Составители:
Рубрика:
88
èìåþùèå áîëüøåå áûñòðîäåéñòâèå áëàãîäàðÿ âûñîêîé ïîäâèæíîñòè
ýëåêòðîíîâ. Íàðÿäó ñ ÈÌ, ñîäåðæàùèìè òðàíçèñòîðû ñ êàíàëàìè îä-
íîãî òèïà, èçãîòàâëèâàþòñÿ òàêæå êîìïëåìåíòàðíûå ìèêðîñõåìû
ÊÌÎÏ-ÈÌ, ñîäåðæàùèå òðàíçèñòîðû ñ êàíàëàìè ïðîòèâîïîëîæíûõ
òèïîâ.
ÌÎÏ-ÈÌ èçãîòàâëèâàþòñÿ ïî ïëàíàðíîé è ýïèòàêñèàëüíî-ïëàíàð-
íîé òåõíîëîãèè. Áëàãîäàðÿ áîëåå ïðîñòîé êîíñòðóêöèè ÌÎÏ-òðàíçèñ-
òîðà è ñàìîèçîëÿöèè ýëåìåíòîâ îáùåå êîëè÷åñòâî òåõíîëîãè÷åñêèõ îïå-
ðàöèé óìåíüøàåòñÿ ïî ñðàâíåíèþ ñ áèïîëÿðíîé òåõíîëîãèåé. Ýòî ïîâû-
øàåò âûõîä ãîäíûõ è óìåíüøàåò ñòîèìîñòü ÈÌ.
Íàèáîëåå îòâåòñòâåííûå ìîìåíòû â òåõíîëîãèè ÌÎÏ-ÈÌ: ñîçäà-
íèå ïîäçàòâîðíîãî îêñèäà, òî÷íîå ñîâìåùåíèå çàòâîðà ñ êàíàëîì è ïî-
ëó÷åíèå ñòðóêòóð ñ ìàëîé äëèíîé êàíàëà.
Ïîäçàòâîðíûé îêñèä ÿâëÿåòñÿ ñîñòàâíîé ÷àñòüþ àêòèâíîãî ýëå-
ìåíòà ÈÌ, ê íåìó ïðåäúÿâëÿþòñÿ áîëåå æåñòêèå òðåáîâàíèÿ, ÷åì ê
ìàòåðèàëó êîíòàêòíîé ìàñêè: âûñîêàÿ ýëåêòðè÷åñêàÿ ïðî÷íîñòü, ìèíè-
ìàëüíûé çàðÿä â îáúåìå è íà ãðàíèöå Si SiO
2
, ìàêñèìàëüíàÿ ñòàáèëü-
íîñòü ñâîéñòâ è äð. Ïëîòíîñòü ïîâåðõíîñòíîãî çàðÿäà äëÿ (100) Si ñî-
ñòàâëÿåò 1,4⋅10
8
Êë/ñì
2
, äëÿ (111)Si8⋅10
8
Êë/ñì
2
. Èìåííî ïîýòîìó ïðåä-
ïî÷òèòåëüíûì ÿâëÿåòñÿ (100) Si.
3àòâîð íå äîëæåí ïåðåêðûâàòü îáëàñòè èñòîêà è ñòîêà, òàê êàê âîç-
íèêàþùèå ïàðàçèòíûå åìêîñòè óìåíüøàþò áûñòðîäåéñòâèå ÈÌ. Åñëè
æå äëèíà çàòâîðà ìåíüøå äëèíû êàíàëà, öåïü èñòîê-ñòîê ðàçîìêíóòà.
Äëèíà êàíàëà îïðåäåëÿåò âðåìÿ ïðîëåòà íîñèòåëåé òîêà îò èñòîêà
ê ñòîêó è, ñëåäîâàòåëüíî, áûñòðîäåéñòâèå ÌÎÏ-ÈÌ. Ïîâûøåíèå áûñ-
òðîäåéñòâèÿ ÌÎÏ-ÈÌ ðàñøèðÿåò îáëàñòè èõ ïðèìåíåíèÿ, à ìàëàÿ ïëî-
ùàäü íà îäèí ýëåìåíò è ïðîñòîòà òåõíîëîãèè ïîçâîëÿþò ðåàëèçîâûâàòü
âûñîêóþ ñòåïåíü èíòåãðàöèè. ÌÎÏ-ñòðóêòóðû ñîñòàâëÿþò îñíîâó áîëü-
øèíñòâà áîëüøèõ è ñâåðõáîëüøèõ ÈÌ.
Èçãîòîâëåíèå òîëñòîîêñèäíûõ ð-ÌÎÏ-ÈÌ è n-ÌÎÏ-ÈÌ. Ðàñ-
ñìîòðèì íàèáîëåå ïðîñòûå òèïîâûå ïðîöåññû èçãîòîâëåíèÿ ÈÌ ñ ìå-
òàëëè÷åñêèìè çàòâîðàìè è òîëñòîé ïëåíêîé îêñèäà ìåæäó ìåòàëëèçà-
öèåé è ïëàñòèíîé êðåìíèÿ. Ýòî óìåíüøàåò ïàðàçèòíûå åìêîñòè, à òàê-
æå äàåò íåêîòîðûå äðóãèå ïðåèìóùåñòâà ïåðåä ðàíåå ïðèìåíÿåìîé
òîíêîîêñèäíîé òåõíîëîãèåé.
ÌÎÏ-ÈÌ ñ ð-êàíàëàìè èçãîòàâëèâàþò ïî ïëàíàðíîé òåõíîëîãèè
(ðèñ. 32). Ëîêàëüíàÿ äèôôóçèÿ è âûðàùèâàíèå òîëñòîãî îêñèäà ìîãóò
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 86
- 87
- 88
- 89
- 90
- …
- следующая ›
- последняя »
