Системы технологий компьютерного производства. Технология интегральных микросхем. Лопухин В.А - 92 стр.

UptoLike

Составители:

Рубрика:

Çàêëþ÷èòåëüíûå îïåðàöèè òèïîâûõ ìàðøðóòîâ èçãîòîâëåíèÿ

òîíêîïëåíî÷íûõ ñòðóêòóð. Â ýêîíîìè÷åñêè îáîñíîâàííûõ ñëó÷àÿõ â

òåõíîëîãè÷åñêèå ìàðøðóòû ââîäÿò ñïåöèàëüíûå îïåðàöèè, îáåñïå÷è-

âàþùèå ñòàáèëüíîñòü è òî÷íîñòü çíà÷åíèé ïàðàìåòðîâ ïëåíî÷íûõ

à

á

â

ã

æ

å

ä

ç

è

Ñèòàëë

ÌËÒ-3

Ñèòàëë

ê

ë

Ðèñ. 34. Ñõåìà èçãîòîâëåíèÿ òîíêîïëåíî÷íûõ R-ÈÌ ñ ïîìîùüþ ôîòîëèòîãðà-

ôèè: à  íàíåñåíèå ñïëîøíûõ ïëåíîê ÌËÒ-3, Cr, Au è ôîðìèðîâàíèå ôîòî-

ñëîÿ; á  ýêñïîíèðîâàíèå; â  ïðîÿâëåíèå; ã  ëîêàëüíîå òðàâëåíèå ïëåíêè

çîëîòà; ä  óäàëåíèå ôîòîìàñêè; å  òðàâëåíèå ïëåíêè õðîìà; æ  ôîðìèðîâà-

íèå ôîòîñëîÿ; ç  ýêñïîíèðîâàíèå; è  ïðîÿâëåíèå; ê  ëîêàëüíîå òðàâëåíèå

ñïëàâà ÌËÒ-3; ë  óäàëåíèå ôîòîìàñêè