Составители:
Рубрика:
83
ôåêòû Ôðåíêåëÿ âàêàíñèè è àòîìû â ìåæäóóçëèÿõ. Ïîñêîëüêó ïåð-
âè÷íàÿ ýíåðãèÿ èîíà âåëèêà, íà ïóòè åãî ïåðåìåùåíèÿ âíóòðè ïîëóïðî-
âîäíèêà îáðàçóþòñÿ ìíîãî÷èñëåííûå äåôåêòû ñìåùåíèé, ñëèâàþùèå-
ñÿ â çîíû ðàçìåðîì 50100 °A. Ïî ìåðå âíåäðåíèÿ èîíîâ êîëè÷åñòâî è
ðàçìåð çîí ñ ðàçóïîðÿäî÷åííîé êðèñòàëëè÷åñêîé ðåøåòêîé óâåëè÷èâà-
þòñÿ, è åñëè ïëîòíîñòü çîí âåëèêà, òî â îïðåäåëåííûé ìîìåíò ïîëóïðî-
âîäíèê ïåðåõîäèò â àìîðôíîå ñîñòîÿíèå.
Êðèòè÷åñêàÿ äîçà èîííîãî îáëó÷åíèÿ, ïðè êîòîðîé ïîëóïðîâîäíèê
ïåðåõîäèò èç êðèñòàëëè÷åñêîãî ñîñòîÿíèÿ â àìîðôíîå, íàçûâàåòñÿ äî-
çîé àìîðôèçàöèè. Àìîðôèçàöèÿ ïîâåðõíîñòè êðåìíèåâîé ïëàñòèíû ïîä
äåéñòâèåì èîíîâ ôîñôîðà ïðîèñõîäèò áîëåå èíòåíñèâíî, ÷åì ïîä äåé-
ñòâèåì èîíîâ áîðà. Äîçà îáëó÷åíèÿ, íåîáõîäèìàÿ äëÿ àìîðôèçàöèè ïî-
âåðõíîñòè êðåìíèÿ, ñîñòàâëÿåò 6,2⋅10
14
ñì
2
.
Òðàåêòîðèÿ äâèæåíèÿ èîíîâ èìååò âèä ëîìàíîé ëèíèè (ðèñ. 29), êàæ-
äûé ïðÿìîëèíåéíûé ó÷àñòîê êîòîðîé ñîîòâåòñòâóåò ïðîáåãó èîíà äî
ñòîëêíîâåíèÿ ñ àòîìîì ðåøåòêè. Ïîëíàÿ äëèíà ïðîáåãà èîíà äî îñòà-
íîâêè ñêëàäûâàåòñÿ èç îòäåëüíûõ ó÷àñòêîâ ëîìàíîé òðàåêòîðèè.
Ïðàêòè÷åñêîå çíà÷åíèå äëÿ îïðåäåëåíèÿ ãëóáèíû âíåäðåíèÿ èîíîâ
èìååò ñðåäíÿÿ äëèíà ïðîåêöèè ïîëíîãî ïðîáåãà íà íàïðàâëåíèå íà÷àëü-
íîé ñêîðîñòè èîíîâ. R
n
ñðåäíèé íîðìàëüíûé ïðîáåã.
Ðàñïðåäåëåíèå èîíîâ ïðè ðàçîðèåíòèðîâàííîì âíåäðåíèè îïðåäåëÿ-
åòñÿ çàêîíîì Ãàóññà, òàê êàê ñòîëêíîâåíèÿ èîíîâ ñ àòîìàìè ðåøåòêè
íîñÿò âåðîÿòíîñòíûé õàðàêòåð
()
()
2
2
() 2 exp 2 ,
=∆π −− ∆
nnn
Nx Q R x R R
Çîíû ðàç
ó
ïîðÿäî÷åííîé
ðåøåòêè
Ïîë
ó
ïðîâîäíèê
Ðèñ. 29. Òðàåêòîðèÿ äâèæåíèÿ âíåäðåííûõ èîíîâ: îòêëîíåíèÿ àòîìîâ
ïîëóïðîâîäíèêà ïðè ñòîëêíîâåíèè ñ èîíàìè; òðàåêòîðèÿ äâèæåíèÿ èîíà
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 81
- 82
- 83
- 84
- 85
- …
- следующая ›
- последняя »
