Составители:
Рубрика:
38
Ðèñ. 9. Ýòàïû ( I, II, III) è îïåðàöèè (18) ëèòîãðàôè÷åñêîãî ïðîöåññà: I
ôîðìèðîâàíèå ñëîÿ ðåçèñòà; II ïåðåäà÷à ðèñóíêà íà ñëîé ðåçèñòà; III
ïåðåäà÷à ðèñóíêà íà ìàòåðèàë ÈÌ
1. Ïîäãîòîâêà
ïîâåðõíîñòè
2. Íàíåñåíèå
ðåçèñòà
3.Òåðìîîáðàáîòêà
4.Ñîâìåùåíèå è
ýêñïîíèðîâàíèå
5. Ïðîÿâëåíèå
ðåçèñòà
6. Âòîðàÿ
òåðìîîáðàáîòêà
7,à. Óäàëåíèå ìàòåðèàëà
ìèêðîñõåìû
7,á. Íàíåñåíèå ìàòåðèàëà
ìèêðîñõåìû
8. Óäàëåíèå ðåçèñòèâíîé ìàñêè
I
II
III
Ýòàïû è îñíîâíûå îïåðàöèè ëèòîãðàôè÷åñêîãî ïðîöåññà. Ïðî-
öåññ ëèòîãðàôèè ìîæíî ðàçäåëèòü íà òðè ýòàïà, êàæäûé èç êîòîðûõ âêëþ-
÷àåò ðÿä îïåðàöèé (ðèñ. 9).
Ôîðìèðîâàíèå ñëîÿ ðåçèñòà: ïîäãîòîâêà ïîâåðõíîñòè ïîäëîæåê, íà-
íåñåíèå ñëîÿ ðåçèñòà, òåðìîîáðàáîòêà (1-ÿ ñóøêà) ñëîÿ.
Ôîðìèðîâàíèå ðåçèñòèâíîé êîíòàêòíîé ìàñêè: ïåðåäà÷à òîïî-
ëîãè÷åñêîãî ðèñóíêà íà ñëîé ðåçèñòà ñîâìåùåíèå è ýêñïîíèðîâàíèå,
ïðîÿâëåíèå, òåðìîîáðàáîòêà (2-ÿ ñóøêà).
Ïåðåäà÷à òîïîëîãè÷åñêîãî ðèñóíêà ñ ìàñêè íà ìàòåðèàë ôîð-
ìèðóåìîãî ñëîÿ ñòðóêòóðû ÈÌ: óäàëåíèå ìàòåðèàëà (òðàâëåíèå) èëè
íàíåñåíèå ìàòåðèàëà (íàïðèìåð, ïëåíêè ìåòàëëà), óäàëåíèå ðåçèñòèâ-
íîé ìàñêè.
Êàê âèäíî èç ðèñ. 9 è äîïîëíÿþùåãî åãî ðèñ. 10, ïåðåäà÷à ðèñóíêà ñ
ðåçèñòèâíîé ìàñêè ìîæåò âûïîëíÿòüñÿ äâóìÿ ñïîñîáàìè.
Ïðè ïðÿìîé ëèòîãðàôèè (ðèñ. 10,à) ïëåíêà, â êîòîðîé ôîðìèðóåòñÿ
ðèñóíîê, íàíåñåíà íà ïîäëîæêó äî ôîðìèðîâàíèÿ ñëîÿ ðåçèñòà. Ïåðåäà-
÷à ðèñóíêà íà ïëåíêó îñóùåñòâëÿåòñÿ òðàâëåíèåì. Ðèñóíîê, ïîëó÷àå-
ìûé â ïëåíêå, ñîîòâåòñòâóåò ðèñóíêó ìàñêè.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 36
- 37
- 38
- 39
- 40
- …
- следующая ›
- последняя »
