Составители:
Рубрика:
80
ïðè ñðàâíèòåëüíî íèçêèõ òåìïåðàòóðàõ. Íà ïîâåðõíîñòè êðåìíèåâûõ
ïëàñòèí ïðè ýòîì îáðàçóåòñÿ ñëîé ïðèìåñíîñèëèêàòíîãî ñòåêëà.
Âòîðóþ ñòàäèþ äèôôóçèè äèôôóçèîííûé îòæèã, íàçûâàåìóþ
èíîãäà «ðàçãîíêîé», ïðîâîäÿò ñ ïðåäâàðèòåëüíûì ñíÿòèåì èëè áåç ñíÿ-
òèÿ ïîâåðõíîñòíîãî ñòåêëà, ïîëó÷åííîãî íà ïåðâîé ñòàäèè. Âòîðàÿ ñòà-
äèÿ, êàê ïðàâèëî, ñîâìåùàåòñÿ ñî ñëåäóþùåé îïåðàöèåé òåðìè÷åñêîãî
îêñèäèðîâàíèÿ, ò. å. ïðîöåññ âåäóò â îêèñëÿþùåé ñðåäå. Äèôôóçèîííûé
îòæèã ïðîâîäèòñÿ ïðè îòñóòñòâèè èñòî÷íèêà ïðèìåñè, ïðèìåíÿåìîãî íà
ïåðâîé ñòàäèè. Ïðè ýòîì ïðîèñõîäèò ïåðåðàñïðåäåëåíèå ââåäåííîé íà
ïåðâîé ñòàäèè ïðèìåñè íà îïðåäåëåííóþ ãëóáèíó ïîâåðõíîñòíàÿ êîí-
öåíòðàöèÿ ïðèìåñè ñíèæàåòñÿ çà ñ÷åò óõîäà â ãëóáü ïîëóïðîâîäíèêà è â
ñëîé ðàñòóùåãî îêñèäà, òàê êàê ïîñëåäíèé óãëóáëÿåòñÿ â ïëàñòèíó êðåì-
íèÿ. Òåìïåðàòóðà ýòîé ñòàäèè äèôôóçèè âûøå ïî ñðàâíåíèþ ñ ïåðâîé.
Òåõíèêà âûïîëíåíèÿ äèôôóçèîííîãî ëåãèðîâàíèÿ. Îñíîâíûì äëÿ
ïðîâåäåíèÿ äèôôóçèè ïðèìåñåé â ïëàñòèíû êðåìíèÿ ÿâëÿåòñÿ ñïîñîá
ïðîòî÷íîé òðóáû. Ïðîöåññ äèôôóçèè ïðåäúÿâëÿåò âûñîêèå òðåáîâàíèÿ
ê èñòî÷íèêàì ïðèìåñåé, ê ÷èñòîòå ïîäãîòîâêè ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëà-
ñòèí, îñíàñòêè, êâàðöåâîé òðóáû. Ïðîâåäåíèå äèôôóçèè îïðåäåëåííîé
ïðèìåñè îñóùåñòâëÿåòñÿ â êîíêðåòíîé óñòàíîâêå, â êîòîðîé íå ïðîâî-
äÿò äèôôóçèþ äðóãîé ïðèìåñè è íå èñïîëüçóþò îñíàñòêó ñ äðóãèõ óñòà-
íîâîê. Äëÿ ïðåäîòâðàùåíèÿ îáåäíåíèÿ ãàçîâîãî ïîòîêà ïàðàìè ïðèìå-
ñè â ðåçóëüòàòå ïîãëîùåíèÿ âíóòðåííèìè ñòåíêàìè êâàðöåâîé òðóáû,
ïîñëåäíþþ ïåðåä ïðîâåäåíèåì äèôôóçèè ñïåöèàëüíî íàñûùàþò ïðè-
ìåñüþ. Êâàðöåâóþ îñíàñòêó è êîíòðîëüíûå òåðìîïàðû äëÿ èçìåðåíèÿ
òåìïåðàòóðíîãî ïðîôèëÿ âäîëü ïå÷è è îïðåäåëåíèÿ ãðàíèö òåìïåðàòóð-
íîé çîíû õðàíÿò â ñïåöèàëüíûõ êâàðöåâûõ òðóáàõ-ôóòëÿðàõ.
6.4. Èîííîå ëåãèðîâàíèå
Èîííîå ëåãèðîâàíèå îñóùåñòâëÿåòñÿ â äâà ýòàïà: âíåäðåíèå èîíîâ,
îòæèã.
Âíåäðåíèå èîíîâ ïðèíöèïèàëüíî îòëè÷àåòñÿ îò äèôôóçèè ñ òî÷êè
çðåíèÿ ìåõàíèçìà ïðîöåññà. Äâèæåíèå èîíîâ â ïîëóïðîâîäíèêå îïðåäå-
ëÿåòñÿ èõ íà÷àëüíîé êèíåòè÷åñêîé ýíåðãèåé, à íå ãðàäèåíòîì êîíöåíò-
ðàöèè, êàê ïðè äèôôóçèè. Èîííîå âíåäðåíèå íå ÿâëÿåòñÿ ðàâíîâåñíûì
ïðîöåññîì, ïîýòîìó êîíöåíòðàöèè ïðèìåñåé ëåãêî äîñòèãàþò ïðåäåëü-
íûõ çíà÷åíèé è â íåêîòîðûõ ñëó÷àÿõ ìîãóò èõ ïðåâîñõîäèòü. Èîííîå
âíåäðåíèå áûñòðûé ïðîöåññ, åãî ìîæíî ïðîâîäèòü ïðè êîìíàòíîé òåì-
ïåðàòóðå, ïðèìåíÿòü äëÿ ëåãèðîâàíèÿ ïðèìåñè ñ íèçêèìè êîýôôèöèåí-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 78
- 79
- 80
- 81
- 82
- …
- следующая ›
- последняя »
