Составители:
Рубрика:
56
äÿò íàãðåâ ïîäëîæåê äî çàäàííîé òåìïåðàòóðû è èñïàðèòåëåé äî òåì-
ïåðàòóðû èñïàðåíèÿ. Ïðîâîäÿò èîííóþ î÷èñòêó ïîâåðõíîñòåé ïîäëî-
æåê. Îòêà÷èâàþò êàìåðó äî ïðåäåëüíîãî âàêóóìà. Ïîñëå ýòîãî îòêðû-
âàþò çàñëîíêó è âåäóò íàïûëåíèå ïëåíêè. Ïðè ïîëó÷åíèè çàäàííîé òîë-
ùèíû ïëåíêè ïðîöåññ íàïûëåíèÿ ïðåêðàùàþò, ïåðåêðûâàÿ àòîìàðíûé
ïîòîê çàñëîíêîé. Ïîäëîæêè îõëàæäàþò è ïîñëå ýòîãî â êàìåðó íàïóñêà-
þò âîçäóõ è ïðîèçâîäÿò âûãðóçêó ïîäëîæåê.
Îñíîâíûå ïàðàìåòðû ïðîöåññà ÒÂÍ: äàâëåíèå â âàêóóìíîé êàìå-
ðå, òåìïåðàòóðà èñïàðèòåëåé, òåìïåðàòóðà ïîäëîæåê, âðåìÿ íàïûëå-
íèÿ.
Äîñòîèíñòâà è íåäîñòàòêè ìåòîäà. Ïðîöåññ ÒÂÍ õîðîøî îñâî-
åí, ïîçâîëÿåò ïîëó÷àòü ìíîãèå ïàññèâíûå ýëåìåíòû, ìåòàëëèçàöèþ ïî-
ëóïðîâîäíèêîâûõ ñòðóêòóð, ïðèìåíÿåòñÿ ïðè èçãîòîâëåíèè ôîòîøàáëî-
íîâ è äð. Ñ ïîìîùüþ ÒÂÍ ìîæíî ïîëó÷àòü ïëåíêè ìåòàëëîâ, ïîëóïðî-
âîäíèêîâ, äèýëåêòðèêîâ. Ïðîöåññ îáåñïå÷èâàåò âûñîêèå ñêîðîñòè ðîñ-
òà ïëåíîê è ñòåïåíü ÷èñòîòû, ïîëó÷åíèå êà÷åñòâåííûõ ïëåíîê ïðè ñðàâ-
íèòåëüíî íèçêèõ òåìïåðàòóðàõ ïîäëîæåê. Ñðàâíèòåëüíî ëåãêàÿ àâòî-
ìàòèçàöèÿ ïðîöåññà ïîçâîëÿåò ñîçäàâàòü ñëîæíûå âàêóóìíûå óñòàíîâ-
êè è êîìïëåêñû, óïðàâëÿåìûå ñ ïîìîøüþ ÝÂÌ.
Ê íåäîñòàòêàì ìåòîäà îòíîñÿòñÿ: èçìåíåíèå ïðîöåíòíîãî ñîîòíî-
øåíèÿ êîìïîíåíòîâ ïðè íàïûëåíèè ñïëàâîâ è ñëîæíûõ âåùåñòâ, íåäî-
ñòàòî÷íàÿ ðàâíîìåðíîñòü òîëùèíû ïëåíîê íà áîëüøèõ ïîäëîæêàõ, òðóä-
íîñòü ïîëó÷åíèÿ ïëåíîê òóãîïëàâêèõ ìàòåðèàëîâ, âûñîêàÿ èíåðöèîííîñòü
ïðè èñïîëüçîâàíèè èñïàðèòåëåé (ïîñëå âûêëþ÷åíèÿ íàãðåâà èñïàðèòå-
ëåé ïàðîîáðàçîâàíèå ïðîäîëæàåòñÿ, ïîýòîìó ïðîöåññ íàïûëåíèÿ ïëåíêè
ïðåêðàùàåòñÿ ñ ïîìîùüþ ìåõàíè÷åñêîé çàñëîíêè), ñðàâíèòåëüíî íåâû-
ñîêàÿ àäãåçèÿ ïëåíîê, äëèòåëüíîñòü ïîäãîòîâêè ê ïðîöåññó îòêà÷êè ïî
ñðàâíåíèþ ñ íàïûëåíèåì ïëåíêè (12 ÷ è 11,5 ìèí), òðóäíîñòü ñîçäà-
íèÿ èñïàðèòåëåé ñ áîëüøèì ðåñóðñîì ðàáîòû áîëåå 50100 ÷, îòíîñè-
òåëüíàÿ ñëîæíîñòü îáîðóäîâàíèÿ.
5.2. Ðàñïûëåíèå èîííîé áîìáàðäèðîâêîé
Îñàæäåíèå ïëåíîê ðàñïûëåíèåì ìàòåðèàëà â ïëàçìå ãàçîâîãî ðàç-
ðÿäà ïî ñðàâíåíèþ ñ ÒÂÍ ðàñøèðÿåò âîçìîæíîñòè ïîëó÷åíèÿ ïëåíîê ñ
çàäàííûìè ñâîéñòâàìè. Ðàñïûëåíèå ïîçâîëÿåò îñàæäàòü ïëåíêè òóãîï-
ëàâêèõ ìàòåðèàëîâ, ñïëàâîâ, ñëîæíûõ âåùåñòâ è ìàòåðèàëîâ ñ íèçêèì
äàâëåíèåì ïàðîâ.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 54
- 55
- 56
- 57
- 58
- …
- следующая ›
- последняя »
