Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 44 стр.

UptoLike

Составители: 

44
Ðèñ. 14. Ñõåìà ïðîöåññà íàíåñåíèÿ ôîòîðåçèñòà öåíòðèôóãèðîâàíèåì:
1 äîçàòîð ôîòîðåçèñòà (êàïåëüíèöà); 2 ñëîé ôîòîðåçèñòà;
3ïîäëîæêà; 4äèñê öåíòðèôóãè: 5ñáîðíèê ôîòîðåçèñòà
Ê âàêóóìíîìó
íàñîñó
Èçëèøêè
ôîòîðåçèñòà
1
2
3
4
5
óìíûì ïðèæèìîì. Íåñêîëüêî êàïåëü ôîòîðåçèñòà íàíîñÿò íà ïîä-
ëîæêó è ìãíîâåííî âêëþ÷àþò öåíòðèôóãó, òàê êàê âÿçêîñòü ôîòîðå-
çèñòà î÷åíü áûñòðî ìåíÿåòñÿ â ðåçóëüòàòå èñïàðåíèÿ ðàñòâîðèòåëåé.
Ïðè âðàùåíèè öåíòðèôóãè æèäêèé ôîòîðåçèñò ðàñòåêàåòñÿ ïî ïî-
âåðõíîñòè ïîäëîæêè ïîä äåéñòâèåì öåíòðîáåæíûõ ñèë, ïðîïîðöèî-
íàëüíûõ ÷èñëó îáîðîòîâ öåíòðèôóãè. Çà ñ÷åò ïîâåðõíîñòíîãî íàòÿ-
æåíèÿ ôîòîðåçèñòà âîçíèêàþò ñèëû ñîïðîòèâëåíèÿ ðàñòåêàíèþ, ïðî-
ïîðöèîíàëüíûå âÿçêîñòè ôîòîðåçèñòà, ïîýòîìó îí íå ïîëíîñòüþ ñáðà-
ñûâàåòñÿ ñ ïîâåðõíîñòè ïîäëîæêè.
Çàâèñèìîñòü îñòàâøåãîñÿ íà ïîâåðõíîñòè æèäêîãî ñëîÿ ôîòîðå-
çèñòà h îò ÷àñòîòû âðàùåíèÿ öåíòðèôóãè ω è êèíåìàòè÷åñêîé âÿçêî-
ñòè ôîòîðåçèñòà ν îïðåäåëÿåòñÿ ñîîòíîøåíèåì
,
hA
ω
ãäå À êîýôôèöèåíò ïðîïîðöèîíàëüíîñòè, ïîäáèðàåìûé ýêñïåðèìåí-
òàëüíî.
Ïðè öåíòðèôóãèðîâàíèè íà ïåðèôåðèè ïîäëîæêè îáðàçóåòñÿ óòîë-
ùåíèå  âàëèê, âûñîòà è øèðèíà êîòîðîãî çàâèñÿò îò âÿçêîñòè ôîòî-
ðåçèñòà, ÷àñòîòû âðàùåíèÿ öåíòðèôóãè è ôîðìû ïîäëîæêè. Ïðèìå-
íåíèå ïëàñòèí êðåìíèÿ ñ ïåðèôåðèéíîé ôàñêîé è ðàáîòà ïðè ÷àñòî-