Составители:
Рубрика:
87
íèå ïðèìåñè ðàâíîìåðíîå, óðîâåíü ëåãèðîâàíèÿ 10
15
10
16
ñì
3
. Êîíöåí-
òðàöèÿ ïðèìåñè âûáèðàåòñÿ îïòèìàëüíîé, ÷òîáû, ñ îäíîé ñòîðîíû, íå
áûëî áîëüøèì ñîïðîòèâëåíèå òåëà êîëëåêòîðà, à ñ äðóãîé ñòîðîíû, íå
áûëà áîëüøîé ïàðàçèòíàÿ åìêîñòü áàçà-êîëëåêòîð, îãðàíè÷èâàþùèå áû-
ñòðîäåéñòâèå áèïîëÿðíîãî òðàíçèñòîðà.
Èçãîòîâëåíèå ñòðóêòóðû ÈÌ íà ïîëó÷åííîé çàãîòîâêå âêëþ÷àåò ðàç-
äåëèòåëüíóþ äèôôóçèþ àêöåïòîðíîé ïðèìåñè è ôîðìèðîâàíèå òðàíçèñ-
òîðîâ è äðóãèõ ýëåìåíòîâ â n
+
n-êàðìàíàõ. Áàçîâûå, ýìèòòåðíûå è ïðè-
êîíòàêòíûå îáëàñòè ôîðìèðóþòñÿ ëîêàëüíîé äèôôóçèåé ñ èñïîëüçîâà-
íèåì êîíòàêòíûõ ìàñîê èç äèîêñèäà êðåìíèÿ. Äèôôóçèîííîå ðàñïðåäå-
ëåíèå ïðèìåñè â áàçå ïðèâîäèò ê âîçíèêíîâåíèþ âíóòðåííåãî ýëåêòðè-
÷åñêîãî ïîëÿ, óñêîðÿþùåãî äâèæåíèå íåîñíîâíûõ íîñèòåëåé îò ýìèòòå-
ðà ê êîëëåêòîðó è áëàãîäàðÿ ýòîìó óâåëè÷èâàþùåãî áûñòðîäåéñòâèå
ìèêðîñõåì.
Äëÿ ôîðìèðîâàíèÿ ýìèòòåðíûõ îáëàñòåé â êà÷åñòâå ëåãèðóþùåé ïðè-
ìåñè ïðèìåíÿþò ôîñôîð. Îäíîâðåìåííî ïîëó÷àþò n+-îáëàñòè ïîä îìè-
÷åñêèå êîíòàêòû êîëëåêòîðîâ. Ïðîöåññ çàêàí÷èâàåòñÿ ìåòàëëèçàöèåé è
çàùèòîé ñòðóêòóð. Çàùèòíàÿ ïëåíêà íà ðèñóíêå íå ïîêàçàíà.
Ïî ðàññìîòðåííîé òåõíîëîãèè èçãîòàâëèâàþò ÈÌ ïåðâîé è âòî-
ðîé ñòåïåíåé èíòåãðàöèè. Âîçìîæíîñòè ïðîöåññà äëÿ ïîëó÷åíèÿ áî-
ëåå âûñîêèõ ñòåïåíåé èíòåãðàöèè îãðàíè÷åíû èç-çà ðÿäà íåäîñòàò-
êîâ ÈÌ: íàëè÷èÿ áîëüøèõ òîêîâ óòå÷êè; áîëüøîé ïëîùàäè èçîëèðó-
þùåãî ð-n ïåðåõîäà, à ñëåäîâàòåëüíî, è åìêîñòè ïàðàçèòíîé ñâÿçè;
ñðàâíèòåëüíî íèçêèõ ïðîáèâíûõ íàïðÿæåíèé; íàëè÷èÿ ïàðàçèòíûõ
òðàíçèñòîðîâ ð-n-ð ìåæäó áàçîé è èçîëèðóþùèì ð+- ñëîåì; íèçêîé
ðàäèàöèîííîé ñòîéêîñòè.
7.2. Èçãîòîâëåíèå ÌÎÏ-ñòðóêòóð
Íàèáîëåå øèðîêî â ñîñòàâå ÈÌ ïðèìåíÿþòñÿ ÌÎÏ-òðàíçèñòîðû ñ
èíäóöèðîâàííûìè êàíàëàìè, òàê êàê îíè ïîçâîëÿþò íàèáîëåå ïðîñòî
îñóùåñòâëÿòü ñîãëàñîâàíèå ñõåì ìåæäó ñîáîé è ðåàëèçîâûâàòü óíè-
âåðñàëüíûå ëîãè÷åñêèå ôóíêöèè. Ïåðâûìè â ïðîìûøëåííîì ïðîèçâîä-
ñòâå áûëè ð-ÌÎÏ-ÈÌ, ò. å. ÈÌ íà òðàíçèñòîðàõ ñ ð-êàíàëàìè. Èçãî-
òîâëåíèå n-ÌÎÏ-ÈÌ çàòðóäíåíî âîçíèêíîâåíèåì íà ïîâåðõíîñòè ð-Si
ïðè òåðìè÷åñêîì îêñèäèðîâàíèè èíâåðñíîãî n-ñëîÿ, êîòîðûé ýëåêòðè-
÷åñêè ñâÿçûâàåò ýëåìåíòû ÈÌ. Áëàãîäàðÿ ñîâåðøåíñòâîâàíèþ òåõíî-
ëîãèè â íàñòîÿùåå âðåìÿ â ïðîèçâîäñòâå ïðåîáëàäàþò n-êàíàëüíûå ÈÌ,
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 85
- 86
- 87
- 88
- 89
- …
- следующая ›
- последняя »
