Составители:
Рубрика:
61
ýíåðãèé â ñîòíè ýëåêòðîíâîëüò. Íà÷èíàåòñÿ ðàñïûëåíèå è ôîðìèðîâà-
íèå ïëåíêè íà ïîäëîæêàõ.
Èîííî-ïëàçìåííîå ðàñïûëåíèå ïî ñðàâíåíèþ ñ êàòîäíûì ðàñïûëå-
íèåì îñóùåñòâëÿåòñÿ ïðè áîëåå âûñîêîì âàêóóìå, ïîýòîìó äëèíà ñâî-
áîäíîãî ïðîáåãà è ýíåðãèÿ ðàñïûëåííûõ àòîìîâ áîëüøå. Áëàãîäàðÿ ýòî-
ìó çàãðÿçíåíèÿ ïëåíîê ìîëåêóëàìè îñòàòî÷íûõ è èíåðòíûõ ãàçîâ ìåíü-
øå, ñêîðîñòü îñàæäåíèÿ ïëåíîê áîëüøå è äîñòèãàåò íåñêîëüêèõ ñîòåí è
äàæå òûñÿ÷ àíãñòðåì â ìèíóòó. Ïëîòíîñòü ïëåíîê áîëüøå, àäãåçèÿ ïëå-
íîê ê ïîâåðõíîñòè ïîäëîæåê ëó÷øå. Ïðîöåññ îñàæäåíèÿ ëåã÷å óïðàâëÿ-
åì, òîëùèíà ïëåíêè ðåãóëèðóåòñÿ ïîòåíöèàëîì ìèøåíè è âðåìåíåì.
Ìîæíî ïðîâîäèòü áîëüøîå êîëè÷åñòâî ïðîöåññîâ îñàæäåíèÿ ïëåíîê áåç
ñìåíû ìèøåíè, ÷òî îáåñïå÷èâàåò âîñïðîèçâîäèìîñòü ñâîéñòâ îñàæäàå-
ìûõ ïëåíîê. Íàïðèìåð, âðåìÿ ðàáîòû õðîìîâîé ìèøåíè íå ìåíåå 400 ÷.
Ïðîöåññ îñàæäåíèÿ ïëåíîê ñ çàäàííûìè ñâîéñòâàìè îòâå÷àåò òðåáî-
âàíèÿì àâòîìàòèçàöèè è ìîæåò áûòü ïðèìåíåí â íåïðåðûâíîì öèêëå
ñîçäàíèÿ ìèêðîñõåì.
Íåäîñòàòêàìè èîííî-ïëàçìåííîãî ðàñïûëåíèÿ ÿâëÿþòñÿ: îãðàíè÷åí-
íûå âîçìîæíîñòè ðåàêòèâíîãî ðàñïûëåíèÿ èç-çà ìàëîãî ñðîêà ñëóæáû
òåðìîêàòîäà â ïðèñóòñòâèè àêòèâíûõ ãàçîâ, êàòîä ÿâëÿåòñÿ äîïîëíè-
òåëüíûì èñòî÷íèêîì çàãðÿçíåíèé; ñðàâíèòåëüíàÿ ñëîæíîñòü óñòðîéñòâà
è ýêñïëóàòàöèè îáîðóäîâàíèÿ.
Èîííî-ïëàçìåííîå ðàñïûëåíèå øèðîêî ïðèìåíÿåòñÿ äëÿ èçãîòîâëå-
íèÿ ïëåíî÷íûõ ïàññèâíûõ ýëåìåíòîâ, ïîëó÷åíèÿ ìàñêèðóþùèõ ïëåíîê
íà ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèíàõ, îñàæäåíèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñëîåâ
è ìàãíèòíûõ ïëåíîê.
5.3. Òåðìè÷åñêîå îêñèäèðîâàíèå
Ïðîöåññ îêñèäèðîâàíèÿ, èíòåíñèôèöèðóåìûé íàãðåâîì äî âûñîêèõ
òåìïåðàòóð, ïðèíÿòî íàçûâàòü òåðìè÷åñêèì îêñèäèðîâàíèåì. Ìåòîä
òåðìè÷åñêîãî îêñèäèðîâàíèÿ ÿâëÿåòñÿ îñíîâíûì â ïëàíàðíîé òåõíîëî-
ãèè äëÿ ïîëó÷åíèÿ ìàñêèðóþùèõ ïëåíîê íà êðåìíèè è ïëåíîê ïîäçàò-
âîðíîãî îêñèäà äëÿ ÌÎÏ-ñòðóêòóð.
Êðåìíèé î÷åíü áëèçîê ê êèñëîðîäó. Íà òùàòåëüíî î÷èùåííîé ïîâåð-
õíîñòè êðåìíèÿ óæå ïðè êîìíàòíîé òåìïåðàòóðå îáðàçóåòñÿ ïëåíêà äè-
îêñèäà êðåìíèÿ òîëùèíîé 1015 °A, ïîýòîìó òåðìè÷åñêîå îêñèäèðîâà-
íèå â ëþáîì ñëó÷àå âåäåòñÿ ïðè íàëè÷èè íà ïîâåðõíîñòè òîíêîé îêñèä-
íîé ïëåíêè.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 59
- 60
- 61
- 62
- 63
- …
- следующая ›
- последняя »
