Составители:
Рубрика:
75
âûðàùèâàþò íà ñàïôèðå ñ îðèåíòàöèåé (1102). Òåìïåðàòóðíûå êîýôôè-
öèåíòû ëèíåéíîãî ðàñøèðåíèÿ êðåìíèÿ è ñàïôèðà ðàçëè÷àþòñÿ ïî÷òè â
äâà ðàçà. Ýòè íåñîîòâåòñòâèÿ êðåìíèÿ è ñàïôèðà óñëîæíÿþò ïîëó÷åíèå
êà÷åñòâåííûõ ñëîåâ. Êðîìå ýòîãî, â ïðîöåññå ðîñòà ïðîèñõîäèò àâòîëå-
ãèðîâàíèå àëþìèíèåì, ïîâûøàþùåå äåôåêòíîñòü ñëîåâ. Àâòîëåãèðî-
âàíèå îãðàíè÷èâàåò óðîâåíü âîçìîæíîãî ëåãèðîâàíèÿ ñëîåâ äîíîðíûìè
èëè àêöåïòîðíûìè ïðèìåñÿìè. Ñëîè êðåìíèÿ õàðàêòåðèçóþòñÿ ñðàâíè-
òåëüíî âûñîêîé ïëîòíîñòüþ äåôåêòîâ, êîòîðàÿ âîçðàñòàåò ïî íàïðàâëå-
íèþ ê ïîäëîæêå.
Ìîëåêóëÿðíî-ëó÷åâàÿ ýïèòàêñèÿ áëàãîäàðÿ áîëåå íèçêèì òåìïåðà-
òóðàì óìåíüøàåò àâòîëåãèðîâàíèå è òàêæå ñíèæàåò äåôåêòû íåñîîò-
âåòñòâèÿ. Äîïîëíèòåëüíàÿ îáðàáîòêà ñëîåâ êðåìíèÿ ëàçåðíûì ëó÷îì
óëó÷øàåò èõ êà÷åñòâî.
Îñíîâíûì íåäîñòàòêîì ñòðóêòóð ÊÍÑ ïîêà îñòàåòñÿ âûñîêàÿ ïëîò-
íîñòü äåôåêòîâ è, êàê ñëåäñòâèå, ìàëîå âðåìÿ æèçíè íåîñíîâíûõ íîñè-
òåëåé. Ïîýòîìó îíè ïðèìåíÿþòñÿ äëÿ ÈÌ ñ ÌÎÏ àêòèâíûìè ýëåìåí-
òàìè, ðàáîòàþùèìè íà îñíîâíûõ íîñèòåëÿõ.
ÊÍÈ-ñòðóêòóðû èçãîòàâëèâàþò ïóòåì íàíåñåíèÿ ñëîÿ àìîðôíîãî
èëè ïîëèêðèñòàëëè÷åñêîãî êðåìíèÿ íà èçîëèðóþùèå ïîäëîæêè è åãî ïîñ-
ëåäóþùåé ïåðåêðèñòàëëèçàöèè. Òåõíîëîãèÿ èçãîòîâëåíèÿ ÊÍÈ ïîÿâè-
ëàñü ñðàâíèòåëüíî íåäàâíî. Ïåðâûå ñòðóêòóðû èçãîòàâëèâàëè íà òåð-
ìè÷åñêè îêñèäèðîâàííûõ ïëàñòèíàõ êðåìíèÿ. Çàòåì íà÷àëè ïðèìåíÿòü
áîëåå äåøåâûå ïîäëîæêè èç ñèòàëëîâ, êâàðöà. Ïåðåêðèñòàëëèçàöèþ
êðåìíèÿ äëÿ ôîðìèðîâàíèÿ ìîíîêðèñòàëëè÷åñêîãî ñëîÿ âûïîëíÿþò ïîä-
âèæíîé ïîëîñêîé íàãðåâàòåëåì, ñêàíèðîâàíèåì ëàçåðíîãî èëè ýëåêò-
ðîííîãî ëó÷à è äð.
6.3. Äèôôóçèîííîå ëåãèðîâàíèå
 ïîëóïðîâîäíèêàõ äèôôóçèÿ ìîæåò îñóùåñòâëÿòüñÿ òðåìÿ ñïîñî-
áàìè (ðèñ. 26). Ïðè îáìåííîì ìåõàíèçìå ïðîèñõîäèò ïðîñòîé îáìåí
ìåñòàìè äâóõ àòîìîâ èëè êîëüöåâîé îáìåí ñ ó÷àñòèåì íåñêîëüêèõ àòî-
ìîâ. Ïðè âàêàíñèîííîì ìåõàíèçìå äèôôóçèÿ îñóùåñòâëÿåòñÿ ïóòåì
ïîñëåäîâàòåëüíûõ ïåðåñêîêîâ ïðèìåñíûõ àòîìîâ çàìåùåíèÿ èç ñîá-
ñòâåííûõ óçëîâ â âàêàíòíûå (ñâîáîäíûå) óçëû. Äèôôóçèÿ ïðè ìåæäó-
óçåëüíîì ìåõàíèçìå îñóùåñòâëÿåòñÿ â ðåçóëüòàòå ïîñëåäîâàòåëüíûõ
ïåðåõîäîâ ïðèìåñè âíåäðåíèÿ èç îäíîãî ìåæäóóçëèÿ â äðóãîå. Àòîìû
ïðèìåñè êàê áû «ïðîäàâëèâàþòñÿ» ìåæäó àòîìàìè, íàõîäÿùèìèñÿ â
óçëàõ êðèñòàëëè÷åñêîé ðåøåòêè.
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 73
- 74
- 75
- 76
- 77
- …
- следующая ›
- последняя »
