Составители:
Рубрика:
73
42
1000 1050 C
SiH Si 2H .
°
−
→↓+↑
Óñòàíîâêà äëÿ âûðàùèâàíèÿ ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ ñèëàíîâûì ìå-
òîäîì áëèçêà ïî óñòðîéñòâó ê óñòàíîâêàì, èñïîëüçóåìûì â õëîðèäíîì
ìåòîäå, è äëÿ ïðåäîñòîðîæíîñòè ïðè ðàáîòå ñ ìîíîñèëàíîì îíà ñíàá-
æàåòñÿ ñèñòåìîé äëÿ îòêà÷êè âîçäóõà è ñëåäîâ âëàãè. Ñîâåðøåííûå
ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèå ñëîè ïîëó÷àþòñÿ ïðè òåìïåðàòóðàõ ðàçëîæåíèÿ
ìîíîñèëàíà 10001050
î
Ñ, ÷òî íà 200150
î
Ñ íèæå, ÷åì ïðè âîññòàíîâ-
ëåíèè òåòðàõëîðèäà êðåìíèÿ. Ýòî óìåíüøàåò íåæåëàòåëüíûå äèôôó-
çèþ è àâòîëåãèðîâàíèå, ÷òî ïîçâîëÿåò èçãîòàâëèâàòü ýïèòàêñèàëüíûå
ñòðóêòóðû ñ áîëåå ðåçêèìè ãðàíèöàìè ïåðåõîäîâ. Íåîáðàòèìîñòü ðå-
àêöèè ðàçëîæåíèÿ ìîíîñèëàíà òàêæå ñïîñîáñòâóåò ïîëó÷åíèþ áîëåå
ðåçêîãî ðàñïðåäåëåíèÿ êîíöåíòðàöèè ëåãèðóþùåé ïðèìåñè íà ãðàíèöå
ïëàñòèíà-ñëîé. Îòñóòñòâèå ñðåäè ïðîäóêòîâ ðàçëîæåíèÿ õëîðèñòîãî
âîäîðîäà èëè äðóãèõ âðåäíûõ ïðîäóêòîâ, â ÷àñòíîñòè õëîðà, îòíîñèòñÿ
òàêæå ê äîñòîèíñòâó ñèëàíîâîãî ìåòîäà. Ñêîðîñòü ðîñòà ñëîåâ âûøå,
÷åì ïðè âîññòàíîâëåíèè òåòðàõëîðèäà êðåìíèÿ.
Ëåãèðîâàíèå ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ îñóùåñòâëÿåòñÿ îäíîâðåìåí-
íî ñ èõ ðîñòîì ïóòåì ââåäåíèÿ â ïàðîãàçîâóþ ñìåñü ñîåäèíåíèé, ñîäåð-
æàùèõ ëåãèðóþùèå ýëåìåíòû, íàçûâàåìûå èñòî÷íèêàìè ëåãèðóþùèõ
ïðèìåñåé.
Ãàçîîáðàçíûå èñòî÷íèêè ãèäðèäû, äèáîðàí Â
2
Í
6
, àðñèí ÀsÍ
3
,
ôîñôèí ÐÍ
3
îòëè÷àþòñÿ âûñîêîé òîêñè÷íîñòüþ è ïîýòîìó ïîñòàâëÿ-
þòñÿ íà ïðîèçâîäñòâî â áàëëîíàõ â ñìåñè ñ âîäîðîäîì èëè èíåðòíûìè
ãàçàìè â êîíöåíòðàöèÿõ (220) ⋅ 10
3
%.
Ïðè èñïîëüçîâàíèè äèáîðàíà òðóäíî ïîëó÷àòü åãî ñìåñü ñ ñîäåðæà-
íèåì ìåíåå 10%, ñìåñè íåñòàáèëüíû ïðè õðàíåíèè, ñëîæíî óñòàíîâèòü
è òî÷íî èçìåðèòü ìàëûå ðàñõîäû ñìåñè, ïîýòîìó òðóäíî ïîëó÷àòü êðåì-
íèåâûå ñëîè, ñëàáîëåãèðîâàííûå áîðîì ñ óäåëüíûì ñîïðîòèâëåíèåì,
áîëüøèì 1 Îì ⋅ ñì. Â ñâÿçè ñ ýòèì ïðèìåíÿþò æèäêèå è òâåðäûå èñ-
òî÷íèêè. Èç ãàçîîáðàçíûõ èñòî÷íèêîâ íàèáîëåå ÷àñòî ïðèìåíÿþò àð-
ñèí. Ãàç äîñòàâëÿåòñÿ ê ïîäëîæêàì, àäñîðáèðóåòñÿ èõ ïîâåðõíîñòüþ,
äèññîöèèðóåò:
32
2AsH 2As+3H ,
→↑
îñâîáîäèâøèéñÿ ìûøüÿê âñòðàèâàåòñÿ â ðåøåòêó ðàñòóùåãî ñëîÿ êðåì-
íèÿ.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 71
- 72
- 73
- 74
- 75
- …
- следующая ›
- последняя »
