Составители:
Рубрика:
71
Ïàðîãàçîâàÿ ñìåñü ïîñòóïàåò â çîíó ðåàêöèè ÷åðåç ìíîæåñòâî îò-
âåðñòèé â êâàðöåâûõ òðóáêàõ, ðàñïîëîæåííûõ âäîëü îáðàçóþùèõ öè-
ëèíäðè÷åñêîãî ïîäëîæêîäåðæàòåëÿ. Òåòðàõëîðèä êðåìíèÿ ïðåäñòàâëÿ-
åò ñîáîé æèäêîñòü, êèïÿùóþ ïðè òåìïåðàòóðå 57
î
Ñ è èìåþùóþ âûñî-
êîå äàâëåíèå ïàðîâ, ñèëüíî çàâèñÿùåå îò òåìïåðàòóðû. Äëÿ îáåñïå÷å-
íèÿ ïîäà÷è â ðåàêöèîííóþ êàìåðó òî÷íîãî êîëè÷åñòâà òåòðàõëîðèäà
êðåìíèÿ åãî èñïàðåíèå âåäóò â äîçàòîðå ïðè ñòðîãî óñòàíîâèâøåìñÿ
ðåæèìå. ×èñòîòà èñõîäíîãî òåòðàõëîðèäà êðåìíèÿ îïðåäåëÿåò ìàêñè-
ìàëüíîå óäåëüíîå ñîïðîòèâëåíèå ñëîåâ. Ñîâðåìåííûé óðîâåíü î÷èñòêè
ïîçâîëÿåò ïîëó÷àòü òåòðàõëîðèä êðåìíèÿ, îáåñïå÷èâàþùèé óäåëüíîå
ñîïðîòèâëåíèå äî ñîòåí Îì ⋅ ñì.
Ó÷àñòâóþùèé â ðåàêöèè âîññòàíîâëåíèÿ âîäîðîä ÿâëÿåòñÿ îäíîâðå-
ìåííî è ãàçîì-íîñèòåëåì. Ðåãóëèðîâêó ñòåïåíè íàñûùåíèÿ âîäîðîäà
ïàðàìè òåòðàõëîðèäà êðåìíèÿ ìîæíî îñóùåñòâëÿòü èçìåíåíèåì ñêîðî-
ñòè ïîòîêà âîäîðîäà è òåìïåðàòóðû æèäêîãî òåòðàõëîðèäà êðåìíèÿ.
4
5
6
N
2
H
2
HCl
CO
2
H
2
Ëåãèð
ó
þùåå ñîåäèíåíèå
 ñêð
ó
ááåð
1
2
3
Ðèñ. 25. Ñõåìà óñòàíîâêè ýïèòàêñèàëüíîãî íàðàùèâàíèÿ: 1 ðåàêöèîííàÿ
êàìåðà; 2- ïîäëîæêîäåðæàòåëü; 3 ïîäëîæêè; 4 èãîëü÷àòûå âåíòèëè;
5 ðîòàìåòðû; 6 çàïîðíûå âåíòèëè
4
6
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 69
- 70
- 71
- 72
- 73
- …
- следующая ›
- последняя »
