Составители:
Рубрика:
50
@
m
@
m
@
n
@
n
Ìàñêà
Ïëåíêà
Ïðîìåæóòîê Ëèíèÿ
Ïîäëîæêà
Ðèñ. 19. Èñêàæåíèå òîïîëîãè÷åñêîãî ðèñóíêà
ïðè æèäêîñòíîì èçîòðîïíîì òðàâëåíèè
øåíèÿ êà÷åñòâà ôîòîìàñêè, ñóøêó ïðîâîäÿò â äâà òðè ýòàïà ñ ïî-
ñòåïåííûì ïîäúåìîì òåìïåðàòóðû äî ìàêñèìàëüíîé. Äëÿ áîëüøèí-
ñòâà ôîòîðåçèñòîâ ìàêñèìàëüíàÿ òåìïåðàòóðà âòîðîé ñóøêè 150
î
Ñ,
îáùåå âðåìÿ 11,5 ÷. Îáëó÷åíèå ïåðåä âòîðîé ñóøêîé áîëüøîé äîçîé
ãëóáîêîãî óëüòðàôèîëåòà (ÃÓÔ) óñòðàíÿåò ïëàñòè÷åñêîå òå÷åíèå ðåçè-
ñòà ïðè òåðìîîáðàáîòêå è ñóùåñòâåííî óëó÷øàåò êà÷åñòâî ôîòîìàñêè.
Ïåðåäà÷à èçîáðàæåíèÿ ñ ôîòîìàñêè íà ìàòåðèàë ñëîÿ ÈÌ âû-
ïîëíÿåòñÿ äâóìÿ ñïîñîáàìè.
Òðàâëåíèå ïðè ïðÿìîé ôîòîëèòîãðàôèè ÿâëÿåòñÿ îòâåòñòâåííîé îïå-
ðàöèåé, òàê êàê áðàê ïîñëå òðàâëåíèÿ íåèñïðàâèì. Òðàâèòåëü äîëæåí
âçàèìîäåéñòâîâàòü òîëüêî ñ óäàëÿåìûì ìàòåðèàëîì, òàê êàê âîçìîæ-
íî íåæåëàòåëüíîå óäàëåíèå ðàíåå ñôîðìèðîâàííûõ îáëàñòåé ñòðóêòóð
ÈÌ, à ïðè âîçäåéñòâèè íà ôîòîñëîé íå îáåñïå÷èâàåòñÿ êîíòðîëèðóå-
ìîñòü ðàçìåðîâ ôîðìèðóåìûõ ýëåìåíòîâ.
Êà÷åñòâî òðàâëåíèÿ îïðåäåëÿåòñÿ âåëè÷èíîé àäãåçèè ôîòîìàñêè ê
ïîäëîæêå, íàëè÷èåì â ìàñêå äåôåêòîâ è çàâèñèò îò ñâîéñòâ òðàâèòåëÿ,
ñïîñîáà è ðåæèìîâ òðàâëåíèÿ. Îñíîâíûì êðèòåðèåì êà÷åñòâà ïåðåíîñà
ðèñóíêà ÿâëÿåòñÿ êëèí òðàâëåíèÿ, ò. å. óõîä ãîðèçîíòàëüíûõ ðàçìåðîâ
ðèñóíêà ïî îòíîøåíèþ ê ìàñêå.
Áîëüøèíñòâî æèäêèõ òðàâèòåëåé èçîòðîïíû, ò. å. ñêîðîñòü òðàâëå-
íèÿ â íèõ ïðàêòè÷åñêè îäèíàêîâà âî âñåõ íàïðàâëåíèÿõ, ïîýòîìó ðèñó-
íîê ìàñêè ïåðåíîñèòñÿ ñ èñêàæåíèåì (ðèñ. 19). Â ñâÿçè ñ ýòèì æèäêî-
ñòíîå òðàâëåíèå íå ìîæåò îáåñïå÷èòü ïîëó÷åíèå ýëåìåíòîâ ñ ðàçìåðà-
ìè ìåíåå 12 ìêì.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 48
- 49
- 50
- 51
- 52
- …
- следующая ›
- последняя »
