Составители:
Рубрика:
63
ãäå õ ìàññà èëè òîëùèíà îêñèäíîé ïëåíêè; t âðåìÿ îêñèäèðîâàíèÿ; k
ïîñòîÿííàÿ ñêîðîñòè ðîñòà, çàâèñÿùàÿ îò òèïà îêèñëèòåëÿ, äàâëåíèÿ åãî
ïàðîâ è íàëè÷èÿ ïðèìåñåé â êðåìíèåâîé ïëàñòèíå è â ðàñòóùåé ïëåíêå.
Òåõíèêà ïðîöåññà. Äëÿ òåðìè÷åñêîãî îêñèäèðîâàíèÿ ïðèìåíÿþò òî
æå îáîðóäîâàíèå, ÷òî è äëÿ äèôôóçèîííîãî ëåãèðîâàíèÿ, íàïðèìåð äèô-
ôóçèîííûå ýëåêòðîïå÷è òèïà ÑÄÎ125/3, òðåõ- èëè øåñòèêàìåðíûå àâòî-
ìàòèçèðîâàííûå ñèñòåìû òèïà ÀÄÑ-6-100. Êàìåðà óñòàíîâêè (ðèñ. 23) èç
äâàæäû ïåðåïëàâëåííîãî â âàêóóìå êâàðöà ïðîõîäèò ÷åðåç ìóôåëü ïå÷è
ñ ðåçèñòèâíûìè íàãðåâàòåëÿìè. Òåìïåðàòóðà â ðàáî÷åé çîíå ïîääåð-
æèâàåòñÿ ñ òî÷íîñòüþ 0,5
î
Ñ â äèàïàçîíå 7001250
î
Ñ. Ïðîöåññ ïðîâî-
äÿò ñïîñîáîì îòêðûòîé òðóáû, ò. å. ÷åðåç êâàðöåâóþ òðóáó-êàìåðó íå-
ïðåðûâíî ïðîõîäèò ñóõîé èëè âëàæíûé êèñëîðîä. Äëÿ îáåñïå÷åíèÿ ïî-
äà÷è â êàìåðó ñòðîãî îïðåäåëåííîãî êîëè÷åñòâà ïàðîâ âîäû èñïàðåíèå
âåäóò â ñòàöèîíàðíîì ðåæèìå. Äëÿ ýòîãî îïðåäåëåííîå êîëè÷åñòâî âîäû
(äîçó) çàëèâàþò â ãåðìåòè÷íûé ñîñóä-äîçàòîð. Ïîñòóïàþùèé â äîçà-
òîð êèñëîðîä ïðîõîäèò ñêâîçü âîäó, çàõâàòûâàÿ ïàðû âîäû. Òàêîé äîçà-
òîð áàðáîòàæíîãî òèïà íàãðåâàþò äî òåìïåðàòóðû 6095
î
Ñ.
Ïîäãîòîâëåííûå ê ïðîöåññó ïëàñòèíû êðåìíèÿ ïîìåùàþò âåðòèêàëü-
íî â ïàçû êâàðöåâîé êàññåòû-ëîäî÷êè. Ëîäî÷êó ñ ïëàñòèíàìè óñòàíàâ-
ëèâàþò íà ïëîùàäêó çàãðóçî÷íîãî óñòðîéñòâà óñòàíîâêè. Çàïóñêîì ïðî-
N
O
H
O
Si
1
2
3
4
5
6
Ðèñ. 23. Ñõåìà ïðîöåññà òåðìè÷åñêîãî îêñèäèðîâàíèÿ êðåìíèÿ: 1 âåíòèëè;
2 ðîòàìåòðû; 3 êâàðöåâàÿ òðóáà-ðåàêòîð; 4 íàãðåâàòåëüíàÿ ïå÷ü;
5 âîäîîõëàæäàåìàÿ çàãëóøêà; 6 íàãðåâàòåëü âîäû
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 61
- 62
- 63
- 64
- 65
- …
- следующая ›
- последняя »
