Составители:
Рубрика:
74
Ãåòåðîýïèòàêñèÿ. Ãåòåðîýïèòàêñèÿ ñóùåñòâåííî ðàñøèðÿåò ôóíê-
öèîíàëüíûå âîçìîæíîñòè ìèêðîýëåêòðîííûõ óñòðîéñòâ. Ïðè âûáîðå
ïàðû ìàòåðèàëîâ ïîäëîæêà-ñëîé íåîáõîäèìî ó÷èòûâàòü ïàðàìåòðû èõ
êðèñòàëëè÷åñêèõ ðåøåòîê, ÒÊËÐ, òåìïåðàòóðû ïëàâëåíèÿ, êîýôôèöèåí-
òû âçàèìíîé äèôôóçèè, óïðóãîñòü ïàðà ïðè òåìïåðàòóðå ïðîöåññà è äð.
Ïðè áîëüøîì íåñîîòâåòñòâèè óêàçàííûõ ïàðàìåòðîâ íà ãðàíèöå ñëîé-
ïîäëîæêà âîçíèêàþò ìåõàíè÷åñêèå íàïðÿæåíèÿ è äèñëîêàöèè. Ïåðåõîä-
íàÿ îáëàñòü ïî ñâîèì ñâîéñòâàì îòëè÷àåòñÿ îò ñâîéñòâ îáúåìîâ ïî îáå
ñòîðîíû ãðàíèöû ïîäëîæêà-ñëîé, ÷òî âëèÿåò è íà ïðîöåññ ðîñòà ñëîÿ è
íà ïàðàìåòðû ìèêðîñõåì.
 ïðîèçâîäñòâå ìèêðîñõåì ãåòåðîýïèòàêñèÿ ðàçâèâàåòñÿ â äâóõ îñ-
íîâíûõ íàïðàâëåíèÿõ: âûðàùèâàíèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ãåòåðîïåðåõî-
äîâ è íàðàùèâàíèè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ñëîåâ íà äèýëåêòðè÷åñêèõ ïîä-
ëîæêàõ.
Íàðàùèâàíèå ãåòåðîïåðåõîäîâ ïðèìåíÿþò äëÿ ñîçäàíèÿ âûïðÿ-
ìèòåëåé, ðàáîòàþùèõ íà îñíîâíûõ íîñèòåëÿõ (CdSe Se), òóííåëüíûõ
äèîäîâ (GaAs InP, CdS ZnTe, GaAs Ga
1x
In
x
As), òðàíçèñòîðîâ ñ
øèðîêîçîííûì ýìèòòåðîì (GaAs Ge), èíæåêöèîííûõ ëàçåðîâ (GaAs
Ga
1x
Al
x
As), èñòî÷íèêîâ ñïîíòàííîãî èçëó÷åíèÿ (GaAs GaP, CdSe
ZnTe, GaAs InAs) è ñîîòâåòñòâóþùèõ ìèêðîñõåì. Äëÿ ïîëó÷åíèÿ ãå-
òåðîïåðåõîäîâ ïðèìåíÿþò ýïèòàêñèþ èç ãàçîâîé è æèäêîé ôàçû.
Ãåòåðîýïèòàêñèÿ íà äèýëåêòðè÷åñêèõ ïîäëîæêàõ ïðè èçãîòîâëå-
íèè ìèêðîñõåì ðåøàåò ïðîáëåìó èçîëÿöèè ýëåìåíòîâ, îáåñïå÷èâàåò
óëó÷øåíèå ïàðàìåòðîâ, ïîâûøàåò ñòåïåíü èíòåãðàöèè è ïðîöåíò âûõî-
äà ãîäíûõ èçäåëèé. Â íàñòîÿùåå âðåìÿ íàèáîëåå îñâîåíà ïðîèçâîäñòâîì
ýïèòàêñèÿ êðåìíèÿ íà ñàïôèðîâûõ ïîäëîæêàõ (ÊÍÑ), à òàêæå âåäóòñÿ
èññëåäîâàíèÿ ïðîöåññîâ íàðàùèâàíèÿ êðåìíèåâûõ ñëîåâ íà äðóãèõ èçî-
ëÿòîðàõ (ÊÍÈ), â òîì ÷èñëå àìîðôíûõ, ÷òî ïî ñóùåñòâó íå ÿâëÿåòñÿ
ýïèòàêñèåé, òàê êàê èñêëþ÷åíî îðèåíòèðóþùåå âëèÿíèå ïîäëîæåê.
ÊÍÑ-ñòðóêòóðû ïîëó÷àþò àíàëîãè÷íî àâòî-ýïèòàêñèàëüíûì
ñëîÿì êðåìíèÿ. Èç ìåòîäîâ ãàçîâîé ýïèòàêñèè íàèáîëåå ÷àñòî ïðèìå-
íÿþò ñèëàíîâûé, òàê êàê îí ïîçâîëÿåò âûðàùèâàòü êðåìíèé ïðè áîëåå
íèçêîé òåìïåðàòóðå ïîäëîæåê, êðîìå òîãî, îòïàäàåò îïàñíîñòü òðàâëå-
íèÿ ñàïôèðà, ïîñêîëüêó ñðåäè ïðîäóêòîâ ðåàêöèè îòñóòñòâóåò õëîðèñ-
òûé âîäîðîä.
 îòëè÷èå îò êóáè÷åñêîé ñèììåòðèè êðåìíèÿ ñàïôèð èìååò ðîìáî-
ýäðè÷åñêóþ ñèììåòðèþ. Êðåìíèé ñ îðèåíòàöèåé (111) âûðàùèâàþò íà
(0001) è (1010) ïîâåðõíîñòÿõ ñàïôèðà. Êðåìíèé ñ îðèåíòàöèåé (100)
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 72
- 73
- 74
- 75
- 76
- …
- следующая ›
- последняя »
