Составители:
Рубрика:
93
ýëåìåíòîâ. Íåñòàáèëüíîñòü ïàðàìåòðîâ ïëåíîê îáóñëîâëåíà íàëè÷èåì
òåðìîäèíàìè÷åñêè íåóñòîé÷èâûõ äåôåêòîâ ñòðóêòóðû, ìèêðîíåîäíî-
ðîäíîñòåé, íåðàâíîâåñíîñòüþ ôàçîâîãî ñîñòîÿíèÿ è äð.
Ñòàáèëèçàöèÿ ïàðàìåòðîâ ðåçèñòîðîâ îáåñïå÷èâàåòñÿ îòæèãîì èëè
òîêîâîé îáðàáîòêîé. Îòæèã â âàêóóìå íåïîñðåäñòâåííî ïîñëå íàíåñå-
íèÿ ïëåíêè óâåëè÷èâàåò ðàçìåð çåðíà è óìåíüøàåò ñîïðîòèâëåíèå. Ïðè
îòæèãå íà âîçäóõå ïîâûøåíèå ñòàáèëüíîñòè äîñòèãàåòñÿ îêñèäèðîâà-
íèåì ïîâåðõíîñòè, ÷òî ñíèæàåò èçìåíåíèÿ ñâîéñòâ ïëåíêè ïðè ýêñïëóà-
òàöèè ÈÌ. Òåðìîòîêîâàÿ ñòàáèëèçàöèÿ ñîïðîâîæäàåòñÿ óïîðÿäî÷åíè-
åì ñòðóêòóðû è îêñèäèðîâàíèåì ïîâåðõíîñòè.
Ñòàáèëèçàöèÿ ïàðàìåòðîâ êîíäåíñàòîðîâ âûïîëíÿåòñÿ òåðìîîáðà-
áîòêîé è èìïóëüñíîé òîêîâîé òðåíèðîâêîé, ïðè êîòîðîé ïðîèñõîäèò «çà-
ëå÷èâàíèå» äåôåêòíûõ ìåñò äèýëåêòðèêà ìåòàëëîì îáêëàäîê.
Ïîäãîíêà íîìèíàëîâ ýëåìåíòîâ ïîñëå èõ ïîëó÷åíèÿ ÿâëÿåòñÿ âàæ-
íûì ïðåèìóùåñòâîì ïëåíî÷íîé òåõíîëîãèè. Ïîäãîíêà ýëåìåíòîâ ìî-
æåò áûòü ïðåäóñìîòðåíà òîïîëîãèåé è âûïîëíÿòüñÿ ïóòåì ïåðåðåçàíèÿ
èëè ïîäïàéêè ñïåöèàëüíûõ ïåðåìû÷åê. Òàêàÿ ïîäãîíêà îáåñïå÷èâàåò
äèñêðåòíîå èçìåíåíèå ïàðàìåòðîâ â ñòîðîíó óâåëè÷åíèÿ èëè óìåíüøå-
íèÿ íîìèíàëà.
Ïëàâíàÿ ïîäãîíêà îáåñïå÷èâàåòñÿ óäàëåíèåì ÷àñòè ïëåíêè ðåçèñ-
òîðà èëè âåðõíåé îáêëàäêè êîíäåíñàòîðà, èçìåíåíèåì ïîïåðå÷íîãî ñå-
÷åíèÿ ðåçèñòîðà â ðåçóëüòàòå îêñèäèðîâàíèÿ, èçìåíåíèåì ñòðóêòóðû
ïëåíêè.
Ãðóïïîâàÿ, ò. å. îäíîâðåìåííàÿ äëÿ âñåõ ýëåìåíòîâ, ïîäãîíêà íåäî-
ñòàòî÷íî ýôôåêòèâíà, òàê êàê äîñòèãàåìàÿ òî÷íîñòü çíà÷åíèé ñîïðî-
òèâëåíèé â ëó÷øåì ñëó÷àå ñîñòàâëÿåò åäèíèöû ïðîöåíòîâ. Îñóùåñòâ-
ëÿåòñÿ îíà îêñèäèðîâàíèåì, ñòðàâëèâàíèåì è îòæèãîì.
Èíäèâèäóàëüíàÿ ïîñëåäîâàòåëüíàÿ ïîäãîíêà ýëåìåíòîâ êîìïåíñè-
ðóåò è ñèñòåìàòè÷åñêèå, è ñëó÷àéíûå ñîñòàâëÿþùèå ïîãðåøíîñòè òåõ-
íîëîãè÷åñêîãî ïðîöåññà, è áëàãîäàðÿ ýòîìó äîñòèãàåòñÿ âûñîêàÿ òî÷-
íîñòü íîìèíàëîâ ýëåìåíòîâ. Íàèáîëåå ïðîèçâîäèòåëüíûì è øèðîêî ïðè-
ìåíÿåìûì â ïðîìûøëåííîñòè ÿâëÿåòñÿ ìåòîä ëàçåðíîé ïîäãîíêè.
Äîñòîèíñòâîì åãî ÿâëÿþòñÿ âûñîêàÿ òî÷íîñòü, îáóñëîâëåííàÿ âîçìîæ-
íîñòüþ ñòðîãîé äîçèðîâêè âîçäåéñòâèÿ ëàçåðíîãî ëó÷à íà ïëåíêó, è ïðî-
ñòîòà àâòîìàòèçàöèè ïðîöåññà. Ñ ïîìîùüþ ëàçåðíîãî ëó÷à ìîæíî óäà-
ëÿòü ÷àñòü ðåçèñòèâíîé ïëåíêè èëè îáëó÷àòü ïëåíêó, íàãðåâàÿ åå áåç
ðàçðóøåíèÿ ñ öåëüþ èçìåíåíèÿ ñòðóêòóðû.  îáîèõ ñëó÷àÿõ òî÷íîñòü
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 91
- 92
- 93
- 94
- 95
- …
- следующая ›
- последняя »
