Составители:
Рубрика:
52
5. ÌÅÒÎÄÛ ÏÎËÓ×ÅÍÈß ÒÎÍÊÈÕ ÏËÅÍÎÊ
5.1. Òåðìîâàêóóìíîå íàïûëåíèå
Îñíîâû ìåòîäà. Ìåòîä îñíîâàí íà ñîçäàíèè íàïðàâëåííîãî ïîòîêà
ïàðà âåùåñòâà è ïîñëåäóþùåé êîíäåíñàöèè åãî íà ïîâåðõíîñòÿõ ïîäëî-
æåê, èìåþùèõ òåìïåðàòóðó íèæå òåìïåðàòóðû èñòî÷íèêà ïàðà. Ïðî-
öåññ òåðìîâàêóóìíîãî íàïûëåíèÿ ìîæíî ðàçáèòü íà ÷åòûðå ýòàïà: îá-
ðàçîâàíèå ïàðà âåùåñòâà, ðàñïðîñòðàíåíèå ïàðà îò èñòî÷íèêà ê ïîä-
ëîæêàì, êîíäåíñàöèè ïàðà íà ïîäëîæêàõ, îáðàçîâàíèå çàðîäûøåé è ðîñò
ïëåíêè.
Îáðàçîâàíèå ïàðà âåùåñòâà âûïîëíÿåòñÿ ïóòåì åãî èñïàðåíèÿ èëè
ñóáëèìàöèè. Âåùåñòâà ïåðåõîäÿò â ïàð ïðè ëþáîé òåìïåðàòóðå âûøå
àáñîëþòíîãî íóëÿ, íî ÷òîáû óâåëè÷èòü èíòåíñèâíîñòü ïàðîîáðàçîâàíèÿ
âåùåñòâà íàãðåâàþò. Ñ óâåëè÷åíèåì òåìïåðàòóðû ïîâûøàåòñÿ ñðåä-
íÿÿ êèíåòè÷åñêàÿ ýíåðãèÿ àòîìîâ è âåðîÿòíîñòü ðàçðûâîâ ìåæàòîìíûõ
ñâÿçåé. Àòîìû îòðûâàþòñÿ îò ïîâåðõíîñòè è ðàñïðîñòðàíÿþòñÿ â ñâî-
áîäíîì ïðîñòðàíñòâå, îáðàçóÿ ïàð.
Äàâëåíèå íàñûùåííîãî ïàðà ñèëüíî çàâèñèò îò òåìïåðàòóðû. Ïðè-
ðàùåíèÿ òåìïåðàòóðû íà êàæäûå 510% ñâåðõ òåìïåðàòóðû èñïàðåíèÿ
ïðèâîäÿò ê óâåëè÷åíèþ äàâëåíèÿ íàñûùåííîãî ïàðà, à ñëåäîâàòåëüíî, è
ñêîðîñòè èñïàðåíèÿ íà îäèí ïîðÿäîê.
Ðàñïðîñòðàíåíèå ïàðà îò èñòî÷íèêà ê ïîäëîæêàì îñóùåñòâëÿ-
åòñÿ ïóòåì äèôôóçèè è êîíâåêöèè, íà êîòîðûå â ïåðâóþ î÷åðåäü âëèÿåò
ñòåïåíü âàêóóìà. Äëÿ óìåíüøåíèÿ ïîòåðü èñïàðÿåìîãî ìàòåðèàëà çà
ñ÷åò íàïûëåíèÿ íà âíóòðèêàìåðíóþ îñíàñòêó è ñòåíêè êàìåðû, à òàêæå
äëÿ ïîâûøåíèÿ ñêîðîñòè íàïûëåíèÿ è ïîëó÷åíèÿ áîëåå ðàâíîìåðíîé ïî
òîëùèíå ïëåíêè íåîáõîäèìî îáåñïå÷èòü ïðÿìîëèíåéíîå äâèæåíèå ÷àñ-
òèö ïàðà â íàïðàâëåíèè ïîäëîæêè. Ýòî âîçìîæíî ïðè óñëîâèè, åñëè äëèíà
ñâîáîäíîãî ïðîáåãà ÷àñòèö ïàðà áóäåò áîëüøå ðàññòîÿíèÿ èñòî÷íèê ïîä-
ëîæêà.
Ìîæíî ñ÷èòàòü, ÷òî ÷àñòèöû íàïûëÿåìîãî âåùåñòâà ðàñïðîñòðàíÿ-
þòñÿ ïðÿìîëèíåéíî íàïðàâëåííûì ìîëåêóëÿðíûì (àòîìàðíûì) ïîòî-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 50
- 51
- 52
- 53
- 54
- …
- следующая ›
- последняя »
