Составители:
Рубрика:
47
Òåðìîîáðàáîòêà(ïåðâàÿ ñóøêà) âûïîëíÿåòñÿ ïîñëå íàíåñåíèÿ
ñëîÿ æèäêîãî ôîòîðåçèñòà. Â ïðîöåññå ñóøêè óäàëÿåòñÿ ðàñòâîðè-
òåëü, è â ïëåíêå ôîòîðåçèñòà ïðîèñõîäèò ñëîæíûé ðåëàêñàöèîííûé ïðî-
öåññ ïëîòíîé óïàêîâêè ìîëåêóë, óìåíüøàþùèé âíóòðåííèå íàïðÿæåíèÿ
è óâåëè÷èâàþùèé àäãåçèþ ôîòîñëîÿ ê ïîäëîæêå.
Îñíîâíûìè ïàðàìåòðàìè ïðîöåññà ñóøêè ÿâëÿþòñÿ òåìïåðàòóðà è
âðåìÿ. Ïðè íèçêèõ òåìïåðàòóðàõ àäãåçèÿ ôîòîñëîÿ ê ïîäëîæêå ïëîõàÿ,
ïðåîáëàäàåò ñöåïëåíèå ìåæäó ñîáñòâåííûìè ìîëåêóëàìè ïîëèìåðà
(êîãåçèÿ). Ýòèì îáúÿñíÿåòñÿ îòñëàèâàíèå ôîòîñëîÿ ïðè ïðîÿâëåíèè,
êðîìå ýòîãî, âîçìîæíî íåïîëíîå óäàëåíèå ðàñòâîðèòåëÿ. Ïðè áîëüøèõ
òåìïåðàòóðàõ â ôîòîðåçèñòàõ èäåò òåðìîïîëèìåðèçàöèÿ (ïðè 140200
î
Ñ)
è äðóãèå ïðîöåññû. Òàê, â ñëîå ïîçèòèâíîãî ôîòîðåçèñòà ïðè òåìïåðà-
òóðàõ, áîëüøå êðèòè÷åñêèõ, ïðîòåêàþò òå æå íåîáðàòèìûå ÿâëåíèÿ, ÷òî
è ïðè ýêñïîíèðîâàíèè. Êà÷åñòâî ïðîâåäåíèÿ ñóøêè âëèÿåò íà âñå îñ-
òàëüíûå îïåðàöèè ôîòîëèòîãðàôèè.
Êîíâåêòèâíàÿ ñóøêà âûïîëíÿåòñÿ â òåðìîñòàòàõ. Îáðàçóþùàÿñÿ íà
ïîâåðõíîñòè óïëîòíåííàÿ ÷àñòü ñëîÿ ïðåïÿòñòâóåò ðàâíîìåðíîé è ïîë-
êîé ñóøêå. Äëÿ ðàâíîìåðíîãî èñïàðåíèÿ ðàñòâîðèòåëÿ è ñíèæåíèÿ âíóò-
ðåííèõ ìåõàíè÷åñêèõ íàïðÿæåíèé â ôîòîñëîå ñóøêó âûïîëíÿþò â äâà
ýòàïà: 1520 ìèí ïðè 1820
î
Ñ, 3060 ìèí ïðè 90120
î
Ñ.
Òåðìîêîìïðåññèîííàÿ ñóøêà ïîä äàâëåíèåì àçîòà ïîçâîëÿåò ôîð-
ìèðîâàòü êà÷åñòâåííûå ôîòîñëîè, òàê êàê ïðèñóòñòâóþùèå ïàðû ðà-
ñòâîðèòåëÿ îáåñïå÷èâàþò îïòèìàëüíûå óñëîâèÿ äëÿ îðèåíòàöèîííîé
ðåëàêñàöèè ìîëåêóë ôîòîðåçèñòà.
Èíôðàêðàñíàÿ (ÈÊ) ñóøêà îòëè÷àåòñÿ ðàâíîìåðíûì óäàëåíèåì ðà-
ñòâîðèòåëÿ ïî òîëùèíå ñëîÿ ðåçèñòà. Ðàäèàöèÿ ñïîñîáñòâóåò äèôôóçèè
ðàñòâîðèòåëÿ ê ïîâåðõíîñòè, ïîýòîìó ó ïîâåðõíîñòè ñëîé ïðåæäåâðå-
ìåííî íå óïëîòíÿåòñÿ. Âðåìÿ ñóøêè ïîíèæàåòñÿ äî íåñêîëüêèõ ìèíóò.
ÈÊ-ñóøêà ÿâëÿåòñÿ îñíîâíûì ïðîìûøëåííûì ìåòîäîì, ïðèìåíÿå-
ìûì â ñîâðåìåííûõ ôîòîëèòîãðàôè÷åñêèõ ëèíèÿõ. Îíà âûïîëíÿåòñÿ
íåïîñðåäñòâåííî ïîñëå íàíåñåíèÿ ôîòîðåçèñòà ïîä ÈÊ-ëàìïàìè ïðè
íåïðåðûâíîé ïðîäóâêå àçîòîì. Ñóøêà çàâåðøàåò ïðîöåññ ôîðìèðîâà-
íèÿ ôîòîñëîÿ.
Ôîðìèðîâàíèå ôîòîìàñêè òåõíîëîãè÷åñêèé ýòàï, íà êîòîðîì â
ôîòîñëîå ñîçäàåòñÿ òîïîëîãè÷åñêèé ðèñóíîê.  ñîîòâåòñòâèè ñ èçâåñò-
íûìè ïðèíöèïàìè ëîêàëüíîñòè è ïîñëîéíîñòè òåõíîëîãè÷åñêèõ îáðàáî-
òîê â ïðîöåññå èçãîòîâëåíèÿ ñòðóêòóð ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ìèêðîñõåì
ëèòîãðàôèÿ ïðîâîäèòñÿ íåñêîëüêî ðàç (ðèñ. 18).
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 45
- 46
- 47
- 48
- 49
- …
- следующая ›
- последняя »
