Составители:
Рубрика:
68
íåíèþ ñ èñõîäíûì ïîëóïðîâîäíèêîì òèïà ïðîâîäèìîñòè ëèáî ñ áîëåå
íèçêèì ýëåêòðîñîïðîòèâëåíèåì.  ïåðâîì ñëó÷àå ïîëó÷àþò, íàïðèìåð,
ýìèòòåðíûå, áàçîâûå îáëàñòè áèïîëÿðíûõ ÈÌ, îáëàñòè èñòîêîâ è ñòî-
êîâ ÌÎÏ-ÈÌ, à òàêæå îáëàñòè, èçîëèðóþùèå ýëåìåíòû ÈÌ äðóã îò
äðóãà è îò îáùåé ïëàñòèíû. Âî âòîðîì ñëó÷àå ðåçèñòîðû, ñêðûòûå
n+, ð+-îáëàñòè, óìåíüøàþùèå ñîïðîòèâëåíèå òåëà êîëëåêòîðà, èëè ïðè-
êîíòàêòíûå îáëàñòè, óìåíüøàþùèå èíæåêöèþ íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé ñ
îìè÷åñêèõ êîíòàêòîâ è óëó÷øàþùèå èõ êà÷åñòâî. Äèôôóçèÿ ïðèìåíÿ-
åòñÿ òàêæå äëÿ ëåãèðîâàíèÿ ïîëèêðåìíèåâûõ ñëîåâ. Ïðè èçãîòîâëåíèè
áûñòðîäåéñòâóþùèõ ñòðóêòóð ñ õîðîøèìè èìïóëüñíûìè ñâîéñòâàìè
äèôôóçèþ ïðèìåíÿþò äëÿ ââåäåíèÿ ïðèìåñåé, îáðàçóþùèõ â çàïðåùåí-
íîé çîíå ïîëóïðîâîäíèêà ãëóáîêèå óðîâíè è óìåíüøàþùèõ âðåìÿ æèçíè
íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé òîêà. Òàêèìè ïðèìåñÿìè äëÿ êðåìíèÿ ÿâëÿþòñÿ
çîëîòî è íèêåëü.
Ïðè äèôôóçèè âûïðÿìëÿþùèå èëè êîíöåíòðàöèîííûå ïåðåõîäû ïî-
ëó÷àþò â èñõîäíîé ïëàñòèíå, èçìåíÿÿ åå ñâîéñòâà ëåãèðîâàíèåì íà íå-
îáõîäèìóþ ãëóáèíó.  îòëè÷èå îò ýïèòàêñèè äèôôóçèîííîå ëåãèðîâàíèå
èäåò â ïðèñóòñòâèè ïðèìåñåé ïîäëîæêè. Èìåííî ïîýòîìó ïîëó÷åíèå
îáëàñòè ïðîòèâîïîëîæíîãî òèïà ïðîâîäèìîñòè âîçìîæíî òîëüêî ïðè
ïåðåêîìïåíñàöèè èñõîäíîé ïðèìåñè.
Äèôôóçèîííûå ñëîè èìåþò òîëùèíû îò ñîòûõ äîëåé ìèêðîìåòðîâ
äî íåñêîëüêèõ ìèêðîìåòðîâ, â îòëè÷èå îò ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ òîë-
ùèíîé 0,1 100 ìêì.
Îòëè÷èòåëüíîé îñîáåííîñòüþ äèôôóçèîííî-ëåãèðîâàííûõ ñëîåâ ÿâ-
ëÿåòñÿ íåðàâíîìåðíîå ðàñïðåäåëåíèå êîíöåíòðàöèè ïðèìåñè ïî ãëóáè-
íå. Êîíöåíòðàöèÿ ìàêñèìàëüíà íà ïîâåðõíîñòè è óáûâàåò â ãëóáü ñëîÿ.
Êîíöåíòðàöèÿ è ðàñïðåäåëåíèå ïðèìåñè â çíà÷èòåëüíîé ñòåïåíè îïðå-
äåëÿþòñÿ ñâîéñòâàìè ïðèìåñè, ëåãèðóåìîãî ìàòåðèàëà è èñòî÷íèêà
ïðèìåñè.
Èîííîå ëåãèðîâàíèå âïåðâûå áûëî ïðèìåíåíî äëÿ èçãîòîâëåíèÿ
ð-n-ïåðåõîäîâ Øîêëè â 1954 ãîäó.
Èîííîå ëåãèðîâàíèå îñóùåñòâëÿåòñÿ èîíèçèðîâàííûìè àòîìàìè
ïðèìåñè, èìåþùèìè ýíåðãèþ, äîñòàòî÷íóþ äëÿ âíåäðåíèÿ â ïîëó-
ïðîâîäíèê. Èîíû áîðà, ôîñôîðà èëè ìûøüÿêà ñ ýíåðãèÿìè â äèàïà-
çîíå 3500 êýÂ âíåäðÿþòñÿ â ïðèïîâåðõíîñòíóþ îáëàñòú êðåìíèÿ íà
ãëóáèíó 0,021 ìêì. Äëÿ ïîëó÷åíèÿ èîííîëåãèðîâàííûõ ñëîåâ íåäî-
ñòàòî÷íî âíåäðåíèå èîíîâ ïðèìåñè íåîáõîäèì îòæèã äëÿ óñòðàíåíèÿ
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 66
- 67
- 68
- 69
- 70
- …
- следующая ›
- последняя »
