Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 65 стр.

UptoLike

Составители: 

65
ìåòîä íàèáîëåå ÷àñòî ïðèìåíÿþò äëÿ ïîëó÷åíèÿ ïëåíîê çîëîòà è íèêå-
ëÿ. Ðàññìîòðèì ïðèìåð õèìè÷åñêèõ ðåàêöèé ïðè ïîëó÷åíèè ïëåíîê íè-
êåëÿ íà ïëàñòèíå ïîëóïðîâîäíèêà.
Õèìè÷åñêîå íèêåëåðîâàíèå ñîñòîèò â êàòàëèòè÷åñêîì âîññòàíîâ-
ëåíèè íèêåëÿ èç ðàñòâîðà åãî ñîëè. Ïðîöåññ âåäåòñÿ â ùåëî÷íîé ñðåäå
(ðÍ = 78). Âçàèìîäåéñòâèå èäåò ïîýòàïíî
Ni
2+
+ M Ni
+
+ M
+
;
2Ni
+
Ni + Ni
2+
;
OH
+ M+ → ΟΗ +Μ;
H
2
PO
2
+ 2OH H
2
PO
3
+ H
2
O.
Ñóììàðíàÿ ðåàêöèÿ èìååò âèä
Ni
2+
+ H
2
PO
2
+ 2OH
Ni + H
2
PO
3
+ H
2
O.
Íà÷àëüíàÿ ñòàäèÿ ïðîöåññà çàêëþ÷àåòñÿ â ïåðåõîäå ýëåêòðîíîâ îò
ìåòàëëà-êàòàëèçàòîðà (Ì) ê èîíàì íèêåëÿ è ïðåâðàùåíèè èõ â îäíîâà-
ëåíòíûå èîíû. Äàëåå ðåàêöèÿ äèñïðîïîðöèîíèðîâàíèÿ ïðèâîäèò ê îáðà-
çîâàíèþ ìåòàëëè÷åñêîãî íèêåëÿ. Âîçâðàùåíèå ýëåêòðîíîâ ê êàòàëèçà-
òîðó îñóùåñòâëÿåòñÿ ïîñðåäñòâîì èîíîâ ãèäðîêñèëà, ïðåâðàùàþùåãî-
ñÿ ïðè ýòîì â ðàäèêàë, âîññòàíàâëèâàþùèéñÿ çàòåì ãèïîôîñôèòîì.