Составители:
Рубрика:
66
6. ÌÅÒÎÄÛ ÏÎËÓ×ÅÍÈß ÏÎËÓÏÐÎÂÎÄÍÈÊÎÂÛÕ
ÑËÎÅÂ È ÏÅÐÅÕÎÄÎÂ
6.1. Îáùèå ñâåäåíèÿ
Ïîëóïðîâîäíèêîâûå ñòðóêòóðû ÈÌ íåëüçÿ èçãîòîâèòü, íå ïðèìåíèâ
õîòÿ áû îäèí-äâà èç òðåõ ïðîöåññîâ: ýïèòàêñèàëüíîå íàðàùèâàíèå ïîëó-
ïðîâîäíèêîâûõ ñëîåâ, äèôôóçèîííîå è èîííîå ëåãèðîâàíèå.
Ýïèòàêñèÿ ïðîöåññ íàðàùèâàíèÿ ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèõ ñëîåâ íà
ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèõ ïîäëîæêàõ. Ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèå ïîäëîæêè â
ïðîöåññå ðîñòà ýïèòàêñèàëüíîãî ñëîÿ âûïîëíÿþò îðèåíòèðóþùóþ ðîëü
çàòðàâêè, íà êîòîðîé ïðîèñõîäèò êðèñòàëëèçàöèÿ.
Ïðîöåññû ýïèòàêñèàëüíîãî ðîñòà àíàëîãè÷íû ïîëó÷åíèþ òîíêèõ ïëå-
íîê. Ýïèòàêñèàëüíûå ñëîè ìîæíî íàðàùèâàòü â âàêóóìå, èç ïàðîãàçî-
âîé è æèäêîé ôàçû. Áîëüøèíñòâî ïðîöåññîâ ýïèòàêñèè îñàæäåíèå èç
ïàðîãàçîâîé ôàçû. Âàêóóìíàÿ ýïèòàêñèÿ, íàçûâàåìàÿ ñåé÷àñ ìîëåêó-
ëÿðíî-ëó÷åâîé, îòëè÷àåòñÿ îò ðàññìîòðåííîãî ìåòîäà ÒÂÍ òåì, ÷òî
ïðîöåññ íàïûëåíèÿ âåäåòñÿ â óñëîâèÿõ ñâåðõâûñîêîãî âàêóóìà. Ýïè-
òàêñèÿ îòëè÷àåòñÿ îò âûðàùèâàíèÿ ìîíîêðèñòàëëîâ ïðåæäå âñåãî òåì,
÷òî ðîñò êðèñòàëëà ïðîèñõîäèò ïðè òåìïåðàòóðå íèæå òåìïåðàòóðû
ïëàâëåíèÿ. Æèäêîôàçíàÿ ýïèòàêñèÿ, îñíîâàííàÿ íà êðèñòàëëèçàöèè âå-
ùåñòâà, ðàñòâîðåííîãî â ðàñïëàâëåííîì ìåòàëëå, íà ïîâåðõíîñòè ïîä-
ëîæêè, ïðèìåíÿåòñÿ, ãëàâíûì îáðàçîì, äëÿ ïîëó÷åíèÿ ñëîåâ äâîéíûõ è
òðîéíûõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñîåäèíåíèé.
Æèäêîôàçíàÿ ýïèòàêñèÿ ïëîõî ñîâìåùàåòñÿ ñ ñóõèìè ïðîöåññàìè
èíòåãðàëüíîé òåõíîëîãèè.
 çàâèñèìîñòè îò ñîñòàâà ìàòåðèàëîâ ñëîÿ è ïîäëîæêè ðàçëè÷àþò
ïðîöåññû àâòîýïèòàêñèè è ãåòåðîýïèòàêñèè. Åñëè ñîñòàâû ìàòåðèàëîâ
ïðàêòè÷åñêè îäèíàêîâû, íàïðèìåð ñëîé êðåìíèÿ íà êðåìíèåâîé ïëàñòè-
íå, ïðîöåññ íàçûâàþò àâòîýïèòàêñèåé. Àâòîýïèòàêñèåé ìîæíî ïîëó÷èòü
îäíîðîäíûå ïî ñîñòàâó (ãîìîãåííûå) ýëåêòðîííî-äûðî÷íûå ïåðåõîäû,
ïîýòîìó ïðîöåññ âûðàùèâàíèÿ ñëîåâ èíîãäà íàçûâàþò ãîìîýïèòàêñèåé.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 64
- 65
- 66
- 67
- 68
- …
- следующая ›
- последняя »
