Составители:
Рубрика:
37
Ðèñ. 8. Ïîëó÷åíèå êîíòàêòíûõ ðåçèñòèâíûõ ìàñîê ñ ïîìîùüþ ïîçèòèâíûõ (à)
è íåãàòèâíûõ (á) ðåçèñòîâ: 1 àêòèíè÷íîå èçëó÷åíèå; 2 ñëîé ðåçèñòà;
3 ïîäëîæêà; 4 ðåçèñòèâíàÿ ìàñêà
Àêòèíîðåçèñòû, íà ïðàêòèêå íàçûâàåìûå ïðîñòî ðåçèñòàìè, ïðåä-
ñòàâëÿþò ñîáîé ìàòåðèàëû, ÷óâñòâèòåëüíûå ê èçëó÷åíèþ îïðåäå-
ëåííîé äëèíû âîëíû (ê àêòèíè÷íîìó èçëó÷åíèþ), è ñòîéêèå (ðåçèñò
ñîïðîòèâëÿòüñÿ) ê òåõíîëîãè÷åñêèì âîçäåéñòâèÿì, ïðèìåíÿåìûì â
ïðîöåññå ëèòîãðàôèè. Ïîä äåéñòâèåì èçëó÷åíèÿ ïðîèñõîäÿùèå â ðå-
çèñòàõ ïðîöåññû íåîáðàòèìî ìåíÿþò èõ ñòîéêîñòü ê ñïåöèàëüíûì
ñîñòàâàì-ïðîÿâèòåëÿì. Ðåçèñòû, ðàñòâîðèìîñòü êîòîðûõ â ïðîÿâè-
òåëå óâåëè÷èâàåòñÿ ïîñëå îáëó÷åíèÿ, íàçûâàþòñÿ ïîçèòèâíûìè.
Íåãàòèâíûå ðåçèñòû ïîñëå îáëó÷åíèÿ ñòàíîâÿòñÿ ïðàêòè÷åñêè íå-
ðàñòâîðèìûìè â ïðîÿâèòåëå.
Ëîêàëüíîå îáëó÷åíèå (ýêñïîíèðîâàíèå) îñóùåñòâëÿåòñÿ ëèáî òå-
íåâûì ñïîñîáîì, ò. å. ýêðàíèðîâàíèåì íóæíûõ ó÷àñòêîâ íåïðîçðà÷-
íûìè äëÿ èçëó÷åíèÿ ó÷àñòêàìè øàáëîíîâ, ëèáî ëîêàëèçàöèåé ñàìî-
ãî èçëó÷åíèÿ ñ ïîìîùüþ, íàïðèìåð, îïòè÷åñêîãî ïðîåöèðîâàíèÿ èçîá-
ðàæåíèÿ. Ïîñëå îäèíàêîâîãî ýêñïîíèðîâàíèÿ ñëîåâ ïîçèòèâíûõ è íå-
ãàòèâíûõ ðåçèñòîâ ïðè ïðîÿâëåíèè ïîëó÷àþò ðåçèñòèâíûå ìàñêè ñ
ïðîòèâîïîëîæíûìè, ïîçèòèâíûì è íåãàòèâíûì ïî îòíîøåíèþ ê õà-
ðàêòåðó ëîêàëüíîãî îáëó÷åíèÿ, ðèñóíêàìè (ðèñ. 8). Îêíàì ìàñêè èç
ïîçèòèâíîãî ðåçèñòà ñîîòâåòñòâóþò îáëó÷åííûå ó÷àñòêè; â ìàñêå
èç íåãàòèâíîãî ðåçèñòà îêíà îáðàçóþòñÿ íà íåîáëó÷åííûõ ó÷àñòêàõ.
Êîíòàêòíûå ðåçèñòèâíûå ìàñêè ôîðìèðóþòñÿ â ðåçóëüòàòå ÷óâñòâè-
òåëüíîñòè ðåçèñòîâ ê àêòèíè÷íîìó èçëó÷åíèþ. Äëÿ äàëüíåéøåé ïå-
ðåäà÷è òîïîëîãè÷åñêîãî ðèñóíêà ñ ìàñêè íà ìàòåðèàë òåõíîëîãè÷åñ-
êîãî ñëîÿ íåîáõîäèìà ñòîéêîñòü ìàñêè ê ïîñëåäóþùèì òåõíîëîãè-
÷åñêèì îáðàáîòêàì.
à)
á)
1
2
3
4
4
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 35
- 36
- 37
- 38
- 39
- …
- следующая ›
- последняя »
