Составители:
Рубрика:
90
7.3. Òèïîâûå ìàðøðóòû
òåõíîëîãèè òîíêîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð
Èçãîòîâëåíèå òîíêîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð ñ ïîìîùüþ ñâîáîä-
íûõ ìàñîê. Ñâîáîäíûå ìåòàëëè÷åñêèå ìàñêè äëÿ ïîëó÷åíèÿ òîïî-
ëîãèè ýëåìåíòîâ ìîæíî èñïîëüçîâàòü òîëüêî â ñî÷åòàíèè ñ ìåòîäà-
ìè òåðìîâàêóóìíîãî íàïûëåíèÿ è èîííî-ïëàçìåííîãî ðàñïûëåíèÿ. Ïðè
ïîëó÷åíèè òîíêèõ ïëåíîê ìåòîäîì êàòîäíîãî ðàñïûëåíèÿ ïðèìåíÿòü
ìåòàëëè÷åñêèå ñâîáîäíûå ìàñêè íåëüçÿ, òàê êàê îíè èñêàæàþò ýëåê-
òðè÷åñêîå ïîëå ìåæäó êàòîäîì è àíîäîì.  ðåçóëüòàòå ýíåðãèÿ áîì-
áàðäèðóþùèõ êàòîä èîíîâ àðãîíà èëè äðóãîãî èîíèçèðîâàííîãî ãàçà
ðåçêî óìåíüøàåòñÿ, ÷òî ïðèâîäèò ê çíà÷èòåëüíîìó óìåíüøåíèþ ñêî-
ðîñòè îñàæäåíèÿ ïëåíîê èëè ê ïîëíîìó ïðåêðàùåíèþ ïðîöåññà. Ïðè-
ìåíåíèå íå èñêàæàþùèõ ýëåêòðè÷åñêîå ïîëå ñâîáîäíûõ ìàñîê èç äè-
ýëåêòðè÷åñêèõ ìàòåðèàëîâ, íàïðèìåð èç ôîòîñèòàëëà, ïîêà îãðàíè-
÷åíî ñëîæíîñòüþ èõ òåõíîëîãèè.
Èçãîòîâëåíèå òîíêîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð ìîæåò âûïîëíÿòüñÿ â íå-
ïðåðûâíûõ, ðàçäåëüíûõ è êîìáèíèðîâàííûõ âàêóóìíûõ ïðîöåññàõ.
Ïðè íåïðåðûâíûõ âàêóóìíûõ ïðîöåññàõ âñå òåõíîëîãè÷åñêèå
ñëîè ñòðóêòóðû ïîëó÷àþò â îäíîé óñòàíîâêå áåç ðàçãåðìåòèçàöèè
âàêóóìíîé êàìåðû. Èñêëþ÷àåòñÿ âçàèìîäåéñòâèå íàíîñèìûõ ïëå-
íîê ñ âîçäóõîì. Îáùåå âðåìÿ ïðîöåññà íàïûëåíèÿ óìåíüøàåòñÿ. Îä-
íàêî íåïðåðûâíûé ñïîñîá òðåáóåò ñëîæíîé âíóòðèêàìåðíîé àðìàòó-
ðû, ðàáîòà êîòîðîé â óñëîâèÿõ ïîâûøåííûõ òåìïåðàòóð è âûñîêîãî
âàêóóìà çàòðóäíåíà. Äëÿ óìåíüøåíèÿ âçàèìíîãî çàãðÿçíåíèÿ ïëåíîê
íåîáõîäèìà íàäåæíàÿ ýêðàíèðîâêà ïîäëîæåê è èñïàðèòåëåé, êðîìå
òîãî, êîíòðîëü ïëåíîê çàòðóäíåí.
Ïðè ðàçäåëüíûõ âàêóóìíûõ ïðîöåññàõ êàæäàÿ ïëåíêà íàíîñèò-
ñÿ â îòäåëüíîé âàêóóìíîé óñòàíîâêå. Ýòèì óìåíüøàåòñÿ âçàèìíîå
çàãðÿçíåíèå ïëåíîê.
Âíóòðèêàìåðíûå óñòðîéñòâà áîëåå ïðîñòû ïî ñðàâíåíèþ ñ óñò-
ðîéñòâàìè äëÿ íåïðåðûâíîãî íàïûëåíèÿ. Âîçìîæåí ìåæîïåðàöèîí-
íûé êîíòðîëü. Ñîâìåùåíèå ñëîåâ óïðîùàåòñÿ, òàê êàê ïðîèçâîäèòñÿ
íà âîçäóõå. Ê íåäîñòàòêàì ðàçäåëüíîãî ñïîñîáà îòíîñÿòñÿ âîçìîæ-
íîñòü çàãðÿçíåíèÿ ïëåíîê ïðè ïåðåíîñå â ñëåäóþùèå âàêóóìíûå êà-
ìåðû è äëèòåëüíîñòü îáùåãî ïðîöåññà èç-çà íåîäíîêðàòíîé îòêà÷êè
è ðàçãåðìåòèçàöèè.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 88
- 89
- 90
- 91
- 92
- …
- следующая ›
- последняя »
