Составители:
Рубрика:
79
Äëÿ äèôôóçèè èç áåñêîíå÷íîãî ïîñòîÿííîãî èñòî÷íèêà (ðèñ. 27,à),
êîòîðûé îáåñïå÷èâàåò ïîñòîÿííîå ïîïîëíåíèå óõîäÿùåé â ãëóáü ïîëó-
ïðîâîäíèêà ïðèìåñè
0
( , ) erfc ,
2
x
Nxt N
Dt
=
ãäå N
0
êîíöåíòðàöèÿ ïðèìåñè íà ïîâåðõíîñòè ïëàñòèíû; x ãëóáèíà
äèôôóçèè; t âðåìÿ ïðîöåññà; erfc óñëîâíîå îáîçíà÷åíèå ôóíêöèè
äîïîëíåíèÿ èíòåãðàëà îøèáîê äî åäèíèöû.
Äëÿ îäíîìåðíîé äèôôóçèè èç îãðàíè÷åííîãî èñòî÷íèêà (ðèñ. 27,á),
íàïðèìåð, ñîçäàííîãî â òîíêîì ïðèïîâåðõíîñòíîì ñëîå ïëàñòèíû è çà-
ùèùåííîãî ìàñêèðóþùåé ïëåíêîé îò äèôôóçèè ïðèìåñè â îêðóæàþùåå
ïðîñòðàíñòâî, ðàñïðåäåëåíèå ïðèìåñè îïèñûâàåòñÿ óðàâíåíèåì Ãàóññà
()
()
2
(,) exp 4 ,
Q
Nxt x Dt
Dt
=−
π
ãäå Q îáùåå êîëè÷åñòâî ïðèìåñè, ââåäåííîå â ïîëóïðîâîäíèê ÷åðåç
1ñì
2
ïîâåðõíîñòè çà âðåìÿ äèôôóçèè. Îñîáåííîñòüþ ïðèâåäåííûõ
ðàñïðåäåëåíèé ïðèìåñè, ñîîòâåòñòâóþøèõ äîïîëíèòåëüíîé ôóíêöèè
îøèáîê è ôóíêöèè Ãàóññà, ÿâëÿåòñÿ ìîíîòîííîå óáûâàíèå êîíöåíòðà-
öèè ïðèìåñè îò ïîâåðõíîñòè â ãëóáü ïîëóïðîâîäíèêà. Ïîâåðõíîñòíàÿ
êîíöåíòðàöèÿ ïðè äèôôóçèè èç íåîãðàíè÷åííîãî èñòî÷íèêà ïîñòîÿííà
íåçàâèñèìî îò âðåìåíè äèôôóçèè, à ïðè äèôôóçèè èç îãðàíè÷åííîãî èñ-
òî÷íèêà óìåíüøàåòñÿ ïî ìåðå óâåëè÷åíèÿ âðåìåíè, òàê êàê ïî ìåðå
óõîäà ïðèìåñè â îáúåì ïëàñòèíû êîíöåíòðàöèÿ ïðèìåñè â èñòî÷íèêå
èñòîùàåòñÿ, à ïðèòîê èçâíå îòñóòñòâóåò. Ðåàëüíûå ðàñïðåäåëåíèÿ ïðè-
ìåñåé îòëè÷àþòñÿ îò ðàñ÷åòíûõ. Òåì íå ìåíåå íà ïðàêòèêå äëÿ îïðå-
äåëåíèÿ ðåæèìîâ äèôôóçèè ÷àñòî èñïîëüçóþò ðåøåíèÿ óðàâíåíèé Ôèêà,
à ðåçóëüòàòû ðàñ÷åòà ïðîâåðÿþò è óòî÷íÿþò ýêñïåðèìåíòàëüíî.
Äâóõñòàäèéíàÿ äèôôóçèÿ ïðèìåíÿåòñÿ â áîëüøèíñòâå ñëó÷àåâ ñ
öåëüþ ïîëó÷åíèÿ âîñïðîèçâåäåííûõ ïàðàìåòðîâ ëåãèðîâàííûõ ñëîåâ è
íåâûñîêèõ ïîâåðõíîñòíûõ êîíöåíòðàöèé.
Íà ïåðâîé ñòàäèè, íàçûâàåìîé «çàãîíêîé», â òîíêèé ïðèïîâåðõíî-
ñòíûé ñëîé ïîëóïðîâîäíèêîâîé ïëàñòèíû ââîäèòñÿ îïðåäåëåííîå êîëè-
÷åñòâî ëåãèðóþùåé ïðèìåñè èç íåîãðàíè÷åííîãî èñòî÷íèêà. Òåì ñàìûì
ñîçäàåòñÿ ïîâåðõíîñòíûé ñëîé ïîâûøåííîé êîíöåíòðàöèè èñòî÷íèê
ïðèìåñè äëÿ âòîðîãî ýòàïà. Ïîâåðõíîñòíàÿ êîíöåíòðàöèÿ ïðèìåñè ïîñ-
ëå ýòàïà çàãîíêè âåëèêà. Ïåðâàÿ ñòàäèÿ îáû÷íî ïðîâîäèòñÿ áûñòðî è
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 77
- 78
- 79
- 80
- 81
- …
- следующая ›
- последняя »
