Составители:
Рубрика:
84
ãäå Q äîçà îáëó÷åíèÿ, ñì
2
; ∆R
n
ñðåäíåêâàäðàòè÷åñêîå îòêëîíåíèå
íîðìàëüíûõ ïðîáåãîâ, ñì; õ ãëóáèíà âíåäðåíèÿ èîíîâ, ñì.
Ìàêñèìóì ðàñïðåäåëåíèé (ðèñ. 30) ñîîòâåòñòâóåò íå ïîâåðõíîñòè
ïëàñòèí, êàê â ñëó÷àå òåðìè÷åñêîé äèôôóçèè, à ðàññòîÿíèþ îò ïîâåðõ-
íîñòè, ðàâíîì ñðåäíåìó íîðìàëüíîìó ïðîáåãó èîíîâ. Ñ óâåëè÷åíèåì
ýíåðãèè ìàêñèìóì ðàñïðåäåëåíèÿ ñäâèãàåòñÿ â ãëóáü ïîäëîæêè, ýòî
ïîçâîëÿåò ïîëó÷àòü ñêðûòûå çàãëóáëåííûå ñëîè ñ ïðîâîäèìîñòüþ ïðî-
òèâîïîëîæíîãî òèïà.
Ïðåèìóùåñòâà è íåäîñòàòêè èîííîãî ëåãèðîâàíèÿ. Äîñòîèíñòâà
èîííîãî ëåãèðîâàíèÿ: âûñîêàÿ òî÷íîñòü è âîñïðîèçâîäèìîñòü ãëóáèíû
è ñòåïåíè ëåãèðîâàíèÿ çà ñ÷åò ïîääåðæàíèÿ ïàðàìåòðîâ èîííîãî ïó÷êà;
âîçìîæíîñòü ôîðìèðîâàíèÿ ïðàêòè÷åñêè ëþáîãî ïðîôèëÿ ëåãèðîâàíèÿ;
âîçìîæíîñòü ïîëó÷åíèÿ ñêðûòûõ ëåãèðîâàííûõ îáëàñòåé; òî÷íîå âîñ-
ïðîèçâåäåíèå ðèñóíêà ìàñêè ïðè ëîêàëüíîì ëåãèðîâàíèè; âûñîêàÿ ïðî-
èçâîäèòåëüíîñòü è ëåãêîñòü àâòîìàòèçàöèè; âîçìîæíîñòü âûïîëíåíèÿ
êîìïëåêñà îïåðàöèé â îäíîé óñòàíîâêå.
Íåäîñòàòêè è îãðàíè÷åíèÿ èîííîãî ëåãèðîâàíèÿ: íåîáõîäèìîñòü îò-
æèãà; ñëîæíîñòü âîñïðîèçâîäèìîãî ëåãèðîâàíèÿ ñëîåâ òîëùèíîé áîëåå
1 ìêì; ñëîæíîñòü îäíîðîäíîãî ëåãèðîâàíèÿ ïëàñòèí áîëüøîãî äèàìåò-
ðà èç-çà ðàñôîêóñèðîâêè ëó÷à ïðè ïîëíûõ îòêëîíåíèÿõ, ñëîæíîñòü îáî-
ðóäîâàíèÿ.
lo
g
N lo
g
N
N
p
N
n
R
n
R
n
N
p
N
n
x
x
pn npn
à á
Ðèñ. 30. Ðàñïðåäåëåíèå èîíîâ ñ íèçêèìè (à) è âûñîêèìè (á) çíà÷åíèÿìè ýíåðãèè
ïðè ðàçîðèåíòèðîâàííîì âíåäðåíèè
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 82
- 83
- 84
- 85
- 86
- …
- следующая ›
- последняя »
