Составители:
Рубрика:
70
ïðèìåíÿåìûõ äëÿ çàòâîðîâ è ìåòàëëèçàöèè. Îòìåòèì òàêæå, ÷òî èîí-
íîå ëåãèðîâàíèå ÷èñòûé, ñóõîé ïðîöåññ.
6.2. Ýïèòàêñèÿ êðåìíèåâûõ ñëîåâ
Ýïèòàêñèÿ èç ïàðîãàçîâîé ôàçû. Îáùèå âîïðîñû, êàñàþùèåñÿ
îñíîâ ïðîöåññîâ îñàæäåíèÿ èç ïàðîãàçîâîé ôàçû, áûëè ðàññìîòðåíû â
ãë. 5. Äëÿ îñàæäåíèÿ ñëîåâ êðåìíèÿ èç ïàðîãàçîâîé ôàçû â ïðîìûøëåí-
íîì ïðîèçâîäñòâå èñïîëüçóþò êðåìíèéñîäåðæàùèå ñîåäèíåíèÿ: òåòðàõ-
ëîðèä êðåìíèÿ, ñèëàí. Â ñîîòâåòñòâèè ñ ïðèìåíÿåìûìè èñõîäíûìè ïðî-
äóêòàìè íàçûâàþò è ìåòîäû: õëîðèäíûé è ñèëàíîâûé.
Õëîðèäíûé ìåòîä îñíîâàí íà èñïîëüçîâàíèè õèìè÷åñêîãî âçàèìî-
äåéñòâèÿ ïàðîâ òåòðàõëîðèäà êðåìíèÿ ñ ÷èñòûì âîäîðîäîì. Ýòî âçàè-
ìîäåéñòâèå ñîïðîâîæäàåòñÿ ðÿäîì îáðàòèìûõ õèìè÷åñêèõ ðåàêöèé, ñëå-
äóþùèõ îäíà çà äðóãîé. Ñóììàðíóþ ðåàêöèþ õëîðèäíîãî ïðîöåññà ìîæ-
íî ðàññìàòðèâàòü êàê îáðàòèìóþ ðåàêöèþ âîññòàíîâëåíèÿ òåòðàõëî-
ðèäà êðåìíèÿ âîäîðîäîì:
42
1200 C
SiCl +2H Si +4HCl.
°
←
→↓
 çàâèñèìîñòè îò óñëîâèé â ðàáî÷åé êàìåðå óñòàíîâêè ðåàêöèÿ ìî-
æåò èäòè íå òîëüêî ñëåâà íàïðàâî, íî è ñïðàâà íàëåâî, ò. å. ïðè îïðåäå-
ëåííûõ óñëîâèÿõ ñêîðîñòü ðîñòà ýïèòàêñèàëüíîãî ñëîÿ ìîæåò ñòàòü
ðàâíîé íóëþ, è êðåìíèé íà÷íåò òðàâèòüñÿ. Ýòî íàáëþäàåòñÿ ïðè íèçêèõ
è âûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ.
Ïðîöåññ íàðàùèâàíèÿ ñëîåâ êðåìíèÿ âûïîëíÿþò ñïîñîáîì ïðîòî÷-
íîé òðóáû ïðè àòìîñôåðíîì äàâëåíèè (ðèñ. 25). Â äàííîé ñõåìå èñ-
ïîëüçóåòñÿ êàìåðà-ðåàêòîð âåðòèêàëüíîãî òèïà. Ïîäëîæêîäåðæàòåëü
îäíîâðåìåííî âûïîëíÿåò ðîëü íàãðåâàòåëÿ. Íàãðåâ ïîäëîæêîäåðæàòå-
ëÿ îñóùåñòâëÿåòñÿ ðåçèñòèâíûì, èíäóêöèîííûì èëè ÈÊ-ñïîñîáîì.
Ïîäëîæêîäåðæàòåëü ïðè âûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ íå äîëæåí âûäåëÿòü
çàãðÿçíåíèÿ è âñòóïàòü â õèìè÷åñêîå âçàèìîäåéñòâèå ñ ïëàñòèíàìè,
ïîýòîìó åãî èçãîòàâëèâàþò èç âûñîêîêà÷åñòâåííûõ ñîðòîâ ñòåêëîãðà-
ôèòà èëè ãðàôèòà è ïîêðûâàþò ñëîåì êàðáèäà êðåìíèÿ èëè êðåìíèÿ. Â
ñëó÷àå èíäóêöèîííîãî íàãðåâà ìîæíî ïðèìåíÿòü ïîäëîæêîäåðæàòåëè
èç âûñîêîîìíîãî êðåìíèÿ, ïîêðûòîãî ñëîåì äèîêñèäà êðåìíèÿ. ×òîáû
ñëîè êðåìíèÿ îñàæäàëèñü òîëüêî íà ïëàñòèíàõ è çàãðÿçíåíèÿ íå ïîïàäà-
ëè íà ïëàñòèíû ñ âíóòðåííèõ ñòåíîê êàìåðû óñòàíîâêè, ïîñëåäíèå îõ-
ëàæäàþò.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 68
- 69
- 70
- 71
- 72
- …
- следующая ›
- последняя »
