Составители:
Рубрика:
94
ïîäãîíêè âåëè÷èíû ñîïðîòèâëåíèÿ ïîä íîìèíàë ìîæåò ñîñòàâëÿòü 0,1%.
Êîìáèíèðóÿ ïîïåðå÷íîå è ïðîäîëüíîå äâèæåíèå ëó÷à ïî ïëåíêå, ìîæíî
ïîäãîíÿòü ðåçèñòîðû ñ áîëüøèì îòêëîíåíèåì ñîïðîòèâëåíèé îò íîìè-
íàëîâ. Èìïóëüñíîå òåïëîâîå âîçäåéñòâèå ëó÷à ëàçåðà ìîæíî ëîêàëèçî-
âàòü â ìàëîé çîíå, ÷òî ïîçâîëÿåò â ñõåìàõ áîëüøîé ñòåïåíè èíòåãðàöèè
ñî ñëîæíîé òîïîëîãèåé ïîäãîíÿòü êàæäûé ðåçèñòîð îòäåëüíî. Äëÿ ïîä-
ãîíêè ðåçèñòîðîâ ïðèìåíÿþò ïîëóàâòîìàòè÷åñêèå è àâòîìàòè÷åñêèå
ëàçåðíûå óñòàíîâêè Òåìï-10, Òåìï-30 è äð. Ïðîèçâîäèòåëüíîñòü
óñòàíîâêè Òåìï-10 ïðè äëèíå ðåçà 1 ìì ñîñòàâëÿåò 600 ðåçèñòîðîâ â
÷àñ. Òî÷íîñòü ïîäãîíêè 0,5%. Äëÿ ïîäãîíêè òîíêîïëåíî÷íûõ êîíäåíñà-
òîðîâ èñïîëüçóþò èìïóëüñíûé ðàçðÿä, âûæèãàþùèé ñëàáûå îáëàñòè äè-
ýëåêòðè÷åñêîãî ñëîÿ, à òàêæå ëàçåðíóþ ïîäãîíêó äëÿ óäàëåíèÿ ÷àñòè
âåðõíåé îáêëàäêè.
Çàùèòà òîíêîïëåíî÷íûõ ýëåìåíòîâ îáåñïå÷èâàåòñÿ ïëåíêàìè
ìîíîîêñèäà êðåìíèÿ, îêñèäàìè àëþìèíèÿ è òàíòàëà, ôîòîðåçèñòîì,
äîïîëíèòåëüíûì ñëîåì ïðèïîÿ, ïîëèìåðíûìè ïëåíêàìè, íàïðèìåð
ïëåíêîé ýïîêñèäíîé ñìîëû. Ïîñëå êîíòðîëÿ ñòðóêòóð ïî âíåøíåìó
âèäó è íà ôóíêöèîíèðîâàíèå îíè ïåðåäàþòñÿ íà ãåðìåòèçàöèþ èëè
ñáîðêó ÃÈÌ.
7.4. Òèïîâîé ìàðøðóò òåõíîëîãèè òîëñòîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð
Ïîíÿòèÿ òîíêî- è òîëñòîïëåíî÷íàÿ òåõíîëîãèè õàðàêòåðèçóþò òîë-
ùèíó ïëåíîê, à òàêæå ñïîñîáû èõ íàíåñåíèÿ è ïðèìåíÿåìûå ìàòåðèà-
ëû. Çíà÷èòåëüíûå óñïåõè, äîñòèãíóòûå çà ïîñëåäíèå ãîäû â îáëàñòè
ìàòåðèàëîâ, òåõíîëîãèè, êîíñòðóèðîâàíèÿ è ñõåìîòåõíèêè, ïîçâîëèëè
ïîâûñèòü êà÷åñòâî è ðàñøèðèòü îáëàñòè ïðèìåíåíèÿ òîëñòîïëåíî÷íûõ
ÈÌ è ÃÈÌ îò ïðîìûøëåííîé àâòîìàòèêè äî áûòîâîé àïïàðàòóðû. Äî
íåäàâíåãî âðåìåíè ïðè ñîçäàíèè ÑÂ×-ÈÌ ïðåäïî÷òåíèå îòäàâàëè òîí-
êîïëåíî÷íûì ñòðóêòóðàì.  íàñòîÿùåå âðåìÿ ñîçäàíû ÈÌ íà òîëñòûõ
ïëåíêàõ, ðàáîòàþùèå â äèàïàçîíå ÷àñòîò 118 ÃÃö. Òîëñòîïëåíî÷íûå
ÃÈÌ âûãîäíû ïðè óìåðåííî âûñîêèõ ìîùíîñòÿõ ðàññåèâàíèÿ
(2,54,0 Âò/ñì
2
), à òàêæå êîãäà ÷èñëî ðåçèñòîðîâ âåëèêî, à ÷èñëî àêòèâ-
íûõ ýëåìåíòîâ ñðàâíèòåëüíî ìàëî.
Ïðåèìóùåñòâà òîëñòîïëåíî÷íîé òåõíîëîãèè ïåðåä òîíêîïëåíî÷íîé:
òðóäîåìêîñòü òîëñòîïëåíî÷íîé òåõíîëîãèè â òðè ðàçà íèæå;
òîëñòîïëåíî÷íàÿ òåõíîëîãèÿ ìåíåå äîðîãîñòîÿùàÿ, òàê êàê íèæå
ñòîèìîñòü ïðîèçâîäñòâåííûõ ïîìåùåíèé, îáîðóäîâàíèÿ è ìàòåðèàëîâ,
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 92
- 93
- 94
- 95
- 96
- …
- следующая ›
- последняя »
