Составители:
Рубрика:
59
ñòêè ïîâåðõíîñòè êàòîäà çàñëîíêó îòêðûâàþò ïîòîê ÷àñòèö îñàæäà-
åòñÿ íà ïîâåðõíîñòè ïîäëîæåê. Ïðîöåññ ïðåêðàùàþò îòêëþ÷åíèåì íà-
ïðÿæåíèÿ êàòîä àíîä; ïîñëå îõëàæäåíèÿ ïîäëîæêè âûãðóæàþò.
Ïðåèìóùåñòâàìè êàòîäíîãî ðàñïûëåíèÿ ÿâëÿþòñÿ: íèçêèå òåìïåðà-
òóðû ïîäëîæåê â ïðîöåññå íàíåñåíèÿ ïëåíîê; áîëüøàÿ, ÷åì ïðè òåðìî-
âàêóóìíîì íàïûëåíèè, ðàâíîìåðíîñòü ïëåíîê ïî ïëîùàäè ïîäëîæåê, òàê
êàê äèàìåòð êàòîäà (300350 ìì) ñóùåñòâåííî áîëüøå ðàññòîÿíèÿ êà-
òîä ïîäëîæêà (3080 ìì); áåçûíåðöèîííîñòü (ðàñïûëåíèå íà÷èíàåò-
ñÿ ïðè ïîäà÷å íà ýëåêòðîäû íàïðÿæåíèÿ è ìãíîâåííî ïðåêðàùàåòñÿ ïðè
åãî ñíÿòèè); îòñóòñòâèå íåîáõîäèìîñòè ÷àñòîé ñìåíû èñòî÷íèêà ÷àñ-
òèö ðàñòóùåé ïëåíêè êàòîäà; íåèçìåíÿåìîñòü ñòåõèîìåòðèè ñîñòàâà
ïëåíêè ïî ñðàâíåíèþ ñ ñîñòàâîì êàòîäà; âûñîêàÿ àäãåçèÿ ïëåíîê ê ïîä-
ëîæêàì.
Îñíîâíûå íåäîñòàòêè: ñðàâíèòåëüíî íåâûñîêèå ñêîðîñòè îñàæäåíèÿ,
çàãðÿçíåííîñòü ïëåíîê ìîëåêóëàìè îñòàòî÷íûõ ãàçîâ è áîëåå ñëîæíîå
óïðàâëåíèå òåõïðîöåññîì ïî ñðàâíåíèþ ñ òåðìîâàêóóìíûì íàïûëåíèåì.
Ðåàêòèâíîå êàòîäíîå ðàñïûëåíèå.  îòëè÷èå îò îáû÷íîãî ôèçè-
÷åñêîãî ðåàêòèâíîå êàòîäíîå ðàñïûëåíèå îñóùåñòâëÿåòñÿ â òëåþùåì
ðàçðÿäå ñìåñè èíåðòíîãî è àêòèâíîãî ãàçîâ. ×àñòèöû ðàñïûëÿåìîãî
êàòîäà õèìè÷åñêè âçàèìîäåéñòâóþò ñ àêòèâíûì ãàçîì èëè îáðàçóþò ñ
íèì òâåðäûå ðàñòâîðû, è íîâîå âåùåñòâî ïîñòóïàåò íà ïîäëîæêè. ×òî-
áû ïðîöåññ îáðàçîâàíèÿ âåùåñòâà íàíîñèìîé ïëåíêè íå ïðîèñõîäèë íà
êàòîäå, ÷òî âåñüìà çàòðóäíÿåò ãîðåíèå ðàçðÿäà, ïðèìåíÿþò ñìåñè àð-
ãîíà ñ ñîäåðæàíèåì àêòèâíûõ ãàçîâ íå áîëåå 10%.
Äëÿ ïîëó÷åíèÿ ïëåíîê îêñèäîâ ðàñïûëåíèå ïðîèçâîäÿò â ïëàçìå àð-
ãîí êèñëîðîä, íèòðèäîâ â ïëàçìå àðãîí àçîò, êàðáèäîâ â ïëàçìå
àðãîí óãàðíûé ãàç èëè àðãîí ìåòàí. Ââîäÿ â êàìåðó ðàçëè÷íûå àê-
òèâíûå ãàçû, ìîæíî ïîëó÷àòü ïëåíêè ðàçíîîáðàçíûõ ñîåäèíåíèé, êîòî-
ðûå ïðàêòè÷åñêè íåâîçìîæíî ïîëó÷èòü ïðè òåðìîâàêóóìíîì íàïûëå-
íèè. Íàïðèìåð: ôåððèòîâûå ìàãíèòíûå ïëåíêè ïîëó÷àþò ïðè ðàñïûëå-
íèè ñïëàâà íèêåëÿ ñ æåëåçîì â ïëàçìå òëåþùåãî ðàçðÿäà àðãîí êèñ-
ëîðîä; ïëåíêè ñèëèöèäà ìîëèáäåíà ïîëó÷àþò ðàñïûëåíèåì ìîëèáäåíî-
âîé ìèøåíè â ïëàçìå Ar+SiH
4
.
Ðåàêòèâíîå êàòîäíîå ðàñïûëåíèå ïîçâîëÿåò íå òîëüêî ïîëó÷àòü ðàç-
íîîáðàçíûå ïî ñîñòàâó ïëåíêè, íî è êîíòðîëèðóåìî óïðàâëÿòü ñâîéñòâà-
ìè ïëåíîê, íàïðèìåð, óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì ðåçèñòèâíûõ ïëåíîê.
Òàê, ïðè ðàñïûëåíèè òàíòàëîâîãî êàòîäà â ïëàçìå àðãîí àçîò ïîëó÷à-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 57
- 58
- 59
- 60
- 61
- …
- следующая ›
- последняя »
