Составители:
Рубрика:
58
Ðèñ. 21. Ñõåìà ïðîöåññà ïîëó÷åíèÿ
ïëåíîê êàòîäíûì ðàñïûëåíèåì:
1 èçîëÿòîð; 2 âàêóóìíàÿ êàìåðà;
3 ýêðàí; 4 êàòîä-ìèøåíü; 5 èîí
àðãîíà, áîìáàðäèðóþùèé êàòîä;
6 ÷àñòèöû ðàñïûëåííîãî êàòîäà;
7 ïîäëîæêà; 8- àíîä; 9 òåìíîå êàòîä-
íîå ïðîñòðàíñòâî òëåþùåãî ðàçðÿäà
îòíîñèòåëüíî áîëüøîå êîëè÷åñòâî èîíèçóåìûõ â ìåæýëåêòðîäíîì ïðî-
ñòðàíñòâå àòîìîâ èñòî÷íèêà. Çàðÿæåííûå ÷àñòèöû çà ñ÷åò äîïîëíè-
òåëüíîé ýëåêòðîñòàòè÷åñêîé ýíåðãèè óâåëè÷èâàþò ïîâåðõíîñòíóþ ìèã-
ðàöèþ ìåæäó çàðîäûøàìè è óñêîðÿþò èõ ðîñò â ïëîñêîñòè. Ïîñëåäíèì
îáúÿñíÿåòñÿ òî, ÷òî îñàæäàåìûå èîííûì ðàñïûëåíèåì ïëåíêè ñòàíî-
âÿòñÿ ñïëîøíûìè ïðè ìåíüøèõ òîëùèíàõ, ÷åì ïëåíêè, ïîëó÷åííûå ÒÂÍ.
Ñêîðîñòè îñàæäåíèÿ ïëåíîê, êàê ïðàâèëî, íèæå, ÷åì ïðè ÒÂÍ, èç-çà ìàëûõ
ïëîòíîñòåé ïîòîêà. Ïëîòíîñòü ïëåíîê âûøå èç-çà áîëüøåé ýíåðãèè îñàæ-
äàåìûõ ÷àñòèö.
Ðàçëè÷àþò êàòîäíîå (ôèçè÷åñêîå è ðåàêòèâíîå), èîííî-ïëàçìåííîå,
à òàêæå âûñîêî÷àñòîòíîå ( Â×) è ìàãíåòðîííîå ðàñïûëåíèå.
Ôèçè÷åñêîå êàòîäíîå ðàñïûëåíèå. Íàíåñåíèå ïðîâîäíèêîâûõ è
ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëåíîê ýòèì ìåòîäîì âûïîëíÿþò â âàêóóìíûõ êà-
ìåðàõ äèîäíîãî òèïà â ïëàçìå òëåþùåãî ðàçðÿäà àðãîíà. Ïîäëîæêè
ðàñïîëàãàþò íà àíîäå (ðèñ. 21), à êàòîä ÿâëÿåòñÿ èñòî÷íèêîì ìàòåðèà-
ëà äëÿ îáðàçîâàíèÿ ïëåíêè.
 îñòàëüíîì ïðîöåññ ïî ñóùåñòâó íå îòëè÷àåòñÿ îò èîííîãî ïëàç-
ìåííîãî òðàâëåíèÿ â äèîäíûõ
êàìåðàõ. Â êàìåðó âàêóóìíîé
óñòàíîâêè çàãðóæàþò ïîäëîæêè
è ïðîèçâîäÿò îòêà÷êó äî äàâëå-
íèÿ 1⋅10
3
1⋅10
4
Ïà, çàòåì íà-
ïóñêàþò àðãîí äî äàâëåíèÿ 1,3
13 Ïà. Äàëåå ïðîöåññ âåäóò ïðè
íåïðåðûâíûõ îòêà÷êå è ïîñòóï-
ëåíèè ÷åðåç íàòåêàòåëü àðãîíà,
÷òî îáåñïå÷èâàåò çàäàííîå äàâ-
ëåíèå ãàçà. Ïðè ïîäà÷å íà êàòîä-
ìèøåíü îòðèöàòåëüíîãî ïîòåí-
öèàëà 1,54 ê îòíîñèòåëüíî çà-
çåìëåííîãî àíîäà â êàìåðå çà-
æèãàåòñÿ òëåþùèé ðàçðÿä. Èîíû
àðãîíà, ïîïàâøèå â îáëàñòü êà-
òîäíîãî ïðîñòðàíñòâà, áîìáàð-
äèðóþò êàòîä íà÷èíàåòñÿ åãî
ðàñïûëåíèå. Ðàñïûëåíèå ñíà÷à-
ëà âåäóò íà çàñëîíêó, à ïîñëå î÷è-
Ar
i
i -
+
+
1
2
3
4
5
6
7
8
9
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 56
- 57
- 58
- 59
- 60
- …
- следующая ›
- последняя »
