòèí (èëè ïîäëîæåê) êîíòàêòíûõ
ìàñîê ñ îêíàìè, ñîîòâåòñòâóþùèìè òîïîëîãèè ôîðìèðóåìûõ òåõíîëî-
ãè÷åñêèõ ñëîåâ, è äàëüíåéøàÿ ïåðåäà÷à òîïîëîãèè (ðèñóíêà) ñ ìàñêè íà
ìàòåðèàë äàííîãî ñëîÿ.
Ñóùíîñòü ïðîöåññîâ ëèòîãðàôèè. Ëèòîãðàôèÿ ïðåäñòàâëÿåò ñî-
áîé ñëîæíûé òåõíîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ, îñíîâàííûé íà èñïîëüçîâàíèè
ÿâëåíèé, ïðîèñõîäÿùèõ â àêòèíîðåçèñòàõ ïðè àêòèíè÷íîì îáëó÷åíèè.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 34
- 35
- 36
- 37
- 38
- …
- следующая ›
- последняя »
