Составители:
Рубрика:
78
Âòîðîå óðàâíåíèå äèôôóçèè âûâîäèòñÿ èç ïåðâîãî ïðè äîïóùå-
íèè, ÷òî êîýôôèöèåíò äèôôóçèè íå çàâèñèò îò êîíöåíòðàöèè
2
2
.
dN d N
D
dt
dx
=
Âòîðîå óðàâíåíèå Ôèêà âûðàæàåò îñíîâíîé çàêîí äèôôóçèè, îíî
îïðåäåëÿåò êîíöåíòðàöèþ ââîäèìîé â ïîëóïðîâîäíèê ïðèìåñè â ëþáîé
ìîìåíò âðåìåíè íà ëþáîì ðàññòîÿíèè îò ïîâåðõíîñòè ïðè çàäàííîé
òåìïåðàòóðå äèôôóçèè. Òåìïåðàòóðà âõîäèò âî âòîðîå óðàâíåíèå íå ÿâíî,
à ÷åðåç êîýôôèöèåíò äèôôóçèè
()
()
0
exp .
DD EkT
=−∆
ãäå D
0
ïîñòîÿííàÿ, ÷èñëåííî ðàâíàÿ êîýôôèöèåíòó äèôôóçèè ïðè áåñ-
êîíå÷íî áîëüøîé òåìïåðàòóðå; ∆E ýíåðãèÿ àêòèâàöèè ïðîöåññà äèô-
ôóçèè äàííîé ïðèìåñè, ò.å. ýíåðãèÿ, íåîáõîäèìàÿ äëÿ ïåðåñêîêà àòîìà
ïðèìåñè â âàêàíòíûé óçåë ðåøåòêè.
Ïðè îáû÷íûõ êîìíàòíûõ òåìïåðàòóðàõ äèôôóçèÿ â òâåðäûõ òåëàõ
ïðàêòè÷åñêè íå íàáëþäàåòñÿ. Ïðîöåññû äèôôóçèè â ïîëóïðîâîäíèêàõ
âåäóò ïðè âûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ (800900
î
Ñ äëÿ ãåðìàíèÿ è 10001200
î
Ñ äëÿ êðåìíèÿ).
Ðàñïðåäåëåíèå ëåãèðóþùåé ïðèìåñè ïî ãëóáèíå äèôôóçèîííîãî
ñëîÿ N = f(õ) (ðèñ. 27) äëÿ êîíêðåòíûõ óñëîâèé äèôôóçèè íàõîäèòñÿ ïó-
òåì ðåøåíèÿ îñíîâíîãî óðàâíåíèÿ.
t
3
> t
2
> t
1
t
3
t
3
t
3
> t
2
> t
1
t
1
t
1
áa
N(x)
N
01
N
02
N
03
t
2
N
0
x0
N(x)
x0
t
2
Ðèñ. 27. Ðàñïðåäåëåíèå ïðèìåñè ïðè äèôôóçèè èç áåñêîíå÷íîãî ïîñòîÿííîãî (à)
è èç îãðàíè÷åííîãî (á) èñòî÷íèêîâ
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 76
- 77
- 78
- 79
- 80
- …
- следующая ›
- последняя »
