Составители:
Рубрика:
55
Ðèñ. 20. Cõåìà ïðîöåññà òåðìîâàêóóìíîãî íàïûëåíèÿ: 1 âàêóóìíàÿ êàìåðà;
2 íàãðåâàòåëü ïîäëîæêè; 3 äåðæàòåëü ïîäëîæêè; 4 ïîäëîæêà;
5 çàñëîíêà; 6 ÷àñòèöû èñïàðÿåìîãî âåùåñòâà; 7 èñïàðèòåëü ñ íàâåñêîé
ìàòåðèàëà ïëåíêè; 8 îïîðíàÿ ïëèòà
ñàöèÿ ñîïðîâîæäàåòñÿ îáðàçîâàíèåì ïðî÷íûõ õèìè÷åñêèõ ñâÿçåé (õå-
ìîñîðáöèÿ). Ìàòåðèàëû ïîäëîæåê äëÿ òîíêîïëåíî÷íûõ ÈÌ (ñèòàëëû,
êåðàìèêà, ñòåêëà) ñîñòîÿò èç îêñèäîâ ìåòàëëîâ è íåìåòàëëîâ. Õåìî-
ñîðáöèÿ ïðîèñõîäèò ïðè íàïûëåíèè îêñèäîâ, à òàêæå ëåãêîîêèñëÿåìûõ
ìåòàëëîâ À1, Ñã, Ìn, Òi, W. Çîëîòî, ïëàòèíà, ïàëëàäèé èìåþò ê ýòèì
ïîäëîæêàì íèçêóþ àäãåçèþ. Äëÿ óëó÷øåíèÿ àäãåçèè è ñòðóêòóðû ïëå-
íîê íàïûëåíèå ïðîâîäÿò íà íàãðåòûå äî òåìïåðàòóðû 200400
î
Ñ ïîä-
ëîæêè.
Òåõíèêà òåðìîâàêóóìíîãî íàïûëåíèÿ (ÒÂÍ). Êàê áûëî ïîêàçàíî,
ïðîöåññ ÒÂÍ âûïîëíÿþò â âàêóóìíûõ êàìåðàõ ñ ïðåäåëüíûì äàâëåíè-
åì 1,3⋅10
4
6,6⋅10
5
Ïà. Íàãðåâ âåùåñòâà îñóùåñòâëÿþò ïðÿìûì èëè
êîñâåííûì (òåïëîïåðåäà÷åé îò èñïàðèòåëÿ) ñïîñîáàìè: ïóòåì ïðîïóñ-
êàíèÿ ýëåêòðè÷åñêîãî òîêà, òîêàìè èíäóêöèè, ýëåêòðîííîé áîìáàðäè-
ðîâêîé. Ñõåìà ÒÂÍ ïðèâåäåíà íà ðèñ. 20.
Ñòàöèîíàðíàÿ è ñúåìíàÿ îñíàñòêà âàêóóìíîé êàìåðû ïåðèîäè÷åñêè
î÷èùàåòñÿ îò íàñëîåíèé ïðåäûäóùèõ íàïûëåíèé. Ïðîöåññ íà÷èíàþò ñ
çàãðóçêè âàêóóìíîé êàìåðû: èñïàðÿåìûé ìàòåðèàë ïîìåùàþò â òèãëè,
ïîäëîæêè óñòàíàâëèâàþò â ïîäëîæêîäåðæàòåëè, ìàñêè â ìàñêîäåð-
æàòåëè. Â çàâèñèìîñòè îò êîíñòðóêöèè âíóòðèêàìåðíûõ óñòðîéñòâ òåõ-
íèêè âûïîëíåíèÿ çàãðóçêè ìîãóò ðàçëè÷àòüñÿ. Çàòåì êàìåðó ãåðìåòè-
çèðóþò è ïðîèçâîäÿò îòêà÷êó âîçäóõà. Ïðè çàêðûòîé çàñëîíêå ïðîèçâî-
ii
i i
i
i
i
i
Îòêà÷êà
1
2
3
4
5
6
7
8
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 53
- 54
- 55
- 56
- 57
- …
- следующая ›
- последняя »
