Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 46 стр.

UptoLike

Составители: 

46
Ðèñ. 16. Íàíåñåíèå ñëîÿ ðåçèñòà
îêóíàíèåì : 1 ïîäëîæêà;
2ñëîé ðåçèñòà; 3  âàííà;
4âîäà èëè ðàñòâîðèòåëü
Ðèñ. 17. Íàíåñåíèå ñëîÿ ðåçèñòà íàêàòêîé:
1 ïëåíî÷íûé ðåçèñò;
2 ïëåíêà íà ïîäëîæêå 3; 4 íåñóùàÿ
ïîëèìåðíàÿ ïëåíêà;
5 çàùèòíàÿ ïëåíêà: 6 âàëèê äëÿ íàêàòêè
6
1
2
3
4
5
4
1
2
3
òðàíåíèÿ êëèíîâèäíîñòè ñëîÿ ïîäëîæêó ïîâîðà÷èâàþò íà 180
î
è âû-
ïîëíÿþò ïîâòîðíîå îêóíàíèå. Ïðîñòîå îêóíàíèå ïðèìåíÿþò òàêæå
äëÿ íàíåñåíèÿ ðåçèñòà íà ãèáêóþ ïîäëîæêó â âèäå íåïðåðûâíîé ëåí-
òû. Ñ ïîìîùüþ ðîëèêîâ ëåíòà ñ ïîñòîÿííîé ñêîðîñòüþ ïðè ïåðåìîò-
êå ñ ðóëîíà ïðîïóñêàåòñÿ ÷åðåç âàííó ñ ðåçèñòîì è ïîñòóïàåò èç íåå
â êàìåðó ñóøêè. Ýòî, òàê íàçûâàåìàÿ, ðóëîííàÿ òåõíîëîãèÿ.
Âî âòîðîì ñïîñîáå ìåòîä îêóíàíèÿ çàêëþ÷àåòñÿ â ïîãðóæåíèè ïîä-
ëîæêè â âîäó èëè îðãàíè÷åñêèé ðàñòâîðèòåëü ÷åðåç òîíêèé ñëîé íà-
íîñèìîãî ðåçèñòà (ðèñ. 16) è â îáðàòíîì åå èçâëå÷åíèè. Áëàãîäàðÿ
ïîëÿðíîñòè ìîëåêóëû ðåçèñòà îðèåíòèðóþòñÿ ê ïîâåðõíîñòè, è ïîä-
ëîæêó îáâîëàêèâàåò ìîíîñëîé ïðè ïîãðóæåíèè è, ìîíîñëîé ïðè èç-
âëå÷åíèè. Ïîâòîðÿÿ ïîãðóæåíèÿ íåñêîëüêî ðàç, ìîæíî ïîëó÷àòü ñëîé
ðåçèñòà òîëùèíîé 150300 À. Îñíîâíîå ïðåèìóùåñòâî ïðîöåññà
ïîëó÷åíèå î÷åíü òîíêèõ, ðàâíîìåðíûõ, áåçäåôåêòíûõ ñëîåâ ñ âûñî-
êîé âîñïðîèçâîäèìîñòüþ ïàðàìåòðîâ, ÷òî îáåñïå÷èâàåò â äàëüíåé-
øåì ôîðìèðîâàíèå ýëåìåíòîâ ñóáìèêðîííûõ ðàçìåðîâ.
Íàêàòêà (ðèñ. 17) ïðèìåíÿåòñÿ äëÿ íàíåñåíèÿ ñóõèõ ïëåíî÷íûõ
ðåçèñòîâ, ïðåäñòàâëÿþùèõ ñîáîé òðåõñëîéíóþ ëåíòó. Ñëîé ðåçèñòà
çàêëþ÷åí ìåæäó íåñóùåé è áîëåå òîíêîé çàùèòíîé ïîëèìåðíûìè
ïëåíêàìè. Ïåðåä íàêàòêîé ðåçèñòà âðàùàþùèìñÿ âàëèêîì íà ïîäî-
ãðåòóþ ïîäëîæêó çàùèòíóþ ïëåíêó óäàëÿþò. Òîëùèíà ñóõîãî ðåçèñ-
òà îêîëî 12 ìêì, ïîýòîìó ìåòîä ïðèìåíÿþò äëÿ ñëó÷àÿ ïîëó÷åíèÿ
òîïîëîãè÷åñêèõ ðèñóíêîâ ñ áîëüøèìè ðàçìåðàìè ýëåìåíòîâ, äî äå-
ñÿòêîâ ìèêðîìåòðîâ.