Составители:
Рубрика:
81
òàìè äèôôóçèè èëè íèçêèìè ðàñòâîðèìîñòÿìè â òâåðäîé ôàçå, à òàêæå
äëÿ ëåãèðîâàíèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâ ñ íèçêîé òåìïåðàòóðîé ïëàâëåíèÿ (àð-
ñåíèä èíäèÿ) èëè ïîëóïðîâîäíèêîâ, äèôôóçèîííîå ëåãèðîâàíèå êîòîðûõ
òðåáóåò î÷åíü âûñîêèõ òåìïåðàòóð (êàðáèä êðåìíèÿ).
 çàâèñèìîñòè îò íàïðàâëåíèÿ èîíîâ âíåäðåíèå ìîæåò ïðîõîäèòü ïî
äâóì ìåõàíèçìàì, ïðèâîäÿùèì ê ðàçëè÷íûì ãëóáèíå ïðîíèêíîâåíèÿ è
ðàñïðåäåëåíèþ ïðèìåñè.
Îðèåíòèðîâàííîå âíåäðåíèå êîãäà óãîë ìåæäó íàïðàâëåíèåì
ïàäåíèÿ èîíîâ è ãëàâíûì êðèñòàëëîãðàôè÷åñêèì íàïðàâëåíèåì ïîëó-
ïðîâîäíèêîâîé ïëàñòèíû ìåíüøå êðèòè÷åñêîãî. Äâèæåíèå èîíîâ ïðîèñ-
õîäèò ïî êàíàëàì.
Ãëóáèíà ïðîíèêíîâåíèÿ èîíîâ çàâèñèò îò êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîé îðè-
åíòàöèè.
Åñëè íàïðàâëåíèå ïàäåíèÿ ïåðâîíà÷àëüíîãî ïó÷êà èîíîâ íà ïîâåðõ-
íîñòü ïëàñòèíû îòêëîíÿåòñÿ îò îñíîâíîãî êðèñòàëëîãðàôè÷åñêîãî íà-
ïðàâëåíèÿ è, ñëåäîâàòåëüíî, îò îñè êàíàëà, òî èîíû âûõîäÿò çà îáëàñòü
êàíàëà è ïåðåìåùàþòñÿ ïî áåñïîðÿäî÷íûì òðàåêòîðèÿì.  ðåàëüíûõ
óñëîâèÿõ, äàæå åñëè óãîë ïàäåíèÿ îòêëîíÿåòñÿ îò îñè êàíàëà íå áîëåå
÷åì íà êðèòè÷åñêèé, ÷èñòîå êàíàëèðîâàíèå íå áóäåò èìåòü ìåñòî. Ýòî
îáúÿñíÿåòñÿ òåì, ÷òî ïî ìåðå âíåäðåíèÿ ñ óâåëè÷åíèåì äîçû îáëó÷å-
íèÿ ÷àñòü ïàäàþùèõ íà ïëàñòèíó èîíîâ áóäåò ñòàëêèâàòüñÿ ñ ïîâåðõíî-
ñòíûìè àòîìàìè. Ýòè èîíû íå ïîïàäóò â êàíàëû, à îòêëîíÿòñÿ îò ïåð-
âîíà÷àëüíîãî íàïðàâëåíèÿ, â ðåçóëüòàòå èõ íåóïîðÿäî÷åííîãî äâèæåíèÿ
áóäóò îáðàçîâûâàòüñÿ äåôåêòíûå îáëàñòè, êîòîðûå, â ñâîþ î÷åðåäü,
áóäóò âëèÿòü íà õàðàêòåð âíåäðåíèÿ. Ïðè áîëüøèõ äîçàõ îáëó÷åíèÿ êîí-
öåíòðàöèÿ èîíîâ â êàíàëå âåëèêà, è íå âñå èç íèõ íàõîäÿòñÿ â îäèíàêî-
âûõ óñëîâèÿõ. Ýíåðãèÿ èîíîâ, äâèæóùèõñÿ ïî öåíòðàëüíîé ÷àñòè êàíà-
ëà, òåðÿåòñÿ â îñíîâíîì èç-çà âçàèìîäåéñòâèÿ ñ ýëåêòðîíàìè. Ïîòåðè
ýíåðãèè èîíàìè, îòêëîíåííûìè îò öåíòðà êàíàëà, îáóñëîâëåíû òàêæå
âçàèìîäåéñòâèÿìè ñ ÿäðàìè àòîìîâ. Îòêëîíåíèÿ èîíîâ ìîãóò ïðîèñõî-
äèòü òàêæå è ïðè âçàèìîäåéñòâèè ñ òåïëîâûìè êîëåáàíèÿìè àòîìîâ
ïîëóïðîâîäíèêà, äåôåêòàìè ðåøåòêè è äð. Âëèÿíèå äîïîëíèòåëüíûõ
ïðè÷èí îòêëîíåíèé èîíîâ òåì áîëüøå, ÷åì äàëüøå èîí íàõîäèòñÿ îò
öåíòðà êàíàëà. Ñ óâåëè÷åíèåì äîçû îáëó÷åíèÿ äåêàíàëèðîâàíèå ñòàíî-
âèòñÿ áîëåå çàìåòíûì è ïðè äîçàõ 10
15
⋅ñì
2
ýôôåêò êàíàëèðîâàíèÿ ïðàê-
òè÷åñêè èñ÷åçàåò.
Ðàñïðåäåëåíèå èîíîâ ïðè îðèåíòèðîâàííîì âíåäðåíèè, à òàêæå óñ-
ëîâíàÿ ñõåìà äâèæåíèÿ èîíîâ ïðèâåäåíû íà ðèñ. 28. Ïåðâûé ìàêñè-
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 79
- 80
- 81
- 82
- 83
- …
- следующая ›
- последняя »
