Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 64 стр.

UptoLike

Составители: 

64
ãðàììàòîðà àâòîìàòè÷åñêè âûïîëíÿþòñÿ òåõíîëîãè÷åñêèå ïåðåõîäû îê-
ñèäèðîâàíèÿ: ïðîäóâêà êàìåðû àçîòîì, íàãðåâ ðàáî÷åé çîíû äî ïðåäâà-
ðèòåëüíîé òåìïåðàòóðû, êîòîðàÿ íà 100150
î
Ñ íèæå çàäàííîé ïî òåõíî-
ëîãèè ðàáî÷åé òåìïåðàòóðû; çàãðóçêà ëîäî÷êè ñ ïëàñòèíàìè â ðàáî÷óþ
çîíó óñòàíîâêè êâàðöåâûì òîëêàòåëåì ñî ñêîðîñòüþ 1060 ñì/ìèí, íà-
ãðåâ ïå÷è ñ çàäàííîé ñêîðîñòüþ äî ðàáî÷åé òåìïåðàòóðû, ïîäà÷à ïàðî-
ãàçîâîé ñìåñè, âûäåðæêà ïëàñòèí â òå÷åíèå çàäàííîãî âðåìåíè, îõëàæ-
äåíèå ïå÷è, âûãðóçêà ïëàñòèí êâàðöåâûì òîëêàòåëåì.
 ïðîöåññå òåðìè÷åñêîãî îêñèäèðîâàíèÿ ñ ïîìîùüþ êâàðöåâîãî òîë-
êàòåëÿ îñóùåñòâëÿþòñÿ âîçâðàòíî-ïîñòóïàòåëüíûå ïåðåìåùåíèÿ ëîäî÷-
êè ñ ïëàñòèíàìè ñ àìïëèòóäîé îêîëî 20 ìì, ÷òîáû ïðåäîòâðàòèòü åå
ïðèâàðêó ê ïîâåðõíîñòè òðóáû. Ïðåäâàðèòåëüíûé íàãðåâ ïå÷è è ìåä-
ëåííàÿ çàãðóçêà è âûãðóçêà ïëàñòèí îáåñïå÷èâàþò áîëåå ìÿãêèé ðåæèì
îêñèäèðîâàíèÿ è óìåíüøàþò ãðàäèåíò òåìïåðàòóðû ïî ðàäèóñó ïëàñ-
òèí, à ñëåäîâàòåëüíî è òåðìè÷åñêèå íàïðÿæåíèÿ, ïðèâîäÿùèå ê èçãèáó
ïëàñòèí. Ñêîðîñòü íàãðåâà ïå÷è âìåñòå ñ ïëàñòèíàìè äî ðàáî÷åé òåì-
ïåðàòóðû 10 30
î
Ñ/ìèí, ñêîðîñòü îõëàæäåíèÿ îêîëî 8
î
Ñ/ìèí.
5.4. Õèìè÷åñêîå îñàæäåíèå ïëåíîê èç ðàñòâîðîâ
Ìåòîä îòëè÷àåòñÿ åùå áîëüøåé ïðîñòîòîé îáîðóäîâàíèÿ è ïðîâåäå-
íèÿ ïðîöåññà. Äîñòàòî÷íî èìåòü âàííó ñ ïîäîãðåâîì (ðèñ. 24) è âåíòèëëÿ-
öèîííî-âûòÿæíóþ ñèñòåìó. Îòñóòñòâóåò íåîáõîäèìîñòü èìåòü àíîä è
êàòîä, óïðîùàåòñÿ çàêðåïëåíèå
îáðàçöîâ. Óìåíüøàåòñÿ íåïðî-
èçâîäèòåëüíûå ðàñõîäû ìåòàë-
ëîâ, ÷òî î÷åíü âàæíî, åñëè îíè
áëàãîðîäíûå. Ïëåíêè ìîæíî íà-
íîñèòü ëîêàëüíî è íà ïðîôèëü-
íûå ïîâåðõíîñòè. Ïðîöåññû õè-
ìè÷åñêîãî îñàæäåíèÿ îáåñïå÷è-
âàþò âûñîêóþ ðàâíîìåðíîñòü
òîëùèí ïëåíîê.
Ìåòîä îñíîâàí íà âûòåñíå-
íèè ìåòàëëîâ èç ðàñòâîðîâ èõ
ñîëåé èëè íà âîññòàíîâëåíèè
èîíîâ ìåòàëëîâ â ðàñòâîðàõ. Â
ïðîìûøëåííîì ïðîèçâîäñòâå
1
2
3
4
Ðèñ. 24. Âàííà õèìè÷åñêîãî îñàæäåíèÿ
ïëåíîê èç ðàñòâîðîâ: 1  âàííà;
2  ðàñòâîð; 3ýëåêòðîíàãðåâàòåëü;
4 ïîêðûâàåìûå ïëåíêîé îáðàçöû