Составители:
Рубрика:
72
Âîäîðîä äîëæåí áûòü õîðîøî îñóøåí, òàê êàê âëàãà ðàçëàãàåò òåòðàõ-
ëîðèä êðåìíèÿ ñ îáðàçîâàíèåì êðåìíèåâîé è ñîëÿíîé êèñëîò
42 23
SiCl +3H O 4HCl+H SiO .
→
Ïðîöåññ ýïèòàêñèàëüíîãî îñàæäåíèÿ âêëþ÷àåò ïåðåõîäû:
çàãðóçêó ïëàñòèí â ãíåçäà ïîäëîæêîäåðæàòåëÿ;
ïðîäóâêó ðåàêòîðà àçîòîì äëÿ âûòåñíåíèÿ âîçäóõà;
íàïóñê â ðåàêòîð âîäîðîäà è îòêëþ÷åíèå àçîòà, ïðîäóâêó âîäîðî-
äîì;
íàãðåâ ïëàñòèí äî òåìïåðàòóðû 1200
î
Ñ è âûäåðæêó îêîëî 10 ìèí
äî âîññòàíîâèòåëüíîãî îòæèãà;
ãàçîâîå òðàâëåíèå â îáåçâîæåííîì õëîðèñòîì âîäîðîäå, ïî îêîí-
÷àíèè ïðîäóâêó âîäîðîäîì è îõëàæäåíèå ïîäëîæêîäåðæàòåëÿ äî òåì-
ïåðàòóðû ýïèòàêñèàëüíîãî íàðàùèâàíèÿ 1150
î
Ñ;
îñàæäåíèå ýïèòàêñèàëüíîãî ñëîÿ, äëÿ ÷åãî â êàìåðó ïîäàþò ïàðû
òåòðàõëîðèäà êðåìíèÿ, ëåãèðóþùåå ñîåäèíåíèå â êîíöåíòðàöèÿõ, îáåñ-
ïå÷èâàþùèõ îïòèìàëüíóþ ñêîðîñòü ðîñòà 0,23,0 ìêì/ìèí è òðåáóå-
ìûé óðîâåíü ëåãèðîâàíèÿ ñëîÿ; ïðîäóâêó âîäîðîäîì;
çàùèòó ïîâåðõíîñòè ýïèòàêñèàëüíîãî ñëîÿ ïëåíêîé äèîêñèäà êðåì-
íèÿ, ÷òî íåîáõîäèìî äëÿ òðàíñïîðòèðîâêè ýïèòàêñèàëüíûõ ñòðóêòóð èëè
äëÿ ìåæîïåðàöèîííîãî õðàíåíèÿ, äëÿ ýòîãî â êàìåðó ïîäàþò ÑÎ
2
, SiHCl,
H
2
, ïðîäóâêó âîäîðîäîì;
ìåäëåííîå îõëàæäåíèå ïëàñòèí äî êîìíàòíîé òåìïåðàòóðû â ïî-
òîêå âîäîðîäà;
ïðîäóâêó ðåàêòîðà àçîòîì, ðàçãåðìåòèçàöèþ ðåàêòîðà, âûãðóçêó
ýïèòàêñèàëüíûõ ñòðóêòóð.
 ñîâðåìåííûõ ïðîìûøëåííûõ óñòàíîâêàõ, íàïðèìåð ÓÍÝÑ-2Ï-ÊÀ,
óïðàâëåíèå ïðîöåññîì îñóùåñòâëÿåòñÿ, â îñíîâíîì ÝÂÌ, îïåðàòîð âû-
ïîëíÿåò òîëüêî çàãðóçêó è âûãðóçêó ïëàñòèí. Îòõîäû õèìè÷åñêèõ ðåàê-
öèé íà âûõîäå ðåàêòîðà ïîñòóïàþò â ñêðóááåð, ãäå ñæèãàþòñÿ â ïëàìå-
íè âîäîðîäà. Ïðè âûïîëíåíèè ïðîöåññà íåîáõîäèìî ñîáëþäàòü ïðàâèëà
áåçîïàñíîé ðàáîòû ñ òîêñè÷íûìè âåùåñòâàìè è âîäîðîäîì.
Îñíîâíîé íåäîñòàòîê õëîðèäíîãî ìåòîäà âûñîêèå òåìïåðàòóðû
ïðîöåññà, ïðèâîäÿùèå ê äèôôóçèè ïðèìåñåé èç ïëàñòèí â ðàñòóùèé ñëîé,
à òàêæå ê àâòîëåãèðîâàíèþ.
Ñèëàíîâûé ìåòîä îñíîâàí íà èñïîëüçîâàíèè íåîáðàòèìîé ðåàêöèè
òåðìè÷åñêîãî ðàçëîæåíèÿ ñèëàíà:
Страницы
- « первая
- ‹ предыдущая
- …
- 70
- 71
- 72
- 73
- 74
- …
- следующая ›
- последняя »
