Составители:
Рубрика:
91
Êîìáèíèðîâàííûå âàêóóìíûå ïðîöåññû ïðèìåíÿþòñÿ íàèáîëåå
÷àñòî. Ðàññìîòðèì òàêîé ïðîöåññ íà ïðèìåðå èçãîòîâëåíèÿ òîíêî-
ïëåíî÷íîé ñòðóêòóðû RC-ÈÌ (ðèñ. 33).
Èçãîòîâëåíèå òîíêîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð ñ ïðèìåíåíèåì ôîòî-
ëèòîãðàôèè. Ôîòîëèòîãðàôèÿ ñëîæíûé è äîðîãîñòîÿùèé ïðîöåññ,
ïîýòîìó åå ïðèìåíÿþò òîëüêî òîãäà, êîãäà ñ ïîìîùüþ ñâîáîäíûõ ìà-
ñîê íåëüçÿ ïîëó÷èòü ñëîæíóþ òîïîëîãèþ è âûñîêóþ òî÷íîñòü íîìèíà-
ëîâ ýëåìåíòîâ.
Ñõåìà èçãîòîâëåíèÿ òîíêîïëåíî÷íûõ R-ñòðóêòóð ñ ïîìîùüþ
ôîòîëèòîãðàôèè (ðèñ. 34) âêëþ÷àåò äâà ýòàïà. Cíà÷àëà ïîëó÷àþò ïðî-
âîäíèêè è êîíòàêòíûå ïëîùàäêè èç çîëîòà ñ ïîäñëîåì õðîìà, îáåñïå÷è-
âàþùèì õîðîøóþ àäãåçèþ ê ïëåíêå ðåçèñòîðîâ èç ñïëàâà ÌËÒ-3. Çà-
òåì ñ ïîìîùüþ âòîðîé ôîòîëèòîãðàôèè çàâåðøàþò ôîðìèðîâàíèå ðå-
çèñòîðîâ. Ïðîâîäíèêè íà ðèñóíêå íå ïîêàçàíû. Îñíîâíîé ñëîæíîñòüþ
ÿâëÿåòñÿ âûáîð òðàâèòåëÿ, èçáèðàòåëüíî óäàëÿþùåãî òîëüêî íóæíûé
ìàòåðèàë è íå óõóäøàþùåãî ïàðàìåòðû ïðèñóòñòâóþùèõ ïëåíîê. Ýòèì
îáúÿñíÿåòñÿ ïðàêòè÷åñêàÿ íåïðèìåíèìîñòü ïðÿìîé ôîòîëèòîãðàôèè äëÿ
ôîðìèðîâàíèÿ ìíîãîñëîéíûõ ýëåìåíòîâ, íàïðèìåð êîíäåíñàòîðîâ.
 ñâÿçè ñ òðóäîåìêîñòüþ òåõíîëîãè÷åñêèé ïðîöåññ ïðèìåíÿþò â
ñëó÷àå, êîãäà îí ýêîíîìè÷åñêè îïðàâäàí âûñîêèìè ýëåêòðîôèçè÷åñêè-
ìè ïàðàìåòðàìè è âûñîêèì ïðîöåíòîì âûõîäà ãîäíûõ ÈÌ.
I
R
III
C
II
a á
I
II
III
12 3 4 56
Ðèñ. 33. Ïðèíöèïèàëüíàÿ ýëåêòðè÷åñêàÿ ñõåìà (à) è òîïîëîãèÿ (á) òîíêîïëå-
íî÷íîé RC-ÈÌ: 1 ðåçèñòîð (õðîì); 2 ïðîâîäÿùèå äîðîæêè è êîíòàêòíûå
ïëîùàäêè (ìåäü ñ ïîäñëîåì õðîìà); 3 íèæíÿÿ îáêëàäêà êîíäåíñàòîðà (àëþìè-
íèé); 4 äèýëåêòðèê êîíäåíñàòîðà (ìîíîîêñèä ãåðìàíèÿ); 5 âåðõíÿÿ îáêëàä-
êà êîíäåíñàòîðà (àëþìèíèé); 6 çàùèòíûé ñëîé (ìîíîîêñèä êðåìíèÿ)
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 89
- 90
- 91
- 92
- 93
- …
- следующая ›
- последняя »
