Составители:
Рубрика:
85
7. ÒÈÏÎÂÛÅ ÌÀÐØÐÓÒÛ ÈÇÃÎÒÎÂËÅÍÈß ÑÒÐÓÊÒÓÐ
ÌÈÊÐÎÑÕÅÌ
7.1. Èçãîòîâëåíèå áèïîëÿðíûõ ñòðóêòóð
Ýëåìåíòû áèïîëÿðíûõ ÈÌ ôîðìèðóþò â îòäåëüíûõ ýëåêòðè÷åñêè
èçîëèðîâàííûõ äðóã îò äðóãà è îò îáùåé ïëàñòèíû îáëàñòÿõ-êàðìàíàõ.
Äëÿ ìíîãèõ ÈÌ èñõîäíûìè çàãîòîâêàìè ÿâëÿþòñÿ ýïèòàêñèàëüíûå
ñòðóêòóðû ñî ñêðûòûìè n+-îáëàñòÿìè, êîòîðûå óìåíüøàþò ñîïðîòèâ-
ëåíèÿ êîëëåêòîðîâ.
 ñîîòâåòñòâèè ñ ïðèíöèïîì ñîâìåñòèìîñòè ýëåìåíòîâ îäíîâðåìåííî
ñ òðàíçèñòîðàìè ôîðìèðóþò äèîäû, ðåçèñòîðû, êîíäåíñàòîðû. Íà çàê-
ëþ÷èòåëüíûõ ñòàäèÿõ ìàðøðóòà âûïîëíÿþò ìåòàëëèçàöèþ: êîíòàêòû ê
àêòèâíûì îáëàñòÿì, ïðîâîäÿùèå äîðîæêè ìåæäó ýëåìåíòàìè, êîíòàê-
òíûå ïëîùàäêè äëÿ âíåøíèõ ýëåêòðè÷åñêèõ ñîåäèíåíèé.
Íàïîìíèì, îñíîâó ïðîöåññîâ èçãîòîâëåíèÿ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ÈÌ
ñîñòàâëÿþò ýïèòàêñèÿ, ïëàíàðíàÿ è ìåçàòåõíîëîãèè. Êîíòàêòíûå ìàñêè
â ïîäàâëÿþùåì áîëüøèíñòâå ôîðìèðóþò èç äèîêñèäà êðåìíèÿ. Ïëåí-
êà äèîêñèäà êðåìíèÿ èç àêöåïòîðíûõ ïðèìåñåé ìàñêèðóåò òîëüêî îò
áîðà. Àëþìèíèé, èíäèé, ãàëëèé èìåþò â ïëåíêå âûñîêèé êîýôôèöèåíò
äèôôóçèè. Äëÿ çàùèòû îò äèôôóçèè ýòèõ ïðèìåñåé èñïîëüçóþò ìàñêè
èç íèòðèäà êðåìíèÿ. ×àùå äðóãèõ äîíîðíûõ ïðèìåñåé ïðèìåíÿþò ôîñ-
ôîð, îí èìååò áîëüøèé êîýôôèöèåíò äèôôóçèè, ÷åì ñóðüìà è ìûøüÿê, è
áîëüøóþ ïðåäåëüíóþ ðàñòâîðèìîñòü â êðåìíèè, ÷åì ñóðüìà.
Èçãîòîâëåíèå áèïîëÿðíûõ ÈÌ ñ èçîëÿöèåé ð-n ïåðåõîäàìè. Ðàñ-
ñìîòðèì íàèáîëåå òåõíîëîãè÷íûå è õîðîøî îñâîåííûå ïðîèçâîäñòâîì
ïðîöåññû, â êîòîðûõ èçîëÿöèÿ ñîçäàåòñÿ ñ ïîìîùüþ äèôôóçèè íà âñþ
ãëóáèíó ýïèòàêñèàëüíûõ ñëîåâ.  ðåçóëüòàòå äèôôóçèè ïîëó÷àþò êàð-
ìàíû, îêðóæåííûå ð-n ïåðåõîäàìè.
Èçãîòîâëåíèå áèïîëÿðíûõ ÈÌ ìåòîäîì ðàçäåëèòåëüíîé äèôôó-
çèè íàñêâîçü ýïèòàêñèàëüíîãî n-ñëîÿ (ðèñ. 31) ñîñòîèò èç äâóõ ýòà-
ïîâ: èçãîòîâëåíèÿ ýïèòàêñèàëüíîé ñòðóêòóðû ñî ñêðûòûìè n+-îáëàñòÿ-
ìè (à â) è èçãîòîâëåíèÿ áèïîëÿðíîé ÈÌ íà ýòîé ñòðóêòóðå (ã ç).
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 83
- 84
- 85
- 86
- 87
- …
- следующая ›
- последняя »
