Составители:
Рубрика:
89
ïðîâîäèòüñÿ îäíîâðåìåííî èëè ðàçäåëüíî. Âî âòîðîì ñëó÷àå îêñèä îñàæ-
äàþò èç ïàðîãàçîâîé ôàçû. Òîëùèíà êîíå÷íîãî îêñèäà íàä àêòèâíûìè
îáëàñòÿìè èñòîêîâ è ñòîêîâ îêîëî 1 ìêì, íàä èñõîäíîé ïîâåðõíîñòüþ
n-êðåìíèåâîé ïëàñòèíû 1,5 ìêì.
Íàèáîëåå ñëîæíûì ÿâëÿåòñÿ ïðîâåäåíèå ôîòîëèòîãðàôèè äëÿ
âñêðûòèÿ îêîí ïîä òîíêèé îêñèä è ïîñëåäóþùåå òðàâëåíèå òîëñòîãî
îêñèäà.
Áëàãîäàðÿ ñîçäàíèþ òîëñòîãî îêñèäà ïîä ìåòàëëèçàöèåé ïàðàìåò-
ðû ìèêðîñõåì ñóùåñòâåííî óëó÷øàþòñÿ. Îäíàêî ïðîáëåìà ïîëó÷å-
íèÿ ìèíèìàëüíîãî ïåðåêðûòèÿ îáëàñòåé èñòîêîâ è ñòîêîâ çàòâîðàìè
íå ðåøàåòñÿ, òàê êàê ñîâìåùåíèå êàíàëîâ ñ çàòâîðàìè çäåñü âûïîë-
íÿåòñÿ ñ ïîìîùüþ ôîòîëèòîãðàôèè è çàòðóäíåíî èç-çà íåîïðåäåëåí-
íîñòè ðàñïîëîæåíèÿ áîêîâûõ ãðàíèö ð-n-ïåðåõîäîâ èñòîêîâ è ñòîêîâ,
à òàêæå èç-çà íåîáõîäèìîñòè òðàâèòü òîëñòûé îêñèä.
Ïðè òîëùèíå ïîäçàòâîðíîãî îêñèäà 0,1 ìêì ïåðåêðûòèå êàíàëà
çàòâîðîì ñîñòàâëÿåò 23 ìêì. Âìåñòå ñ òåì òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëå-
íèÿ ð-ÌÎÏ-ÈÌ ñðàâíèòåëüíî ïðîñòàÿ, îáåñïå÷èâàåò áîëüøîé ïðî-
öåíò ãîäíûõ è íèçêóþ ñòîèìîñòü èçäåëèé. ÌÎÏ-ÈÌ ñ ð-êàíàëàìè
øèðîêî èñïîëüçóþòñÿ â íåäîðîãèõ êàëüêóëÿòîðàõ.
à â ä
á ã å
Si
n
n+
Si
n
Si
n
p+ p+
n
Si
p+ p+
1,5 ìêì
n
Si
p+ p+
n
Si
p+ p+
23 ìêì
èçñ
Ðèñ. 32. Ñõåìà èçãîòîâëåíèÿ òîëñòîîêñèäíûõ ÌÎÏ-ÈÑ ñ ð-êàíàëàìè:
à âûðàùèâàíèå ìàñêèðóþùåãî îêñèäà; á ïåðâàÿ ôîòîëèòîãðàôèÿ;
â ëîêàëüíàÿ äèôôóçèÿ, âûðàùèâàíèå òîëñòîãî îêñèäà; ã âòîðàÿ ôîòîëèòîã-
ðàôèÿ; ä âûðàùèâàíèå òîíêîãî ïîäçàòâîðíîãî îêñèäà; å òðåòüÿ ôîòîëèòîã-
ðàôèÿ, ôîðìèðîâàíèå çàòâîðîâ è ìåòàëëèçàöèè
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 87
- 88
- 89
- 90
- 91
- …
- следующая ›
- последняя »
