Составители:
Рубрика:
42
Ôîòîøàáëîí äëÿ èçãîòîâëåíèÿ ñòðóêòóð ìèêðîñõåì ïëîñêîïà-
ðàëëåëüíàÿ ïëàñòèíà (èëè ãèáêàÿ ïëåíêà) èç ïðîçðà÷íîãî äëÿ ÓÔ-èç-
ëó÷åíèÿ ìàòåðèàëà ñ íàíåñåííûì íà åå ðàáî÷óþ ïîâåðõíîñòü íå-
ïðîçðà÷íûì ïëåíî÷íûì ðèñóíêîì, ñîîòâåòñòâóþùèì òîïîëîãèè îä-
íîãî èç ñëîåâ ñòðóêòóðû ìèêðîñõåìû è ìíîãîêðàòíî ïîâòîðåííûì
ñî ñòðîãî îïðåäåëåííûì øàãîì â ïðåäåëàõ ðàáî÷åé îáëàñòè ïëàñòè-
íû (èëè ïëåíêè).
Äëÿ îñíîâû ôîòîøàáëîíîâ ïðèìåíÿþò îïòè÷åñêîå áîðîñèëèêàò-
íîå ñòåêëî èëè ïîëèìåðíûå ïëåíêè, êîòîðûå õîðîøî îáðàáàòûâàþò-
ñÿ è íå èçìåíÿþò ñâîéñòâ ïîä äåéñòâèåì èçëó÷åíèÿ. Äëÿ âûïîëíå-
íèÿ ðèñóíêà ïðèìåíÿþò ãàëîèäíî-ñåðåáðÿíóþ ôîòîãðàôè÷åñêóþ
ýìóëüñèþ (ýìóëüñèîííûå ôîòîøàáëîíû), ìåòàëëû (ìåòàëëèçèðîâàí-
íûå ôîòîøàáëîíû) è ïîëóïðîçðà÷íûå äëÿ âèäèìîãî ñâåòà îêñèäû
èëè äðóãèå ìàòåðèàëû (òðàíñïàðåíòíûå, öâåòíûå ôîòîøàáëîíû).
Ôîðìèðîâàíèå ôîòîñëîÿ îáåñïå÷èòü ïîëó÷åíèå ðàâíîìåðíûõ ïî
òîëùèíå áåçäåôåêòíûõ ôîòîñëîåâ ñ õîðîøåé àäãåçèåé ê ïîäëîæêå
ïðè ñîõðàíåíèè èñõîäíûõ ñâîéñòâ.
Ïîäãîòîâêà ïîäëîæåê ê íàíåñåíèþ ôîòîðåçèñòà â êàæäîì
êîíêðåòíîì ñëó÷àå èíäèâèäóàëüíà è îïðåäåëÿåòñÿ ìàòåðèàëîì ïîä-
ëîæêè, òåõíîëîãèåé åãî ïîëó÷åíèÿ, ñîñòîÿíèåì ïîâåðõíîñòè è äàëü-
íåéøèì íàçíà÷åíèåì ôîòîìàñêè. Ïîä ïîäëîæêîé â ëèòîãðàôè÷åñêèõ
ïðîöåññàõ ïîäðàçóìåâàþò òîò ìàòåðèàë, íà êîòîðîì ôîðìèðóþò ðå-
çèñòèâíûé ñëîé. Â ïðîèçâîäñòâå, íàïðèìåð, ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ÈÌ
ôîòîëèòîãðàôèþ ïðîâîäÿò ïî ìîíîêðèñòàëëè÷åñêîìó è ïîëèêðèñòàë-
ëè÷åñêîìó êðåìíèþ, ïëåíêàì äèîêñèäà êðåìíèÿ, ïðèìåñíîñèëèêàò-
íûõ ñòåêîë, àëþìèíèÿ è ò. ï.
Åñëè ôîòîìàñêà èñïîëüçóåòñÿ äëÿ ëîêàëüíîãî òðàâëåíèÿ, òî êà÷å-
ñòâî ïåðåäà÷è ðèñóíêà íà ïîäëîæêó (íàïðèìåð, ïëåíêó SiÎ
2
) çàâèñèò,
â îñíîâíîì, îò àäãåçèè ìàñêè ê ïîäëîæêå è îò ñïîñîáíîñòè òðàâèòå-
ëÿ ïðîíèêàòü ïîä ñëîé ôîòîìàñêè ïî ãðàíèöàì îêîí.
Àäãåçèÿ ôîòîñëîÿ óâåëè÷èâàåòñÿ ñ ïîâûøåíèåì ñìà÷èâàíèÿ ïî-
âåðõíîñòè ïîäëîæêè ôîòîðåçèñòîì. Ïðîíèêíîâåíèå òðàâèòåëÿ ïîä
ñëîé ôîòîìàñêè, ïðèâîäÿùåå ê ðàñòðàâëèâàíèþ ïîäëîæêè (ðèñ. 12),
â ñâîþ î÷åðåäü, çàâèñèò îò ñìà÷èâàíèÿ ïîâåðõíîñòè ïîäëîæêè, â äàí-
íîì ñëó÷àå SiO
2
, òðàâèòåëåì èëè âîäîé. Êðèòåðèåì ñìà÷èâàåìîñòè
ÿâëÿåòñÿ êðàåâîé óãîë ñìà÷èâàíèÿ ïîâåðõíîñòè òâåðäîãî òåëà æèä-
êîñòüþ (ðèñ. 13).
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 40
- 41
- 42
- 43
- 44
- …
- следующая ›
- последняя »
