Составители:
Рубрика:
86
Ýïèòàêñèàëüíûå ñòðóêòóðû îáû÷íî èçãîòàâëèâàþò â îòäåëüíîì ïðî-
öåññå. Ëåãèðóþùàÿ ïðèìåñü äëÿ ñêðûòûõ n+-îáëàñòåé äîëæíà èìåòü
âûñîêóþ ðàñòâîðèìîñòü â êðåìíèè ïðè ìàëîé ãëóáèíå äèôôóçèè. Âìå-
ñòå ñ òåì ÷òîáû íå ïðîèñõîäèëî ïåðåäâèæåíèå ãðàíèöû ñêðûòîãî êîë-
ëåêòîðíîãî ñëîÿ ïðè ïîñëåäóþùèõ òåðìîîáðàáîòêàõ, ïðèìåñü äîëæíà
èìåòü ïî âîçìîæíîñòè ìèíèìàëüíûé êîýôôèöèåíò äèôôóçèè. Ïîâåðõ-
íîñòíàÿ êîíöåíòðàöèÿ ñêðûòîãî ñëîÿ íå äîëæíà áûòü ñëèøêîì âûñîêîé,
òàê êàê ýòî óâåëè÷èâàåò äèôôóçèþ â ðàñòóùèé ýïèòàêñèàëüíûé ñëîé, à
òàêæå ìåõàíè÷åñêèå íàïðÿæåíèÿ è ïëîòíîñòü äèñëîêàöèé, âûçâàííûå
íåñîîòâåòñòâèåì àòîìíûõ ðàäèóñîâ êðåìíèÿ è ïðèìåñè.
 ñâÿçè ñ ýòèì äëÿ ïîëó÷åíèÿ ñêðûòîãî n+-ñëîÿ ïðèìåíÿþò ñóðüìó
è ìûøüÿê, êîòîðûå èìåþò ìåíüøèå, ÷åì ôîñôîð, êîýôôèöèåíòû äèô-
ôóçèè. Îäíàêî ïðè èñïîëüçîâàíèè ìûøüÿêà â ñêðûòûõ ñëîÿõ íàáëþäà-
åòñÿ áîëüøîå êîëè÷åñòâî äåôåêòîâ. Ïîýòîìó äëÿ ñîçäàíèÿ âûñîêîâîëü-
òíûõ áèïîëÿðíûõ ìèêðîñõåì ñêðûòûå ñëîè ëåãèðóþò ïðåèìóùåñòâåí-
íî ñóðüìîé. Òèïè÷íîå ïîâåðõíîñòíîå ñîïðîòèâëåíèå ñêðûòîãî ñëîÿ ñî-
ñòàâëÿåò 1550 Îì/ì, òîëùèíà ñëîåâ 25 ìêì.
Ýïèòàêñèàëüíûé n-ñëîé âûðàùèâàþò îáû÷íî õëîðèäíûì ìåòîäîì.
Òîëùèíà ñëîÿ 325 ìêì â çàâèñèìîñòè îò íàçíà÷åíèÿ ÈÌ. Ðàñïðåäåëå-
Si
p
Si p
n
+
n
+
n
+
Si p
Si p
n
325 ìêì
à â
á ã
ä
å
æ
ç
Si
Si
Si
Si
p
p
p
p
n
+
n
+
n
+
n
+
p
+
p
+
p
+
p
+
p
+
p
+
p
+
p
+
n
n
n
+
n
+
n
+
n
+
n
n
n
p
p
p
K Ý Á
Ðèñ. 31. Ñõåìà èçãîòîâëåíèÿ ýïèòàêñèàëüíî-ïëàíàðíîé áèïîëÿðíîé ÈÌ ñ
ïîìîùüþ ðàçäåëèòåëüíîé äèôôóçèè: à òåðìè÷åñêîå îêñèäèðîâàíèå è ïåðâàÿ
ôîòîëèòîãðàôèÿ; á ëîêàëüíàÿ äèôôóçèÿ; â ýïèòàêñèÿ; ã òåðìè÷åñêîå
îêñèäèðîâàíèå è âòîðàÿ ôîòîëèòîãðàôèÿ; ä ðàçäåëèòåëüíàÿ äèôôóçèÿ;
å ôîðìèðîâàíèå áàçîâûõ îáëàñòåé; æ ôîðìèðîâàíèå ýìèòòåðíûõ è ïðèêîí-
òàêòíûõ îáëàñòåé êîëëåêòîðîâ; ç ôîðìèðîâàíèå ìåòàëëèçàöèè
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 84
- 85
- 86
- 87
- 88
- …
- следующая ›
- последняя »
