Составители:
Рубрика:
48
Ðèñ. 18. Cõåìà òèïîâîãî òåõíîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà èçãîòîâëåíèÿ ïîëóïðîâîä-
íèêîâûõ ìèêðîñõåì: 1 î÷èñòêà ïëàñòèíû êðåìíèÿ ð-òèïà; 2 äèôôóçèÿ
ïðèìåñè ñêðûòîãî n
+
-ñëîÿ; 3 íàíåñåíèå ýïèòàêñèàëüíîãî ñëîÿ n-òèïà;
4 äèôôóçèÿ ïðèìåñè ð-òèïà äëÿ èçîëÿöèè; 5 äèôôóçèÿ ïðèìåñè ð-òèïà;
6 äèôôóçèÿ ïðèìåñè n-òèïà; 7 ìåòàëëèçàöèÿ; 8 íàíåñåíèå çàùèòíîãî
ïîêðûòèÿ; 9 êîíòðîëü ãîòîâûõ ñòðóêòóð
Ôîòîëèòîãðàôèÿ
' & %
$
#"!
ñëîÿ
Ïîëó÷åíèå ìàñêèðóþùåãî
Íà÷èíàÿ ñî âòîðîé ëèòîãðàôèè, íåîáõîäèìî ñîâìåùàòü ðèñóíîê
øàáëîíà ñ ðèñóíêîì íà ïîäëîæêå, ïîëó÷åííîì ïðè ôîðìèðîâàíèè ïðå-
äûäóùåãî òåõíîëîãè÷åñêîãî ñëîÿ ñ ïðèìåíåíèåì ïðåäøåñòâóþùåãî
ëèòîãðàôè÷åñêîãî ïðîöåññà.
Êîíòàêòíîå ýêñïîíèðîâàíèå õîðîøî èçó÷åííûé è îñâîåííûé ïðî-
ìûøëåííûì ïðîèçâîäñòâîì ìåòîä ïåðåäà÷è èçîáðàæåíèÿ ñ øàáëî-
íà íà ôîòîñëîé.
Ñîâìåùåíèå âûïîëíÿþò âèçóàëüíî íà òîé æå óñòàíîâêå, ÷òî è
ïîñëåäóþùåå ýêñïîíèðîâàíèå, ïóòåì íàëîæåíèÿ ïðè íàáëþäåíèè ïîä
ìèêðîñêîïîì ðèñóíêîâ øàáëîíà è ïîäëîæêè. Òî÷íîñòü ñîâìåùåíèÿ
çàâèñèò: îò òî÷íîñòè ñîâìåùåíèÿ ôîòîøàáëîíîâ â êîìïëåêòå, òî÷-
íîñòè âîñïðîèçâåäåíèÿ òîïîëîãè÷åñêîãî ðèñóíêà ïðåäûäóùèì ôîòî-
ëèòîãðàôè÷åñêèì ïðîöåññîì è òî÷íîñòè ñàìîé îïåðàöèè ñîâìåùå-
íèÿ. Äëÿ ñîâìåùåíèÿ øàáëîíîâ äðóã ñ äðóãîì â êîìïëåêòå è êàæäî-
ãî øàáëîíà ñ ðèñóíêîì íà ïîäëîæêå ïðèìåíÿþòñÿ ñïåöèàëüíûå òî-
ïîëîãè÷åñêèå ðèñóíêè ôèãóðû ñîâìåùåíèÿ â âèäå êîëåö, êðåñòîâ,
øòðèõîâ è äð. Òî÷íîñòü ñàìîé îïåðàöèè ñîâìåùåíèÿ çàâèñèò îò
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 46
- 47
- 48
- 49
- 50
- …
- следующая ›
- последняя »
