Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 76 стр.

UptoLike

Составители: 

76
Äëÿ ëåãèðóþùèõ ïðèìåñåé â ãåðìàíèè è êðåìíèè íàèáîëåå âåðîÿòåí
âàêàíñèîííûé ìåõàíèçì, îïðåäåëÿåìûé íàëè÷èåì â êðèñòàëëå äåôåê-
òîâ ïî Øîòêè è äåôåêòîâ ïî Ôðåíêåëþ, ò. å. íàëè÷èåì âàêàíñèé èëè
ïàðíûõ äåôåêòîâ âàêàíñèÿ àòîì â ìåæäóóçëèè. Îáðàçîâàíèå òàêèõ
äåôåêòîâ ñâÿçàíî ñ òåïëîâûìè êîëåáàíèÿìè ðåøåòêè. Ñ óâåëè÷åíèåì
òåìïåðàòóðû êîëè÷åñòâî âàêàíñèé óâåëè÷èâàåòñÿ â ñîîòâåòñòâèè ñ
âûðàæåíèåì
()
â
,
EkT
nne
=
ãäå n
â
 êîëè÷åñòâî âàêàíñèé, ñì
3
; e  îñíîâàíèå íàòóðàëüíîãî ëîãà-
ðèôìà; Å ýíåðãèÿ, íåîáõîäèìàÿ äëÿ îáðàçîâàíèÿ âàêàíñèè; k ïî-
ñòîÿííàÿ Áîëüöìàíà; Ò àáñîëþòíàÿ òåìïåðàòóðà; n êîëè÷åñòâî
àòîìîâ ïîëóïðîâîäíèêà, íàõîäÿùèõñÿ â óçëàõ êðèñòàëëè÷åñêîé ðå-
øåòêè.
Äëÿ îáðàçîâàíèÿ îäíîé âàêàíñèè íåîáõîäèìà ýíåðãèÿ, ðàâíàÿ íåñêîëü-
êèì ýëåêòðîíâîëüòàì. Ïðè êîìíàòíûõ òåìïåðàòóðàõ êîëè÷åñòâî âàêàí-
ñèé ìàëî, íà 10
15
10
16
àòîìîâ ïîëóïðîâîäíèêà ïðèõîäèòñÿ îäíà âàêàí-
ñèÿ. Ñ óâåëè÷åíèåì òåìïåðàòóðû äî 10001200
î
Ñ ÷èñëî âàêàíñèé ñòà-
íîâèòñÿ ñðàâíèìî ñ ÷èñëîì àòîìîâ ïîëóïðîâîäíèêà. Ïîä äåéñòâèåì
òåïëîâûõ êîëåáàíèé àòîìû ïðèìåñè ìîãóò çàíÿòü ìåñòî ñîñåäíåé âà-
êàíñèè è òàêèì îáðàçîì ïåðåäâèíóòüñÿ. Âåðîÿòíîñòü ïåðåõîäà ïðèìå-
ñè èç óçëà â âàêàíòíûé óçåë ð çàâèñèò îò âåðîÿòíîñòè íàëè÷èÿ ñîñåäíèõ
âàêàíñèé è îò âåðîÿòíîñòè ïðåîäîëåíèÿ ïîòåíöèàëüíîãî áàðüåðà ïðè
ïåðåõîäå àòîìà íà ìåñòî âàêàíñèè
()
()
exp ,pEkT
≈−
à á â
Ðèñ. 26. Ìåõàíèçì äèôôóçèè â ïîëóïðîâîäíèêàõ: à êîëüöåâîé;
á âàêàíñèîííûé; â  ìåæäóóçåëüíûé