Составители:
Рубрика:
40
Ðèñ. 11. Êëàññèôèêàöèÿ ëèòîãðàôè÷åñêèõ ïðîöåññîâ
Ýëåêòðîííàÿ ëèòîãðàôèÿ ìîæåò âûïîëíÿòüñÿ ïóòåì ïîñëåäîâà-
òåëüíîé ïåðåäà÷è òîïîëîãè÷åñêîãî ðèñóíêà íà ñëîé ðåçèñòà ñôîêóñèðî-
âàííûì ýëåêòðîííûì ëó÷îì èëè ïóòåì îäíîâðåìåííîé ïðîåêöèè âñåãî
ðèñóíêà. Òî æå ìîæíî ñêàçàòü è îá èîííîé ëèòîãðàôèè.
4.2. Îïòè÷åñêàÿ ëèòîãðàôèÿ (ôîòîëèòîãðàôèÿ)
Ñòàíäàðòíàÿ ôîòîëèòîãðàôèÿ. Äëÿ ñòàíäàðòíîé ôîòîëèòîãðàôèè
ïðèìåíÿþò ôîòîðåçèñòû, ÷óâñòâèòåëüíûå ê óëüòðàôèîëåòîâîìó (ÓÔ)
èçëó÷åíèþ ñ äëèíîé âîëíû îò 310 äî 450 íì.
Ôîòîðåçèñòû ïðåäñòàâëÿþò ñîáîé ñëîæíûå ïîëèìåðíûå êîìïîçè-
öèè, â ñîñòàâå êîòîðûõ èìåþòñÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíûå è ïëåíêîîáðàçó-
þùèå êîìïîíåíòû, ðàñòâîðèòåëè è ñïåöèàëüíûå äîáàâêè. Ïîñëåäíèå
ââîäÿò äëÿ óëó÷øåíèÿ óñëîâèé ïëåíêîîáðàçîâàíèÿ (ðàçáàâèòåëè), èçìå-
íåíèÿ ôîòî÷óâñòâèòåëüíîñòè (ñåíñèáèëèçàòîðû), ïîâûøåíèÿ àäãåçèè
ôîòîðåçèñòèâíîãî ñëîÿ ê ïîäëîæêàì, óëó÷øåíèÿ ñòîéêîñòè ê âîçäåé-
ñòâèÿì êèñëîò, ùåëî÷åé, âûñîêèõ òåìïåðàòóð è äð. Ðàñòâîðèòåëè îïðå-
äåëÿþò ñòàáèëüíîñòü ñâîéñòâ ãîòîâûõ ôîòîðåçèñòîâ, âëèÿþò íà ïðî-
öåññ íàíåñåíèÿ è ïîñëåäóþùåå âûñûõàíèå ôîòîñëîÿ.
Ôîòîõèìè÷åñêèå ïðîöåññû, ïðîèñõîäÿùèå â ôîòîðåçèñòàõ ïîä äåé-
ñòâèåì ÓÔ-èçëó÷åíèÿ, ìîæíî ðàçäåëèòü íà äâå ñòàäèè. Íà ñâåòîâîé
ñòàäèè â ðåçóëüòàòå ïîãëîùåíèÿ êâàíòà èçëó÷åíèÿ íàèáîëåå ñëàáàÿ õèìè-
Ëèòîãðàôèÿ
Èîííî-ëó÷åâàÿÝëåêòðîííàÿÐåíòãåíîâñêàÿ
λ
= 0,1
10 íì
λ
= 0,1 íì
 ãëóáîêîì ÓÔÑòàíäàðòíàÿ
Ñêàíèðóþùàÿ Ïðîåêöèîííàÿ
λ
=310 450 íì
λ
= 200 300 íì
ÏðîåêöèîííàÿÍà ìèêðîçàçîðå
ÁåñêîíòàêòíàÿÊîíòàêòíàÿ
Îïòè÷åñêàÿ
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 38
- 39
- 40
- 41
- 42
- …
- следующая ›
- последняя »
