Составители:
Рубрика:
54
Íà ýòàïå îáðàçîâàíèÿ çàðîäûøåé è ðîñòà ïëåíêè âîçäåéñòâèå îñòà-
òî÷íûõ ãàçîâ íà ðàñòóùóþ ïëåíêó äîëæíî áûòü ñâåäåíî ê ìèíèìóìó.
Îáåñïå÷èòü ýòî ìîæíî ïîâûøåíèåì ñòåïåíè âàêóóìà èëè óâåëè÷å-
íèåì ñêîðîñòè ïàðîîáðàçîâàíèÿ. Ñîçäàíèå ñâåðõâàêóóìíûõ óñòàíîâîê
ïðåäñòàâëÿåò çíà÷èòåëüíûå òðóäíîñòè, è êðîìå òîãî, âðåìÿ îòêà÷êè
ðàáî÷èõ êàìåð âåëèêî. Ïîýòîìó íà ïðàêòèêå ïðîöåññ, â îñíîâíîì, ïðî-
âîäÿò ïðè äàâëåíèè 1,3⋅10
4
6,6⋅10
5
Ïà, êîòîðîå äîñòèãàåòñÿ îòíîñèòåëü-
íî ïðîñòî ñ ïîìîùüþ ôîðâàêóóìíîãî è äèôôóçèîííîãî ïàðîìàñëÿíîãî
íàñîñîâ. Íà ÷èñòîòó ðàñòóùåé ïëåíêè âëèÿåò òàêæå íàëè÷èå â ïîòîêå
ïàðà ÷àñòèö ìàòåðèàëà èñïàðèòåëÿ è çàãðÿçíåíèÿ, ïðèñóòñòâóþùèõ íà
ïîâåðõíîñòè ïîäëîæêè. Ïîýòîìó ïðèìåíÿþò èñïàðèòåëè èç ìàòåðèàëîâ
ñ äàâëåíèåì íàñûùåííîãî ïàðà ïðè òåìïåðàòóðå èñïàðåíèÿ ñóùåñòâåí-
íî ìåíüøåì, ÷åì ó èñïàðÿåìîãî âåùåñòâà, à òàêæå âûïîëíÿþò î÷èñòêó
ïîâåðõíîñòè ïîäëîæåê â âàêóóìíîé êàìåðå íåïîñðåäñòâåííî ïåðåä íà-
ïûëåíèåì ïëåíîê.
Äëÿ óâåëè÷åíèÿ ñêîðîñòè ïàðîîáðàçîâàíèÿ ñ öåëüþ óìåíüøåíèÿ âëè-
ÿíèÿ îñòàòî÷íûõ ãàçîâ íà ñâîéñòâà íàïûëÿåìûõ ïëåíîê èñïàðåíèå ïî-
÷òè âñåãäà âåäóò ïðè òåìïåðàòóðàõ, ïðåâûøàþùèõ óñëîâíóþ òåìïåðà-
òóðó èñïàðåíèÿ âåùåñòâà (ôîðñèðîâàííûé ðåæèì). Ïðè íèçêèõ ñêîðîñ-
òÿõ èñïàðåíèÿ âîçìîæíî îáðàçîâàíèå ðûõëûõ, øåðîõîâàòûõ ïëåíîê.
Êà÷åñòâî ïëåíêè îïðåäåëÿåòñÿ òàêæå ðàçìåðîì çåðíà è âåëè÷èíîé
àäãåçèè ê ïîâåðõíîñòè ïîäëîæêè. Ïîâûøåíèå òåìïåðàòóðû ïîäëîæåê
óìåíüøàåò ïëîòíîñòü öåíòðîâ çàðîäûøåîáðàçîâàíèÿ è, ñëåäîâàòåëüíî,
ñïîñîáñòâóåò ôîðìèðîâàíèþ êðóïíîçåðíèñòûõ ïëåíîê è, íàîáîðîò, ïî-
âûøåíèå ïëîòíîñòè ïîòîêà ïàðà âåùåñòâà ñïîñîáñòâóåò ïîëó÷åíèþ ïëå-
íîê ñ ìåëêîçåðíèñòîé ñòðóêòóðîé.
Ïðè ïðî÷èõ ðàâíûõ óñëîâèÿõ ñêëîííîñòüþ ê îáðàçîâàíèþ ìåëêîçåð-
íèñòîé ñòðóêòóðû îáëàäàþò ìåòàëëû ñ âûñîêîé òåìïåðàòóðîé èñïàðå-
íèÿ W, Ìî Òà, Ðt, Ni. Íèçêîòåìïåðàòóðíûå ìåòàëëû Zn, Ñd è äðóãèå
îáðàçóþò êðóïíîçåðíèñòûå ïëåíêè.
Àäãåçèÿ, ò.å. ïðî÷íîñòü ñöåïëåíèÿ ïëåíêè ñ ïîäëîæêîé, ïðè çíà÷è-
òåëüíîé ðàçíèöå â èõ ÒÊËÐ óìåíüøàåòñÿ èç-çà âíóòðåííèõ íàïðÿæåíèé,
âîçíèêàþùèõ â ïëåíêå ïðè îõëàæäåíèè ïîñëå íàïûëåíèÿ. Íåäîñòàòî÷-
íàÿ àäãåçèÿ ïðè÷èíà îòñëàèâàíèÿ ïëåíîê. Ïëåíêè òîëùèíîé áîëåå 1,5
2 ìêì èìåþò íåäîñòàòî÷íóþ àäãåçèþ, ïîýòîìó òåðìîâàêóóìíîå íàïû-
ëåíèå ïðèìåíÿþò äëÿ ïîëó÷åíèÿ ïëåíîê ìåíüøåé òîëùèíû.
Áîëüøàÿ àäãåçèÿ îáåñïå÷èâàåòñÿ äëÿ íàïûëÿåìûõ ìàòåðèàëîâ, õè-
ìè÷åñêè ðîäñòâåííûõ ñ ìàòåðèàëîì ïîäëîæêè.  ýòîì ñëó÷àå êîíäåí-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 52
- 53
- 54
- 55
- 56
- …
- следующая ›
- последняя »
