Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 95 стр.

UptoLike

Составители: 

95
ìåíüøå íåðàöèîíàëüíûé ðàñõîä ìàòåðèàëîâ, âûñîêèé âûõîä ãîäíûõ,
äîñòèãàþùèé 80100%;
òîëñòîïëåíî÷íàÿ òåõíîëîãèÿ òåõíè÷åñêè áîëåå ïðîñòà, íå òðåáóåò
âûñîêîêâàëèôèöèðîâàííûõ îïåðàòîðîâ;
òîëñòîïëåíî÷íàÿ òåõíîëîãèÿ ìåíåå ÷óâñòâèòåëüíà ê çàãðÿçíåíèÿì
îêðóæàþùåãî âîçäóõà, òàê êàê ïîñòîðîííèå ÷àñòèöû âûãîðàþò ïðè òåð-
ìîîáðàáîòêå ïàñò, à òîëùèíà ïëåíîê âî ìíîãî ðàç ïðåâûøàåò ðàçìåðû
çàãðÿçíÿþùèõ ÷àñòèö;
â òîëñòîïëåíî÷íîé òåõíîëîãèè âîçìîæíû êîíòðîëü è èñïðàâëåíèå
áðàêà ïîñëå êàæäîé îïåðàöèè;
òîëñòîïëåíî÷íûå ýëåìåíòû, îáëàäàÿ âûñîêèìè òåõíè÷åñêèìè õà-
ðàêòåðèñòèêàìè è íàäåæíîñòüþ, ìîãóò ðàáîòàòü â æåñòêèõ óñëîâèÿõ îò
180 äî +300
î
Ñ ïðè ðåçêîì ïåðåïàäå òåìïåðàòóð, ÷òî íå âûäåðæèâàþò
òîíêîïëåíî÷íûå ýëåìåíòû;
 îòíîñèòåëüíî áîëüøàÿ òîëùèíà ïëåíîê îò 12 äî 25 ìêì ïîçâîëÿåò
óìåíüøàòü âðåäíûå íàâîäêè è ïàðàçèòíûå åìêîñòè, ÷òî î÷åíü âàæíî
äëÿ ñîçäàíèÿ ìíîãîóðîâíåâîé ìåòàëëèçàöèè ñ âûñîêîé íàäåæíîñòüþ;
 òîëñòûå ïëåíêè âûäåðæèâàþò âûñîêîå ðàññåÿíèå ýíåðãèè è ïîýòî-
ìó ïðåäïî÷òèòåëüíåå òîíêèõ ïëåíîê ïðè èçãîòîâëåíèè ìîùíûõ ÈÌ.
Ïàñòû, ÿâëÿþùèåñÿ èñõîäíûìè ìàòåðèàëàìè äëÿ ôîðìèðîâàíèÿ
òîëñòîïëåíî÷íûõ ýëåìåíòîâ, ñîäåðæàò òðè îñíîâíûõ êîìïîíåíòà: ôóí-
êöèîíàëüíóþ, êîíñòðóêöèîííóþ è òåõíîëîãè÷åñêóþ ñîñòàâëÿþùèå.
Ôóíêöèîíàëüíàÿ ñîñòàâëÿþùàÿ ïðèäàåò ïàñòå íåîáõîäèìûå ïðîâîä-
íèêîâûå, ðåçèñòèâíûå, äèýëåêòðè÷åñêèå ñâîéñòâà. Äëÿ ïðîâîäíèêîâûõ
ïàñò â êà÷åñòâå ôóíêöèîíàëüíîé îñíîâû èñïîëüçóþò ñåðåáðî, ïàëëàäèé,
çîëîòî, ñèñòåìû è ñïëàâû íà èõ îñíîâå, à òàêæå íåáëàãîðîäíûå ìåòàë-
ëû: ìåäü, íèêåëü, àëþìèíèé, ìîëèáäåí. Îíè îáåñïå÷èâàþò íå òîëüêî
ìåíüøóþ ñòîèìîñòü ïàñò, íî è â ðÿäå ñëó÷àåâ ëó÷øèå ïàðàìåòðû è
ñòàáèëüíîñòü ïðè âûñîêèõ òåìïåðàòóðàõ. Ìåäü, íàïðèìåð, ÿâëÿåòñÿ
åäèíñòâåííûì ìåòàëëîì ñ âûñîêîé ýëåêòðîïðîâîäíîñòüþ, ê êîòîðîìó
ìîæíî ïîäñîåäèíÿòü âíåøíèå âûâîäû êàê ñâàðêîé, òàê è ïàéêîé. Êðîìå
òîãî, ìåäü èìååò õîðîøóþ àäãåçèþ ê àëþìîêåðàìè÷åñêèì ïîäëîæêàì,
âûñîêèå òåïëîïðîâîäíîñòü, ñòîéêîñòü ê âûùåëà÷èâàíèþ, ðàäèàöèè è
õîðîøèå ñâîéñòâà â äèàïàçîíå ÑÂ×.
Äëÿ ðåçèñòèâíûõ ïàñò øèðîêî èñïîëüçóþò: ïàëëàäèé è îêñèä ñåðåá-
ðà (ñåðåáðÿíî-ïàëëàäèåâàÿ ïàñòà); îêñèä ðóòåíèÿ; ðóòåíàòû ñâèíöà è
âèñìóòà; îêñèäû òàëëèÿ, êàäìèÿ, èíäèÿ.